Technische Universität Ilmenau

Glas und Keramik in der Mikro- und Nanotechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Glas und Keramik in der Mikro- und Nanotechnik im Studiengang Bachelor Werkstoffwissenschaft 2009
Modulnummer6692
Prüfungsnummer2300316
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer 2351 (Anorganisch-nichtmetallische Werkstoffe)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Edda Rädlein
TurnusWintersemester
Sprachedeutsch
Leistungspunkte3
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)56
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussmündliche Studienleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse

Grundlagen der WSW, Physik, Chemie, Fertigungstechnik

Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Ziel der Lehrveranstaltung ist das Erwerben von Kenntnissen zur Bewertung:

  • von Gläsern und Keramiken hinsichtlich Mikro- und Nanostrukturierbarkeit sowie die technischen Prozessen der MNT
  • wichtiger Eigenschaften von Gläsern und Keramiken für Mikro- und Nanosysteme
  • der Unterschied zwischen Oberflächen- und Volumeneigenschaften
  • Grundlegender Mikro- und Nanostrukturierungstechniken für Gläser und Keramiken
  • spezieller Eigenschaften mikro-und nanostrukturierten Bauteilen auf Basis ausgewählter Applikationsbeispielen
Inhalt

Aufbau und Verbindungstechnik

  • Technische und stoffliche Voraussetzungen (Struktur-Eigenschaftsbeziehungen in Gläsern und Keramiken, Übersicht über Strukturierungstechniken, Methoden zur Beeinflussung von Eigenschaftsprofilen)
  • Substratmaterialien (Dünnglas, HTCC, LTCC: Werkstoffe, Eigenschaften und Herstellung)
  • Kieselglas für thermische und optische Anwendungen (Struktur, Herstellung über Schmelzprozess, Gasphasenabscheidung, SolGel-Technik)
  • Lithographiebasierte Strukturierungstechniken für Glas (Beschichtungen, Fotolithographie, nasschemische und Trockenätzprozesse)
  • Fotostrukturierbare Gläser (Werkstoffe, Eigenschaften, Herstellung und Prozessierung, Anwendungen)
  • Mechanische Verfahren zur geordneten Mikrostrukturierung von Glas (Schleifen, Polieren, US-Bohren, Sandstrahlen)
  • Ausgewählte Techniken der Laserbearbeitung von Glas (Wechselwirkung Material-Strahlung, Techniken zur Markierung, zum Materialabtrag)

 

Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form

https://moodle2.tu-ilmenau.de/enrol/index.php?id=3163

Tafelbild, Anschauungsmuster, PowerPoint, Versuchsstände Labor

Literatur
  • Gerlach; G., Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Carl Hanser-Verlag 1997
  • Menz, W.; Bley, P.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure. VHC 1993
  • Petzold, A.: Anorganisch nichtmetallische Werkstoffe. Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, Leipzig, 1986
  • Scholze, H.: Glas. 3. neu bearb. Auflage, Springer-Verlag 1988
  • Mitschke, F.: Glasfasern, Elsevier, 2005
  • Hülsenberg, D. e.a: Microstructuring of Glasses. Springer 2008
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: