Technische Universität Ilmenau

Technologien der Mikromechanik - Modultafeln of TU Ilmenau

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module properties Technologien der Mikromechanik in degree program Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ATTENTION: not offered anymore
module number5997
examination number2300285
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2342 (Microsystems Technology)
module leaderProf. Dr. Steffen Strehle
term winter term only
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
obligationelective module
examwritten pass-fail certificate, 90 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experienceBachelor-Abschluss (Ingenieur- oder Naturwissenschaften)
learning outcomeDie Studenten erlangen vertiefte Kenntnisse über spezielle Verfahren und Materialien für mikromechanische Systeme. Sie können Herstellungsprozesse von mikromechanischen Komponenten analysieren und bewerten. Sie sind in der Lage, Prozessketten zur Herstellung neuer Komponenten zu konzipieren.
contentIn der Lehrveranstaltung werden vertiefend spezielle technologische Aspekte der Mikromechanik behandelt. Schwerpunkt bilden spezielle Verfahren und Verfahrenskomplexe mit industrieller Relevanz.
- spezielle Verfahren der Oberflächenmikromechanik
- spezielle Verfahren der Volumenmikromechanik
- halbleiterkompatible Technologien für integrierte Mikromechanik
- Foundry-Prozesse
- Ultrapräzisionsbearbeitungsverfahren
- Elektrochemische Verfahren
- Laserverfahren
- Replikationsverfahren
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participationVorlesung, Tafel, Beamer
literature / references[1] G. Gerlach, W. Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Fachbuchverlag Leipzig 1996 (79 ELT 97 A 21467)
[2] M. Elwenspoek, H.V. Jansen: Silicon Micromachining. Cambridge University Press 2004 (69 ELT ZN 4980 E52)
[3] M. Madou: Fundamentals of microfabrication. Crc Press 2001 (69 ELT 98 A 1670)
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: