Technische Universität Ilmenau

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008
Modulnummer5984
Prüfungsnummer2300216
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer 2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
TurnusWintersemester
SpracheDeutsch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen

Prüfungsgespräch (mündliche Abschlussleistung) in Distanz oder elektronisch entsprechend § 6a PStO-AB

Technische Hilfsmittel: Moodle-Zugriff, Webcam, Mikrofon, Webex

Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
VorkenntnisseGrundlagen-Kenntnisse in Mikrotechnik, Mikrosensorik und / oder Mikroaktorik
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Es können die systemspezifischen Randbedingungen für den Einsatz von MEMS in Rückkopplung mit der Mikrotechnologie diskutiert werden. Hierzu gehören insbesondere Zuverlässigkeitsanforderungen, Schnittstellen zur Makrowelt und Aspekte der Aufbau- und Verbindungstechnik. Die Studenten sind in die Lage, neue Mikrosysteme anhand von Anforderungsprofilen zu planen und dabei ungeeignete Ansätze bereits frühzeitig auszusortieren. Beispiele von MEMS in unterschiedlichen Bereichen, die bereits kommerziell eingesetzt werden, wie z.B. Drucksensoren, Inertialsensoren, Gasdetektoren können bzgl. Funktion, Aufbau und mikrotechnologischer Herstellung beschrieben werden. Den Studenten sind neue fortschrittliche Mikrotechnologien bekannt und sie können auch Methoden zur System- und Prozessoptimierung nennen und bzgl. der Einsatzpotentials diskutieren.

Inhalt

Spezielle Materialien und Technologien der Mikrosystemtechnik, wie z.B.:

  • Komplexe Materialsysteme und deren Strukturierung (z.B. Gläser und Glaskeramiken)
  • Verbundsubstrate
  • Aufbau und Verbindungstechnik
  • ALD, ALE

Prozessoptimierung und Systemdesign

  • Prozessoptimierung mit Design of Experiment (DoE)
  • MEMS Simulation mit finiten Elementen (FEM)
  • Workflow zur Herstellung eines mikromechanischen Systems

 Ausgewählte Systeme der Mikrosystemtechnik

  • Mikrooptische Systeme in Glas
  • aktive und passive Mikrosensoren für unterschiedliche Anwendungen (z.B. Gasdetektion, Beschleunigungsereignisse, Temperatur)
  • Electrowetting Systeme
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form

Anschrieb (Tafel/elektronisch), Folien, Videos

Vorlesungen: E-Learning

Übungen: Hybrid-Veranstaltung 

Nähere Informationen sind auf Moodle zu finden.

LiteraturG. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser-Verlag 2006
F. Völklein, T. Zetterer, Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage, Vieweg 2006
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

SS 2015 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: