Technische Universit├Ąt Ilmenau

Glasses and Ceramics in Micro- and Nanotechnologies - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties Glasses and Ceramics in Micro- and Nanotechnologies in major Master Werkstoffwissenschaft 2013
subject number6692
examination number2300493
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2351 (Group for Inorganic-Nonmetallic Materials)
subject leaderProf. Dr. Edda R├Ądlein
term Wintersemester
language
credit points5
on-campus program (h)45
self-study (h)105
Obligationobligatory elective
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
maximum number of participants
previous knowledge and experience

Grundlagen der WSW, Physik, Chemie, Fertigungstechnik

learning outcome

Ziel der Lehrveranstaltung ist das Erwerben von Kenntnissen zur Bewertung:

  • von Gläsern und Keramiken hinsichtlich Mikro- und Nanostrukturierbarkeit sowie die technischen Prozessen der MNT
  • wichtiger Eigenschaften von Gläsern und Keramiken für Mikro- und Nanosysteme
  • der Unterschied zwischen Oberflächen- und Volumeneigenschaften
  • Grundlegender Mikro- und Nanostrukturierungstechniken für Gläser und Keramiken
  • spezieller Eigenschaften mikro-und nanostrukturierten Bauteilen auf Basis ausgewählter Applikationsbeispielen
content

Aufbau und Verbindungstechnik

  • Technische und stoffliche Voraussetzungen (Struktur-Eigenschaftsbeziehungen in Gläsern und Keramiken, Übersicht über Strukturierungstechniken, Methoden zur Beeinflussung von Eigenschaftsprofilen)
  • Substratmaterialien (Dünnglas, HTCC, LTCC: Werkstoffe, Eigenschaften und Herstellung)
  • Kieselglas für thermische und optische Anwendungen (Struktur, Herstellung über Schmelzprozess, Gasphasenabscheidung, SolGel-Technik)
  • Lithographiebasierte Strukturierungstechniken für Glas (Beschichtungen, Fotolithographie, nasschemische und Trockenätzprozesse)
  • Fotostrukturierbare Gläser (Werkstoffe, Eigenschaften, Herstellung und Prozessierung, Anwendungen)
  • Mechanische Verfahren zur geordneten Mikrostrukturierung von Glas (Schleifen, Polieren, US-Bohren, Sandstrahlen)
  • Ausgewählte Techniken der Laserbearbeitung von Glas (Wechselwirkung Material-Strahlung, Techniken zur Markierung, zum Materialabtrag)

 

media of instruction

Tafelbild, Anschauungsmuster, PowerPoint, Versuchsstände Labor

literature / references
  • Gerlach; G., Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Carl Hanser-Verlag 1997
  • Menz, W.; Bley, P.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure. VHC 1993
  • Petzold, A.: Anorganisch nichtmetallische Werkstoffe. Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, Leipzig, 1986
  • Scholze, H.: Glas. 3. neu bearb. Auflage, Springer-Verlag 1988
  • Mitschke, F.: Glasfasern, Elsevier, 2005
  • Hülsenberg, D. e.a: Microstructuring of Glasses. Springer 2008
evaluation of teaching