Technische Universität Ilmenau

Nano Metrology - Modultafeln of TU Ilmenau

The module lists provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).

You can find all details on planned lectures and classes in the electronic university catalogue.

Information and guidance on the maintenance of module descriptions by the module officers are provided at Module maintenance.

Please send information on missing or incorrect module descriptions directly to modulkatalog@tu-ilmenau.de.

module properties Nano Metrology in degree program Master Mechatronik 2014
module number7424
examination number2300192
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2371 (Production and Precision Metrology )
module leaderProf. Dr. Eberhard Manske
term summer term only
languageDeutsch
credit points2
on-campus program (h)11
self-study (h)49
obligationelective module
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experienceBachelor Technik (GIG)
Mess- und Sensortechnik 2V/1S/1P
learning outcomeDie Studierenden überblicken das Gebiet der dimensionellen Messungen im Nanometerbereich hinsichtlich Aufbau, Funktion und Eigenschaften der Geräte und Verfahren sowie der aktuellen Messmöglichkeiten und der Sicherung einheitlicher Messungen in diesem Bereich der Messtechnik auf nationaler und internationaler Ebene.
Mit der Lehrveranstaltung erwerben die Studierenden zu etwa 60% Fachkompetenz. Die verbleibenden 40% verteilen sich mit variierenden Anteilen auf Methoden-, System- und Sozialkompetenz. Sozialkompetenz erwächst aus praktischen Beispielen in der Vorlesung zur Gesamtproblematik Nanomesstechnik.
contentNanotechnologie / Nanomesstechnik heute und morgen: Wissenschaftlicher Hintergrund und ausgewählte Beispiele zur Nanotechnologie
Techniken für dimensionelle und andere Messungen im Nanometerbereich
Rastertunnelmikroskopie und aus ihr abgeleitete Rastersondenmikroskopie / Konsistenz von Ergebnissen aus aktuellen Maßvergleichen / gegenwärtige Erschließung von 3D-Messungen an Objekten der Mikrotechnik / Mikro-Tomographie.
Rasterelektronenmikroskopie / ausgewählte Anwendungen für dimensionelle Messungen /„metrologische Rasterelektronenmikroskope“
Röntgenreflektometrie /Anwendungen auf Schichten im Nanometerbereich
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation

Zugang zum Moodle-Kurs mit allen Informationen und Kursmaterialien:

Kurs: Nanomesstechnik (tu-ilmenau.de)

literature / referencesLiteratur wird während der Vorlesung genannt / die Präsentation enthält Quellennachweise
tm - Technisches Messen Vol. 76, No. 5, 05/2009
International Conference on Precision Measurement (ICPM2008) Part 1:
Nanomeasuring and Nanopositioning Technology
Nanoscale Calibration, Standards and Methods - Dimensional and Related
Measurements in the Micro- and Nanometer Range; Wiley-VHC Verlag GmbH
& Co. KGaA, Weinheim, Edition: Wilkening, Günter; Koenders, Ludger; 2005
ISBN 3-527-40502-X
K. Hasche, W. Mirande, G. Wilkening (Eds.)2001PTB-F-39: Proceedings of the
4th Seminar on Quantitative Microscopy QM 2000 Wirtschaftsverlag NW
ISBN 3-89701-503-X
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: