Technische Universität Ilmenau

Materials and Methods for Vacuum and Clean Room Technology - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties Materials and Methods for Vacuum and Clean Room Technology in major Master Werkstoffwissenschaft 2011
ATTENTION: not offered anymore
subject number6925
examination number2100326
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group 2172 (Group of Materials for Electrical Engineering and Electronics)
subject leaderProf. Dr. Peter Schaaf
term Sommersemester
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory elective
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experienceNaturwissenschaftliche und werkstofftechnische Grundlagen
learning outcomeDie Studierenden können Vakua herstellen und messen, sowie die richtigen Werkstoffe für Vakuumanlagen bestimmen.
Sie können geeignete Pumpen- und Meßsysteme für eine bestimmte Aufgabe auswählen und kritisch bewerten.
Die Studierenden können die Regeln und Maßnahmen im Reinraum anwenden und notwendige Reinraumklassen für Ihre Anwendungen bestimmen und einrichten.
contentDie Studierenden lernen die Grundlagen der Vakuum- und Reinraumtechnik kennen.
- Prinzipien von Vakuumanlagen
- Grundlagen des Vakuums, Gasdruck, Adsorption, Desoption
- Werkstoffe
- Dichtungen
- Pumpen
- Meßgeräte
- Schleusen
- Vorgehensweisen
- Temperaturabhängigkeiten
Reinraum
- Reinraumklassen
- technische Ausführung, Prinzipien
- Werkstoffe
- Regeln im Reinraum
- Auslegung von Reinräumen
- Anwendung und Klassifizierung für Prozesse
media of instructionVorlesung mit Folien, Vorlesungsscript,
Praktikum mit praktischen Aufgaben an Vakuumanlagen und im Reinraum.
literature / references- Jousten, K.; Wutz - Handbuch Vakuumtechnik; 9.
Auflage, Vieweg 2006.
- Vorlesungsskript
-
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: