Technische Universität Ilmenau

Micro Sensors - Modultafeln of TU Ilmenau

The Modultafeln have a pure informational character. The legally binding information can be found in the corresponding Studienplan and Modulhandbuch, which are served on the pages of the course offers. Please also pay attention to this legal advice (german only). Information on place and time of the actual lectures is served in the Vorlesungsverzeichnis.

subject properties Micro Sensors in major Master Maschinenbau 2017
subject number7423
examination number2300238
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2342 (Micromechanical Systems Group)
subject leaderProf. Dr. Steffen Strehle
term Sommersemester
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory elective
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
maximum number of participants
previous knowledge and experience

Mikrotechnik 1

learning outcomeDie Studierenden werden befähigt, geeignete Mikrosensoren auszuwählen, indem sie die unterschiedlichen Konzepte und besonderen Ansätze mikrosystemtechnischer Sensoren kennenlernen. Dabei werden insbesondere auch die Unterschiede zu "makroskopischen" Sensoren vermittelt und neue, zum Teil "unscharfe" Messverfahren vorgestellt, so dass sie von den Studierenden angewandt werden können.
contentDie Vorlesung stellt Konzepte und Realisierungen von Mikrosensoren für unterschiedlichste Messgrößen vor. Daneben werden wesentliche Wandlerkonzepte unter Betrachtung der mikrosystemtechnischen Randbedingungen beschrieben: Widerstandsbrücken; Kapazitive Wandler; Dehnmessstreiben
Anwendungsfelder:
Messung von Kraft, Beschleunigung und Druck (Airbag-Sensor, Drucksensor etc.)
Messung thermischer Größen (Thermopile, Luftmassensensor, Neigungssensor)
Chemische Sensoren für Gase und Fluide (inkl. künstlicher Nase)
Sensoren für biologische Systeme
media of instructionEin Skript mit allen im Verlauf der Vorlesung verwendeten Folien ist verfügbar.
literature / referencesG. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser, 2006
J. Gardner, V.K. Varadan, O.O. Awadelkarim, Microsensors, MEMS and Smart Devices, Wiley, 2005
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: