Technische Universität Ilmenau

Micro Measurement Technology - Modultafeln of TU Ilmenau

The module lists provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).

You can find all details on planned lectures and classes in the electronic university catalogue.

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module properties Micro Measurement Technology in degree program Master Mechatronik 2014
ATTENTION: not offered anymore
module number7422
examination number2300237
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2342 (Microsystems Technology)
module leaderProf. Dr. Steffen Strehle
term summer term only
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
obligationelective module
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experiencePhysik,
Grundlagen Elektrotechnik,
Grundkenntnisse Mikrosystemtechnik
learning outcomeDie Studierenden sind in der Lage, messtechnische Verfahren für die Mikrosystemtechnik zu konzipieren, zu bewerten und einzusetzen, sowie bekannte Verfahren auf neue Aufgabenstellungen anzuwenden und neue Verfahren zu synthetisieren.
contentMessung von Materialeigenschaften
- Schichtmesstechnik (Tastschrittverfahren, elektrische Verfahren, Interferenzverfahren, Ellipsometrie)
- Oberflächenanalytik (Photoelektronenspektroskopie, Elektronenstrahlspektroskopie, Topographie von kristallinen Strukturen)
Messung mechanisch-physikalischer Eigenschaften
(Mikrohärteprüfung, Haftfestigkeit, Messung mechanischer Spannungen)
Funktionelle Messungen
Statische Messungen (Mikroskopie, Stereomikroskopie, konfokale Mikroskopie, Kameramesstechnik, Automatische Bildverarbeitung)
Dynamische Messungen (Laserscan-Aufnahmesysteme, Faseroptiksysteme, Hochgeschwindigkeitskamerasysteme, Bildaufnahme/Auswertung mit Kurzzeitbelichtung)
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participationTafel, Overhead Folien, Power-Point-Präsentationen
literature / references[1] Büttgenbach, S.: Mikromechanik, Einführung in Technologie und Anwendungen. Teubner Verlag 1994
[2] Gerlach, G.; Dötzel, W.: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Carl-Hanser Verlag 1997
[3] Wilkening, G.; Koenders, L.: Nanoscale Calibration Standards and Methods. Wiley-VCH Verlag 2005
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: