Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanosensoren - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Mikro- und Nanosensoren im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
Modulnummer5994
Prüfungsnummer2100186
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
TurnusWintersemester
SpracheDeutsch, auf Nachfrage Englisch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
VorkenntnisseGrundkenntnisse in Physik, Chemie, Mikrotechnik und Halbleitertechnologie
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Die Studenten verfügen über fundierte Kenntnisse der Mikro- und Nanosensorik. Sie sind in der Lage, Stimulus und Antwort in mikro- und nanodimensionierten Systeme zu verstehen. Sie analysieren und bewerten Mikro- und Nanosensoren im Hinblick auf ihre Prinzipien und Anwendungsmöglichkeiten. Sie sind in der Lage, Mikro- und Nanosensoren zu synthetisieren und in Systemen gezielt zum Einsatz zu bringen. Die Studenten verfügen über Verständnis des Aufbaues und der Funktionsweise von Sensoren für die wichtigsten nichtelektrischen Meßgrößen (z.B. Temperatur, Feuchte, Gaskonzentration, Ionenkonzentration, Durchflußmenge, Druck, Kraft, Beschleunigung, Weg, Winkel, Drehzahl, Lichtintensität, Farbe, magnetische Feldstärke etc.). Ein besonderes Augenmerk wird auf sogenannte Raster-Sonden-Techniken gelegt.

InhaltDie Vorlesung beinhaltet eine Einführung in die Grundlagen der Sensorprinzipien der gängigen Sensortechniken, wie auch von Sensoren-Mikrotechnologien und Klassifikation der Sensoren:
(i) Energieformen und Wandlung,
(ii)Physikalische Effekte der Sensorik.
Die Vorlesung beinhaltet auch einen Überblick über die Sensoren für mechanische, thermische, chemische, magnetische und optische Größen und über die Methoden der Sensorik und deren mikrosystemtechnische Realisierung.
Das Seminar vertieft die Kenntnisse zu Technologien und Applikationen von Mikrosensoren anhand von Seminarvorträgen auf der Basis von Literaturrecherchen
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer FormPowerpoint-Präsentatione, Tafelarbeit
LiteraturThomas Elbel: Mikrosensorik, Vieweg-Verlag 1996 /ISBN 3-528-03377-0
J. Fraden: "Handbook of modern sensors" 1996, Springer
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: