Technische Universität Ilmenau

Thin Films and Thin Films Analysis - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties Thin Films and Thin Films Analysis in major Master Werkstoffwissenschaft 2010
subject number6924
examination number2100327
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group 2172 (Group of Materials for Electrical Engineering and Electronics)
subject leaderProf. Dr. Peter Schaaf
term Wintersemester
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate

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maximum number of participants
previous knowledge and experienceGrundlagen der Werkstoffwissenschaft und der Naturwissenschaften
learning outcomeDie Studierenden sind in der Lage, Schichtdickenmessverfahren und Verfahren für Zustandsparamter zu erklären und für neue Anwendungen anzuwenden.
Das Fach vermittelt Fach-, Methoden- und Systemkompetenz.
content

1. Schichtdickenmessverfahren 1.1. Begriffsbestimmungen "Schicht" und "Schichtdicke" 1.2. Massebestimmung 1.3. Optische Verfahren 1.4. Elektrische Verfahren 1.5. Magnetische Verfahren 1.6. Pneumatische Verfahren 1.7. Radiometrische Verfahren 1.8. Thermische Verfahren 2. Messverfahren für innere mechanische Spannungen 2.1. Mechanische Verfahren 2.2. Akustische Verfahren 2.3. Optische Prüfverfahren 2.4. Röntgen- und Elektronenbeugungsverfahren 2.5. Dehnmessstreifen 3. Rauheitsmessungen 3.1. Optische Verfahren 3.2. Mechanische Verfahren 3.3. Pneumatische Verfahren 4. Haftfestigkeitsprüfverfahren 4.1. Technologische Prüfverfahren 4.2. Mechanische Messverfahren 4.3. Zerstörungsfreie Prüfverfahren 5. Glanzbestimmung 6. Härtemessung an Schichten 6.1. Eindringkörpermethoden 6.2. Ritzhärteprüfmethoden 6.3. Zerstörungsfreie Härteprüfverfahren 7. Porositätsbestimmung 7.1. Chemische und elektrochemische Verfahren 7.2. Physikalische Verfahren 8. Dichtebestimmung 8.1. Begriffsbestimmung 8.2. Messverfahren 9. Temperaturmessung 9.1 Temperaturskalen 9.2. Berührungsthermometer 9.3. Strahlungsthermometer 9.4. Probleme der Temperaturbestimmung 10. Druckmessung

media of instructionVorlesungsskript
Tafel / Whiteboard
Computer Demo
literature / references- Nitzsche, H.: Schichtmeßtechnik, Würzburg: Vogel, 1997
- Herrmann, D.: Schichtdickenmessung, München,
Wien: Oldenbourg, 1993
- Moderne Beschichtungsverfahren .- 2. neubearb.
Aufl. (Herausg. H.-D. Steffens, J. Wilden).
Oberursel: DGM Informationsgesellschaft, 1996
- Werkstoffprüfung (Herausg.: H. Blumenauer), 6.
Aufl. Stuttgart: Deutscher Verlag für
Grundstoffindustrie, 1994
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: