Technische Universität Ilmenau

Micro- and Nanostructured Glasses - Modultafeln of TU Ilmenau

The module lists provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

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You can find all details on planned lectures and classes in the electronic university catalogue.

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module properties Micro- and Nanostructured Glasses in degree program Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ATTENTION: not offered anymore
module number6932
examination number2300337
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2351 (Inorganic-Nonmetallic Materials)
module leaderProf. Dr. Edda Rädlein
term summer term only
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
obligationelective module
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experience- Physik, Chemie, Fertigungstechnik
- Grundlagen der Werkstoffwissenschaften (BA)
learning outcomeFachkompetenz 70 %: Die Studierenden sind in der Lage, Werkstoffe und Bearbeitungsverfahren der Mikrotechnik für Anwendungen im Mechatronikbereich für unterschiedliche Gläser systematisch anzuwenden. Vertiefte Kenntnisse von Struktur- / Eigenschaftsbeziehungen ermöglichen die Analyse von Fertigungsprozessen und die Ableitung von Applikationen.
Methodenkompetenz 20 %: Qualitätssicherung, systematische Entwicklung von Produkten, ökologische Technikbewertung
Systemkompetenz 5 %: fachübergreifendes Denken
Sozialkompetenz 5 %: Lernvermögen im Kollektiv, Flexibilität
content- Begriffe, Begriffshirarchie der MST
- Anforderungen der Fertigung mikrotechnischer Komponenten
- Applikationen (Substrate, mechanische und optische Sensoren, Fluidikbauteile)
- Technische und stoffliche Voraussetzungen
- Ausgewählte werkstoffliche Grundlagen (Struktur-Eigenschaftsbeziehungen, Kristallisation von Gläsern)
- Einteilung Strukturierungsverfahren
- Lithographiebasierend Verfahren
- Beschichtungsprozesse
- Ätzprozesse
- Mechanische Verfahren
- Laserstrahlverfahren
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participationpowerpoint-Folien
literature / references[1] D. Hülsenberg et. al.: Microstructurieng of Glasses. Springer-Verlag Berlin-Heidelberg, 2008
[2] W. Vogel: Glaschemie. 3. Auflage, Springerverlag, 1992
[3] G. Gerlach: Einführung in die Mikrosystemtechnik. Carl-Hanser Verlag, 2006
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: