Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanotechnologiepraktikum - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zum Modul Mikro- und Nanotechnologiepraktikum im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ModulnameMikro- und Nanotechnologiepraktikum
Modulnummer5973
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2142 (Nanotechnologie)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Heiko Jacobs
Leistungspunkte3
VerpflichtungPflichtmodul
Voraussetzungen
ModulabschlussEinzelleistungen
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenDie Studierenden sind in der Lage ausgewählte mikro- und nanoelektronische sowie mikromechanische Bauelemente herzustellen. Die Studenten besitzen die Fachkompetenz um Technologieabläufe zur Herstellung von Halbleiterbauelementen zu planen und durchzuführen. Sie besitzen die Fachkompetenz Bauelemente zu charakterisieren und Fehlfunktionen zu identifizieren.
Das Modul beinhaltet die folgenden Fächer:
Mikro- und Nanotechnologiepraktikum
Leistungspunkte3
VerpflichtungPflichtmodul
Modulabschlussalternative Studienleistung
Turnusganzjährig