Technische Universität Ilmenau

Design von Mikrosystemen - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Design von Mikrosystemen im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2013
Fachnummer7409
Prüfungsnummer2300225
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer 2342 (Mikromechanische Systeme)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Hoffmann
TurnusWintersemester
SpracheDeutsch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisseerfolgreicher Abschluss von Mikrotechnik 1; vorzugsweise paralleles Hören von "MEMS"
LernergebnisseDas Faszinierende an Mikrosystemen ist neben der Miniaturisierung, dass die einzelnen Funktionskomponenten zumeist unterschiedlichen physikalischen Domänen angehören, die miteinander stark verkoppelt sind. Mikrosysteme sind daher nicht einfach nur durch das Verkleinern bekannter Makrosysteme zu erreichen: vielmehr ist ein aufwendiger Entwurfs- und Konstruktionsprozess erforderlich, damit die miniaturisierten Systeme die gewünschten Funktionen erfüllen. Ziel der Vorlesung ist, das Verständnis über den Entwurfs- und Konstruktionsprozess von Mikrosystemen zu gewinnen. Dazu gehört die Heranführung an die Funktions- und Konstruktionsprinzipien im Mikrobereich sowie die Erklärung der wichtigsten Designschritte unter dem Aspekt der Mikrotechnik. Darüber hinaus spielt die Modellierung von Systemen eine wichtige Rolle. Insbesondere Netzwerkmodelle unterschiedlicher physikalischer Domänen werden untersucht.
Inhalt
  • Einführung
  • Grundlagen des Entwurfs für die MT
  • Funktionsgruppen und Formelemente
  • Masken und Maskendesign
  • Modellierung von Bauelementen und Einsatz der Simulation zur Parameter- und Prozessoptimierung
  • Modularer Entwurf von Mikrosystemen, Design von Schnittstellen unter Berücksichtigung von elektronischen, thermischen, mechanischen, optischen und fluidischen Parametern sowie den speziellen Anforderungen bei der Handhabung von Biomolekülen und Zellen

 

MedienformenSkript mit allen Folien, die im Verlauf der Vorlesung verwendet werden.
LiteraturM. Kasper, Mikrosystementwurf - Enwurf und Simulation von Mikrosystemen, Springer, 2000
S. D. Senturia, Microsystem Design, Kluwer Academic Publishers, 2001
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

WS 2009/10 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.