Glas und Keramik in der Mikro- und Nanotechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

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Fachinformationen zu Glas und Keramik in der Mikro- und Nanotechnik im Studiengang Master Werkstoffwissenschaft 2013
Fachnummer	6692
Prüfungsnummer	2300493
Fakultät	Fakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer	2351 (Anorganisch-nichtmetallische Werkstoffe)
Fachverantwortliche(r)	Prof. Dr. Edda Rädlein
Turnus	Wintersemester
Sprache
Leistungspunkte	5
Präsenzstudium (h)	45
Selbststudium (h)	105
Verpflichtung	Wahlpflicht
Abschluss	mündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse	Grundlagen der WSW, Physik, Chemie, Fertigungstechnik
Lernergebnisse	Ziel der Lehrveranstaltung ist das Erwerben von Kenntnissen zur Bewertung: von Gläsern und Keramiken hinsichtlich Mikro- und Nanostrukturierbarkeit sowie die technischen Prozessen der MNT wichtiger Eigenschaften von Gläsern und Keramiken für Mikro- und Nanosysteme der Unterschied zwischen Oberflächen- und Volumeneigenschaften Grundlegender Mikro- und Nanostrukturierungstechniken für Gläser und Keramiken spezieller Eigenschaften mikro-und nanostrukturierten Bauteilen auf Basis ausgewählter Applikationsbeispielen
Inhalt	Aufbau und Verbindungstechnik Technische und stoffliche Voraussetzungen (Struktur-Eigenschaftsbeziehungen in Gläsern und Keramiken, Übersicht über Strukturierungstechniken, Methoden zur Beeinflussung von Eigenschaftsprofilen) Substratmaterialien (Dünnglas, HTCC, LTCC: Werkstoffe, Eigenschaften und Herstellung) Kieselglas für thermische und optische Anwendungen (Struktur, Herstellung über Schmelzprozess, Gasphasenabscheidung, SolGel-Technik) Lithographiebasierte Strukturierungstechniken für Glas (Beschichtungen, Fotolithographie, nasschemische und Trockenätzprozesse) Fotostrukturierbare Gläser (Werkstoffe, Eigenschaften, Herstellung und Prozessierung, Anwendungen) Mechanische Verfahren zur geordneten Mikrostrukturierung von Glas (Schleifen, Polieren, US-Bohren, Sandstrahlen) Ausgewählte Techniken der Laserbearbeitung von Glas (Wechselwirkung Material-Strahlung, Techniken zur Markierung, zum Materialabtrag)
Medienformen	Tafelbild, Anschauungsmuster, PowerPoint, Versuchsstände Labor
Literatur	Gerlach; G., Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Carl Hanser-Verlag 1997 Menz, W.; Bley, P.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure. VHC 1993 Petzold, A.: Anorganisch nichtmetallische Werkstoffe. Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, Leipzig, 1986 Scholze, H.: Glas. 3. neu bearb. Auflage, Springer-Verlag 1988 Mitschke, F.: Glasfasern, Elsevier, 2005 Hülsenberg, D. e.a: Microstructuring of Glasses. Springer 2008
Lehrevaluation

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