Technische Universität Ilmenau

Mikrogalvanotechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Mikrogalvanotechnik im Studiengang Master Werkstoffwissenschaft 2010
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
Fachnummer5474
Prüfungsnummer2100330
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2175 (Elektrochemie und Galvanotechnik)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Andreas Bund
TurnusWintersemester
SpracheDeutsch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
VorkenntnisseChemie, Elektrochemie
Lernergebnisse- Die Studierenden sind in der Lage, die Eigenschaften der beschichteten Werkstoffe zu bestimmen und die geeigneten Messverfahren zielführend anzuwenden.
- Die Studierenden kennen die Mess- und Prüfverfahren und sind in der Lage, die Ergebnisse zu bewerten und zu vergleichen.
- Die Studierenden können Mess- und Prüfverfahren in den technologischen Prozess einordnen und die Qualitätssicherung garantieren.
Inhalt- Beschichtungstechnologien
- Vorbehandlung Substrate
- Resiste - Eigenschaften und Anwendung
- Strukturierung der Resiste
- Galvanoformung in den Mikrostrukturen
- Aufbau- und Verbindungstechnologien
- Nachbehandlung der gefüllten Resiste
- Ablösen der Resiste
- Qualitätskontrolle, Messtechnik
MedienformenSkripte, Folien, Tafel
LiteraturJ. Frühauf; "Werkstoffe der Mikrotechnik"; Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag; 2005
B. Heimann, W. Gerth, K. Popp; "Mechatronik - Komponenten, Methoden, Beispiele"; Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag, 1998
B. Elsner; "Integration von Sensoren mittels additiver Mikrogalvanik"; Shaker Verlag Aachen, 2000
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.