Technische Universität Ilmenau

Vakuum-Plasmatechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Vakuum-Plasmatechnik im Studiengang Bachelor Werkstoffwissenschaft 2009
Modulnummer6707
Prüfungsnummer2100271
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2173 (Plasma- und Oberflächentechnik)
Modulverantwortliche(r) Dr. Birger Dzur
TurnusWintersemester
SpracheDeutsch
Leistungspunkte2
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)38
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussalternative Studienleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SLDie Anmeldung zur alternativen semesterbegleitenden Abschlussleistung erfolgt über das Prüfungsverwaltungssystem (thoska) außerhalb des zentralen Prüfungsanmeldezeitraumes. Die früheste Anmeldung ist generell ca. 2-3 Wochen nach Semesterbeginn möglich. Der späteste Zeitpunkt für die An- oder Abmeldung von dieser konkreten Abschlussleistung ist festgelegt auf den (falls keine Angabe, erscheint dies in Kürze):
max. Teilnehmerzahl
VorkenntnisseGrundlagen der Werkstoffwissenschaft 1-4
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenDie Studierenden kennen die Besonderheiten von nichtthermischen Gasentladungen im Vakuum, Möglichkeiten der Generierung derartiger Plasmen und ausgewählte Verfahren der Nierdertemperatur-Plasmatechnik, insbesondere der Dünnschichttechnik.
Sie sind in der Lage, die Anwendbarkeit dieser Verfahren auf eine gegebene Aufgabenstellung zu beurteilen bzw. geeignete technologische Konzepte auszuwählen.
InhaltVakuumerzeugung und Messung
Besonderheiten von Gasentladungen im Niederdruck
Niederdruckentladungen
Glimmentladung
kapazitiv/induktiv gekoppelte HF-Entladungen
Mikrowellenentladungen
Anwendungen der Glimmentladung
Plasmadiffusionsverfahren
PA-PVD und -CVD
Beleuchtungstechnik
Anwendungen von HF- und μW-Plasmen
Sputtern, Ätzen, Beschichten
Dielektrisch behinderte Entladungen (Barriereentladungen)
Oberflächenmodifikation
Ozonerzeugung
Kopierer und Laserdrucker
Plasma-TV-Technologie
Ionenstrahlverfahren
Erzeugung und Wirkung auf Oberflächen
Aktivieren, Sputtern, Beschichten, Implantieren
Satellitentriebwerke
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer FormVorlesungsskript Tafel / Whiteboard
Folien Computer Demo
Literatur- Hippler et al: Low Temperature Plasma Physics-Fundamental Aspects and Applications; Wiley VCH Verlag, 2001
- Frey: Dünnschichttechnologie; VDI-Verlag Düsseldorf, 1987
- Dresvin et al: Physics and Technology of Low-Temperature Plasmas; Iowa State University Press/AMES, 1977
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: