Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanosystemtechnik 1 - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Mikro- und Nanosystemtechnik 1 im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
Modulnummer5962
Prüfungsnummer2100188
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
TurnusWintersemester
SpracheDeutsch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
VorkenntnisseBachelor-Abschluß (Ingenieur- oder Naturwissenschaften)
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenDie Studierenden sind fähig Mikro- und Nanosysteme zu entwickeln, charakterisieren und optimieren. Sie besitzen die Fachkompetenz Mikro- und Nanosysteme durch lithografische Verfahren zu erstellen oder selbstorganisierte Prozesse zu deren Realisierung einzusetzen.
InhaltDas Lehrgebiet im beinhaltet folgende
Schwerpunkte:
- Design von kleinsten Systemen
- Lithographische Verfahren
- Ätztechnologien
- Metallisierungen
- Systemintegration
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer FormVorlesungen, Folien, Beamer
LiteraturFoundations of Nanomechanics, A. Cleland, Springer, (2003)
Device Electronics for ICs, R.Muller & T. Kamins, John Wiley & Sons, Inc. (1997)
Advanced Microsystems, I.W.Rangelow ed, FSRM, (2000)
Integrated Micro-Motion Systems, F.Harashima, Elsevier, (1990)
Fundamentals of Microfabrication, M. Madow, CRN Press, 2002
AIP Handbook of Modern Sensors, J. Fraden, American Institute of Physics, (1999
Mesoscopic Electronics in Solid State Nanostructures, T. Heinzel, Wiley-VCH, Weinheim (2003)
Physics of Nanostructures, J.H. Davies and A.R. Long eds., Institute of Physics Publishing, Bristol (1992)
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: