Technische Universität Ilmenau

Micro Measurement Technology - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties Micro Measurement Technology in major Master Mechatronik 2008
ATTENTION: not offered anymore
subject number7422
examination number2300237
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2342 (Micromechanical Systems Group)
subject leaderProf. Dr. Steffen Strehle
term Sommersemester
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory elective
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experiencePhysik,
Grundlagen Elektrotechnik,
Grundkenntnisse Mikrosystemtechnik
learning outcomeDie Studierenden sind in der Lage, messtechnische Verfahren für die Mikrosystemtechnik zu konzipieren, zu bewerten und einzusetzen, sowie bekannte Verfahren auf neue Aufgabenstellungen anzuwenden und neue Verfahren zu synthetisieren.
contentMessung von Materialeigenschaften
- Schichtmesstechnik (Tastschrittverfahren, elektrische Verfahren, Interferenzverfahren, Ellipsometrie)
- Oberflächenanalytik (Photoelektronenspektroskopie, Elektronenstrahlspektroskopie, Topographie von kristallinen Strukturen)
Messung mechanisch-physikalischer Eigenschaften
(Mikrohärteprüfung, Haftfestigkeit, Messung mechanischer Spannungen)
Funktionelle Messungen
Statische Messungen (Mikroskopie, Stereomikroskopie, konfokale Mikroskopie, Kameramesstechnik, Automatische Bildverarbeitung)
Dynamische Messungen (Laserscan-Aufnahmesysteme, Faseroptiksysteme, Hochgeschwindigkeitskamerasysteme, Bildaufnahme/Auswertung mit Kurzzeitbelichtung)
media of instructionTafel, Overhead Folien, Power-Point-Präsentationen
literature / references[1] Büttgenbach, S.: Mikromechanik, Einführung in Technologie und Anwendungen. Teubner Verlag 1994
[2] Gerlach, G.; Dötzel, W.: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Carl-Hanser Verlag 1997
[3] Wilkening, G.; Koenders, L.: Nanoscale Calibration Standards and Methods. Wiley-VCH Verlag 2005
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: