Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanostrukturtechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zum Modul Mikro- und Nanostrukturtechnik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ModulnameMikro- und Nanostrukturtechnik
Modulnummer5961
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2142 (Nanotechnologie)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Heiko Jacobs
Leistungspunkte12
VerpflichtungPflichtmodul
Voraussetzungen
ModulabschlussEinzelleistungen
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Das Modul enthält ausgewählte Lehrangebote mit ingenieurwissenschaftlichem und mit naturwissenschaftlichem Fokus. Die Studierenden sind in der Lage ausgewählte mikro- und nanoelektronische sowie mikromechanische Systeme herzustellen. Die Studenten besitzen die Fachkompetenz um Technologieabläufe zur Herstellung von Halbleiterbauelementen zu planen und durchzuführen. Sie besitzen die Fachkompetenz Mikro- und Nanosysteme durch eine „top-down” sowie „bottom-up” Technologie zu realisieren.

Das Modul beinhaltet die folgenden Fächer:
Nanotechnologie
Leistungspunkte4
VerpflichtungPflichtmodul
Modulabschluss Prüfungsleistung
TurnusWintersemester
Mikro- und Nanosensoren
Leistungspunkte4
VerpflichtungPflichtmodul
Modulabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusWintersemester
Mikro- und Nanosystemtechnik 1
Leistungspunkte4
VerpflichtungPflichtmodul
Modulabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusWintersemester
Integrierte Optik und Mikrooptik
Leistungspunkte4
VerpflichtungPflichtmodul
Modulabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusSommersemester
Mikroaktorik
Leistungspunkte4
VerpflichtungWahlmodul
Modulabschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
TurnusWintersemester