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Prof. Ivo W. Rangelow

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INHALTE

Mikro- und Nanofabrikation

Die Forschergruppe unter der Leitung von Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Ivo W. Rangelow entwickelt Verfahren zur Mikro- und Nanostrukturierung von Oberflächen durch kontrollierte und geordnete lithographische Strukturerzeugung und kontrolliertes Plasma- oder Nassätzen. Am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologie (ZMN) der Technischen Universität Ilmenau werden optische und E-Beam basierte lithographische Verfahren untersucht und weiterentwickelt.
Diese Technologien werden in enger Zusammenarbeit mit den Thüringer Unternehmen intensiv verfolgt und das entsprechende Marktpotential gesucht.
Thüringer Unternehmen können von den künftigen Nanostrukturierungstechnologien profitieren, wenn Innovationsanalysen, Technologieanalysen, Roadmaps und Marktstudien Hand in Hand im Rahmen von interdisziplinären Forschungsprojekten mit der Wissenschaft und naturwissenschaftlichen Nachwuchs zusammen gehen.
Eine Vielzahl von Anwedungsmöglichkeiten ergibt sich aus der Tatsache, dass die im Reinraumlabor erzeugten Nanostrukturen und Systeme außergewöhnliche Eigenschaften besitzen und die Möglichkeit eröffnen, die Zukunft der Nanotechnologien mitzugestalten.