Technische Universität Ilmenau

Mikromesstechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis.
Angaben zum Raum und Zeitpunkt von geplanten Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem e-Veranstaltungskalender. Lehrveranstaltungen und Prüfungen, die nicht im e-Veranstaltungskalender abgebildet sind, werden "nach Vereinbarung" geplant. Eine Auflistung der betroffenen Veranstaltungen finden Sie hier: Lehrveranstaltungen, Prüfungen.

Fachinformationen zu Mikromesstechnik im Studiengang Master Mechatronik 2008
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
Fachnummer7422
Prüfungsnummer2300237
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer 2342 (Mikrosystemtechnik)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
TurnusSommersemester
SpracheDeutsch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
VorkenntnissePhysik,
Grundlagen Elektrotechnik,
Grundkenntnisse Mikrosystemtechnik
LernergebnisseDie Studierenden sind in der Lage, messtechnische Verfahren für die Mikrosystemtechnik zu konzipieren, zu bewerten und einzusetzen, sowie bekannte Verfahren auf neue Aufgabenstellungen anzuwenden und neue Verfahren zu synthetisieren.
InhaltMessung von Materialeigenschaften
- Schichtmesstechnik (Tastschrittverfahren, elektrische Verfahren, Interferenzverfahren, Ellipsometrie)
- Oberflächenanalytik (Photoelektronenspektroskopie, Elektronenstrahlspektroskopie, Topographie von kristallinen Strukturen)
Messung mechanisch-physikalischer Eigenschaften
(Mikrohärteprüfung, Haftfestigkeit, Messung mechanischer Spannungen)
Funktionelle Messungen
Statische Messungen (Mikroskopie, Stereomikroskopie, konfokale Mikroskopie, Kameramesstechnik, Automatische Bildverarbeitung)
Dynamische Messungen (Laserscan-Aufnahmesysteme, Faseroptiksysteme, Hochgeschwindigkeitskamerasysteme, Bildaufnahme/Auswertung mit Kurzzeitbelichtung)
MedienformenTafel, Overhead Folien, Power-Point-Präsentationen
Literatur[1] Büttgenbach, S.: Mikromechanik, Einführung in Technologie und Anwendungen. Teubner Verlag 1994
[2] Gerlach, G.; Dötzel, W.: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Carl-Hanser Verlag 1997
[3] Wilkening, G.; Koenders, L.: Nanoscale Calibration Standards and Methods. Wiley-VCH Verlag 2005
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.