Technische Universität Ilmenau

Micro Sensors - Modultafeln of TU Ilmenau

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module properties Micro Sensors in degree program Master Mechatronik 2014
module number7423
examination number2300238
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2342 (Microsystems Technology)
module leaderProf. Dr. Steffen Strehle
term summer term only
languageDeutsch
credit points3
on-campus program (h)22
self-study (h)68
obligationelective module
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experience

Mikrotechnik 1

learning outcomeDie Studierenden werden befähigt, geeignete Mikrosensoren auszuwählen, indem sie die unterschiedlichen Konzepte und besonderen Ansätze mikrosystemtechnischer Sensoren kennenlernen. Dabei werden insbesondere auch die Unterschiede zu "makroskopischen" Sensoren vermittelt und neue, zum Teil "unscharfe" Messverfahren vorgestellt, so dass sie von den Studierenden angewandt werden können.
contentDie Vorlesung stellt Konzepte und Realisierungen von Mikrosensoren für unterschiedlichste Messgrößen vor. Daneben werden wesentliche Wandlerkonzepte unter Betrachtung der mikrosystemtechnischen Randbedingungen beschrieben: Widerstandsbrücken; Kapazitive Wandler; Dehnmessstreiben
Anwendungsfelder:
Messung von Kraft, Beschleunigung und Druck (Airbag-Sensor, Drucksensor etc.)
Messung thermischer Größen (Thermopile, Luftmassensensor, Neigungssensor)
Chemische Sensoren für Gase und Fluide (inkl. künstlicher Nase)
Sensoren für biologische Systeme
media of instructionEin Skript mit allen im Verlauf der Vorlesung verwendeten Folien ist verfügbar.
literature / referencesG. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser, 2006
J. Gardner, V.K. Varadan, O.O. Awadelkarim, Microsensors, MEMS and Smart Devices, Wiley, 2005
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: