Technische Universität Ilmenau

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) - Modultafeln of TU Ilmenau

The module lists provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).

You can find all details on planned lectures and classes in the electronic university catalogue.

Information and guidance on the maintenance of module descriptions by the module officers are provided at Module maintenance.

Please send information on missing or incorrect module descriptions directly to modulkatalog@tu-ilmenau.de.

module properties MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) in degree program Master Mechatronik 2014
module number5984
examination number2300216
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2342 (Microsystems Technology)
module leaderProf. Dr. Steffen Strehle
term winter term only
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
obligationobligatory module
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experienceGrundlagen-Kenntnisse in Mikrotechnik, Mikrosensorik und / oder Mikroaktorik
learning outcome

Es können die systemspezifischen Randbedingungen für den Einsatz von MEMS in Rückkopplung mit der Mikrotechnologie diskutiert werden. Hierzu gehören insbesondere Zuverlässigkeitsanforderungen, Schnittstellen zur Makrowelt und Aspekte der Aufbau- und Verbindungstechnik. Die Studenten sind in die Lage, neue Mikrosysteme anhand von Anforderungsprofilen zu planen und dabei ungeeignete Ansätze bereits frühzeitig auszusortieren. Beispiele von MEMS in unterschiedlichen Bereichen, die bereits kommerziell eingesetzt werden, wie z.B. Drucksensoren, Inertialsensoren, Gasdetektoren können bzgl. Funktion, Aufbau und mikrotechnologischer Herstellung beschrieben werden. Den Studenten sind neue fortschrittliche Mikrotechnologien bekannt und sie können auch Methoden zur System- und Prozessoptimierung nennen und bzgl. der Einsatzpotentials diskutieren.

content

Spezielle Materialien und Technologien der Mikrosystemtechnik, wie z.B.:

  • Komplexe Materialsysteme und deren Strukturierung (z.B. Gläser und Glaskeramiken)
  • Verbundsubstrate
  • Aufbau und Verbindungstechnik
  • ALD, ALE

Prozessoptimierung und Systemdesign

  • Prozessoptimierung mit Design of Experiment (DoE)
  • MEMS Simulation mit finiten Elementen (FEM)
  • Workflow zur Herstellung eines mikromechanischen Systems

 Ausgewählte Systeme der Mikrosystemtechnik

  • Mikrooptische Systeme in Glas
  • aktive und passive Mikrosensoren für unterschiedliche Anwendungen (z.B. Gasdetektion, Beschleunigungsereignisse, Temperatur)
  • Electrowetting Systeme
media of instruction

Anschrieb (Tafel/elektronisch), Folien, Videos

Vorlesungen: E-Learning

Übungen: Hybrid-Veranstaltung 

Nähere Informationen sind auf Moodle zu finden.

literature / referencesG. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser-Verlag 2006
F. Völklein, T. Zetterer, Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage, Vieweg 2006
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

SS 2015 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: