Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanostrukturtechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Modulinformationen zum Modul Mikro- und Nanostrukturtechnik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2013
ModulnameMikro- und Nanostrukturtechnik
Modulnummer100553
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2142 (Nanotechnologie)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Heiko Jacobs
Leistungspunkte15
VerpflichtungPflicht
Voraussetzungen

Mikro- und Halbleitertechnologie Optoelektronik

ModulabschlussEinzelleistungen
Details zum Abschluss
Lernergebnisse

Das Modul enthält ausgewählte Lehrangebote mit ingenieurwissenschaftlichem und mit naturwissenschaftlichem Fokus.
Die Studierenden sind in der Lage ausgewählte mikro- und nanoelektronische sowie mikromechanische Systeme herzustellen. Die Studenten besitzen die Fachkompetenz um Technologieabläufe zur Herstellung von Halbleiterbauelementen zu planen und durchzuführen. Sie besitzen die Fachkompetenz Mikro- und Nanosysteme durch eine „top-down“ sowie „bottom-up“ Technologie zu realisieren.

Das Modul beinhaltet die folgenden Fächer:
Mikro- und Halbleitertechnologie 1
Leistungspunkte5
VerpflichtungWahlpflicht
Fachabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusSommersemester
Nanotechnologie
Leistungspunkte5
VerpflichtungWahlpflicht
Fachabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusWintersemester
Mikro- und Nanosensorik
Leistungspunkte5
VerpflichtungWahlpflicht
Fachabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusSommersemester
Mikro- und Nanosystemtechnik 2
Leistungspunkte5
VerpflichtungWahlpflicht
Fachabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusWintersemester
Mikro- und Nanotechnologiepraktikum
Leistungspunkte4
VerpflichtungPflicht
Fachabschlussalternative Studienleistung
Turnusganzjährig
Aufbau- und Verbindungstechnik für MNT
Leistungspunkte4
VerpflichtungWahlpflicht
Fachabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusSommersemester
Mikrotechnologie
Leistungspunkte4
VerpflichtungWahlpflicht
Fachabschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
TurnusSommersemester
Integrierte Optik und Mikrooptik
Leistungspunkte3
VerpflichtungWahlpflicht
Fachabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusSommersemester
Design von Mikrosystemen
Leistungspunkte4
VerpflichtungWahlpflicht
Fachabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusWintersemester
Mikroaktorik
Leistungspunkte3
VerpflichtungWahlpflicht
Fachabschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
TurnusWintersemester

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.