Technische Universität Ilmenau

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) in major Master Maschinenbau 2017
subject number5984
examination number2300216
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2342 (Micromechanical Systems Group)
subject leaderProf. Dr. Steffen Strehle
term Wintersemester
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory elective
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experienceGrundlagen-Kenntnisse in Mikrotechnik, Mikrosensorik und / oder Mikroaktorik
learning outcomeEs werden die systemspezifischen Randbedingungen für den Einsatz von MEMS diskutiert. Hierzu gehören insbesondere Zuverlässigkeitsanforderungen, Schnittstellen zur Makrowelt und Aufbau- und Verbindungstechniken. Dies geschieht an Beispielen von in unterschiedlichen Bereichen bereits kommerziell eingesetzten MEMS- Applikationen wie z.B. Drucksensoren oder Drehratensensoren.
Die Studenten sollen in die Lage versetzt werden, neue Mikrosysteme anhand von Anforderungsprofilen zu planen und dabei ungeeignete Ansätze bereits frühzeitig auszusortieren.
content- Applikationsfelder von MEMS
- Randbedingungen für MEMS
- Zuverlässigkeitsanforderungen
- System-Konzepte:
- mikromechansicher Sensor & Auswerteelektronik
- Gehäuse als Systembestandteil
- Kalibrierkonzepte:
- Abgleich über die Auswerteelektronik
- Beispiele
- Zusammenfassung: Systemaspekte von MEMS
media of instructionPräsentation, Skript der Präsentationsfolien, Tafelarbeit
Seminar: Präsentation / schriftliche Zusammenfassung durch Teilnehmende
literature / referencesG. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser-Verlag 2006
F. Völklein, T. Zetterer, Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage, Vieweg 2006
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

SS 2015 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: