Technische Universität Ilmenau

Nano Measuring und Positioning Technology - Modultafeln of TU Ilmenau

The module lists provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).

You can find all details on planned lectures and classes in the electronic university catalogue.

Information and guidance on the maintenance of module descriptions by the module officers are provided at Module maintenance.

Please send information on missing or incorrect module descriptions directly to modulkatalog@tu-ilmenau.de.

module properties Nano Measuring und Positioning Technology in degree program Master Maschinenbau 2017
module number200222
examination number2300640
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2371 (Production and Precision Metrology )
module leaderProf. Dr. Eberhard Manske
term winter term only
languageDeutsch
credit points5
on-campus program (h)45
self-study (h)105
obligationelective module
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experience

Kenntnisse aus den Lehrveranstaltungen "Einführung in die Mess- und Sensortechnik" bzw. "Prozessmess- und Sensortechnik" sowie "Fertigungs- und Lasermesstechnik".

learning outcome

Nach dem Besuch der Lehrveranstaltungen sind die Studierenden in der Lage, das Gebiet der dimensionellen Messungen im Nanometerbereich hinsichtlich Aufbau, Funktion und Eigenschaften der Geräte und Verfahren sowie der aktuellen Messmöglichkeiten und der Sicherung einheitlicher Messungen in diesem Bereich der Messtechnik auf nationaler und internationaler Ebene zu analysieren und zu beschreiben. Sie kennen das Gebiet der optoelektronischen Mess- und Sensortechnik von den metrologischen Grundlagen über Eigenschaften und Anwendungsbereiche der Messverfahren und -prinzipien bis zum Kostenfaktor.  Sie können die Vor- und Nachteile der vorgestelten Messverfahren diskutieren.
Die Studierenden können in bestehenden Messanordnungen optoelektronische Komponenten erkennen und bewerten. Die Studierenden sind fähig, zur Lösung einer Messaufgabe geeignete optoelektronische Messverfahren, -geräte oder Komponenten auszuwählen und entsprechende Messunsicherheitsbudgets vorzulegen.

content

Grundlagen der Optoelektronik für die Anwendung in der Messtechnik, Laserlichtquellen und Lichtwellenleiter, Faseroptische Sensoren, Optoelektronische Messverfahren für Geschwindigkeit, Oberfläche, Form, Ebenheit u.a.

gegenwärtige und zukünftige Entwicklungen der Nanotechnologie / Nanomesstechnik: 

Wissenschaftlicher Hintergrund und ausgewählte Beispiele zur Nanotechnologie
Techniken für dimensionelle und andere Messungen im Nanometerbereich, Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
Rastertunnelmikroskopie und aus ihr abgeleitete Rastersondenmikroskopie / Konsistenz von Ergebnissen aus aktuellen Maßvergleichen / gegenwärtige Erschließung von 3D-Messungen an Objekten der Mikrotechnik / Mikro-Tomographie.
Rasterelektronenmikroskopie / ausgewählte Anwendungen für dimensionelle Messungen / metrologische Rasterelektronenmikroskope
Röntgenreflektometrie /Anwendungen auf Schichten im Nanometerbereich

media of instruction

Zugang zum Moodle mit allen Informationen und Materialien:

https://moodle2.tu-ilmenau.de/course/view.php?id=3131

 

Nutzung Beamer/Laptop/Präsentationssoftware; Lehrmaterialien mit Skizzen der Messprinzipien und -geräte, die auf der Homepage des Instituts zur verfügung gestellt werden. 

 

literature / references

Literatur wird während der Vorlesung genannt / die Präsentation enthält Quellennachweise

evaluation of teaching