Technische Universität Ilmenau

Werkstoffe und Grundlagen der Vakuum- und Reinraumtechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Werkstoffe und Grundlagen der Vakuum- und Reinraumtechnik im Studiengang Master Werkstoffwissenschaft 2011
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
Fachnummer6925
Prüfungsnummer2100326
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2172 (Werkstoffe der Elektrotechnik)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Peter Schaaf
TurnusSommersemester
SpracheDeutsch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alt. Leistungen
max. Teilnehmerzahl
VorkenntnisseNaturwissenschaftliche und werkstofftechnische Grundlagen
LernergebnisseDie Studierenden können Vakua herstellen und messen, sowie die richtigen Werkstoffe für Vakuumanlagen bestimmen.
Sie können geeignete Pumpen- und Meßsysteme für eine bestimmte Aufgabe auswählen und kritisch bewerten.
Die Studierenden können die Regeln und Maßnahmen im Reinraum anwenden und notwendige Reinraumklassen für Ihre Anwendungen bestimmen und einrichten.
InhaltDie Studierenden lernen die Grundlagen der Vakuum- und Reinraumtechnik kennen.
- Prinzipien von Vakuumanlagen
- Grundlagen des Vakuums, Gasdruck, Adsorption, Desoption
- Werkstoffe
- Dichtungen
- Pumpen
- Meßgeräte
- Schleusen
- Vorgehensweisen
- Temperaturabhängigkeiten
Reinraum
- Reinraumklassen
- technische Ausführung, Prinzipien
- Werkstoffe
- Regeln im Reinraum
- Auslegung von Reinräumen
- Anwendung und Klassifizierung für Prozesse
MedienformenVorlesung mit Folien, Vorlesungsscript,
Praktikum mit praktischen Aufgaben an Vakuumanlagen und im Reinraum.
Literatur- Jousten, K.; Wutz - Handbuch Vakuumtechnik; 9.
Auflage, Vieweg 2006.
- Vorlesungsskript
-
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.