Technische Universität Ilmenau

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) im Studiengang Master Maschinenbau 2017
Modulnummer5984
Prüfungsnummer2300216
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer 2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
TurnusWintersemester
SpracheDeutsch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
VorkenntnisseGrundlagen-Kenntnisse in Mikrotechnik, Mikrosensorik und / oder Mikroaktorik
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenEs werden die systemspezifischen Randbedingungen für den Einsatz von MEMS diskutiert. Hierzu gehören insbesondere Zuverlässigkeitsanforderungen, Schnittstellen zur Makrowelt und Aufbau- und Verbindungstechniken. Dies geschieht an Beispielen von in unterschiedlichen Bereichen bereits kommerziell eingesetzten MEMS- Applikationen wie z.B. Drucksensoren oder Drehratensensoren.
Die Studenten sollen in die Lage versetzt werden, neue Mikrosysteme anhand von Anforderungsprofilen zu planen und dabei ungeeignete Ansätze bereits frühzeitig auszusortieren.
Inhalt

Spezielle Materialien und Technologien der Mikrosystemtechnik, wie z.B.:

  • ALD, ALE
  • erweiterte Lithografieverfahren (spitzenbasierte Verfahren, Nanoimprint-Lithografie und weitere)
  • Komplexe Materialsysteme und deren Strukturierung (z.B. Gläser und Glaskeramiken)
  • Aufbau und Verbindungstechnik

Prozessoptimierung und Systemdesign

  • Prozessoptimierung mit Design of Experiment (DoE)
  • MEMS Simulation mit finiten Elementen (FEM)
  • Workflow zur Herstellung eines mikromechanischen Systems

 Ausgewählte Systeme der Mikrosystemtechnik

  • Biegebalken in Silicium
  • Mikrooptische Systeme in Glas
  • aktive und passive Mikrosensoren für unterschiedliche Anwendungen (z.B. Gasdetektion, Beschleunigungsereignisse, Temperatur)
Medienformen

Anschrieb (Tafel/elektronisch), Folien, Videos

Vorlesungen: E-Learning

Übungen: Hybrid-Veranstaltung 

Nähere Informationen sind auf Moodle zu finden.

LiteraturG. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser-Verlag 2006
F. Völklein, T. Zetterer, Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage, Vieweg 2006
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

SS 2015 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: