Technische Universität Ilmenau

Scanning Probe and Electron Microscopy - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties Scanning Probe and Electron Microscopy in major Master Werkstoffwissenschaft 2010
ATTENTION: not offered anymore
subject number6923
examination number2100328
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group 2172 (Group of Materials for Electrical Engineering and Electronics)
subject leaderProf. Dr. Peter Schaaf
term Wintersemester
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
maximum number of participants
previous knowledge and experiencePhysik, Elektrotechnik, Werkstoffzustände und Werkstoffanalyse
learning outcome- Die Studierenden sind in der Lage die
grundlegenden Zusammenhänge zwischen der
Rastersondenmikroskopie und der
Elektronenmikroskopie, der benötigten
Gerätekonfigurationen und der Möglichkeiten der
Bildentstehung
content1. Rastersondenmikroskopie:
Aufbau und Arbeitsweise Rastertunnelmikroskop,
Aufbau und Arbeitsweise Rasterkraftmikroskop
2. Reglerprinzipien im Rastersondenmikroskop
3. Abbildung der Oberflächentopographie mit dem
Rastertunnelmikroskop
- Abbildungsprinzipien für atomare Auflösungen,
- Fourieranalyse zur Sichtbarmachung periodischer Strukturen
4. Abbildung der Oberflächentopographie mit dem
Rasterkraftmikroskop,
- internal Sensorbild
- Topographieabbildung
- Lateralforceabbildung
- Kraft-Eindringkurven
5. Elektronenmikroskopie:
- Erzeugung hoch fokussierter
Elektronenstrahlen (Kathoden, Linsen), Detektoren,
- Wechselwirkungskette (Sekundär, Rückstreuelektronen, Augerelektronen …),
6. Transmisionselektronenmikroskopie
- Bildaufbau im Elektronenmikroskop bei Durchstrahlung
- Hellfeld- und Dunkelfeldaufnahmen
- Beugung im Transmissionsmode
- Höchstauflösung als Beugung
- Konvergente Beugung
- Fourieranalyse zur Analyse Atomabastände und reziproke Gitterabbildung
7. Umweltmikroskopie (ESEM)
8. Analytische Elektronenmikroskopie
- Elektronenstrahl induzierte Röntgenstrahlung
- Detektionsmöglichkeiten (EDX, WDX)
- Detektoraufbau
- qualitative und quantitative EDX
- Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS)
- Rückstreubeugung (EBSD)
9. Zusammenfassung
- Vergleich der Verfahren bezüglich Auflösung,
Quantifizierbarkeit, Kosten, Probenanforderung
media of instructionVorlesungsskript
Tafel / Whiteboard
Folien
literature / references- Hunger, H.J.: Werkstoffanalytische Verfahren:
eine Auswahl; 1. Auflage, Deutscher Verlag für
Grundstoffindustrie 1995
- Reimer, l.: Scanning Electron Microscopy; 2.
Auflage, Springer Verlag 2008
- Reimer, L; Pfefferkorn, G.: Raster-
Elektronenmikroskopie; 2. Auflage, Springer Verlag 1977
- Schmidt, P. F.: Praxis der Rasterelektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse, expert-Verlag 1994
- Slayter, E.: Light and electron microscopy,
Cambridge Univ. Press 1992
- Schäfer; Terlecki: Halbleiterprüfung, Hüthig-
Verlag 1986
- Eggert, F.: Standardfreie Elektronenstrahl-Mikroanalyse (mit dem EDX im Rasterelektronenmikroskop): Ein Handbuch für die Praxis (Taschenbuch); Books on Demand Gmbh; Auflage: 1 (Februar 2005); ISBN: 978-3833425998
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: