Technische Universit├Ąt Ilmenau

Micro-and nanostructure technology - Modultafeln of TU Ilmenau

The Modultafeln have a pure informational character. The legally binding information can be found in the corresponding Studienplan and Modulhandbuch, which are served on the pages of the course offers. Please also pay attention to this legal advice (german only).
Information on the room and time of planned courses can be found in the e-calendar of events. Courses and examinations that are not listed in the e-calendar of events are planned "by appointment". A list of the events concerned can be found here: courses, examinations.

module properties Micro-and nanostructure technology in major unassigned
module nameMicro-and nanostructure technology
module number100553
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group 2142 (Nanotechnology Group)
module leaderProf. Dr. Heiko Jacobs
credit points15

Mikro- und Halbleitertechnologie Optoelektronik

certificate of the module Individual achievements or exams
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
learning outcome

Das Modul enthält ausgewählte Lehrangebote mit ingenieurwissenschaftlichem und mit naturwissenschaftlichem Fokus.
Die Studierenden sind in der Lage ausgewählte mikro- und nanoelektronische sowie mikromechanische Systeme herzustellen. Die Studenten besitzen die Fachkompetenz um Technologieabläufe zur Herstellung von Halbleiterbauelementen zu planen und durchzuführen. Sie besitzen die Fachkompetenz Mikro- und Nanosysteme durch eine „top-down“ sowie „bottom-up“ Technologie zu realisieren.