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INHALTE

Präzisionsmesstechnik

Die Präzisionsmesstechnik ist ein wichtiges Forschungsgebiet des Instituts Prozessmess- und Sensortechnik. Wichtige Themenfelder sind:

  • Lasernanomesstechnik,   
  • Lichtwellenleitergekoppelte Miniaturinterferometer,
  • Laserinterferometrische Mehrkoordinatenmesstechnik,
  • Laserinterferometrische Kalibriertechnik,
  • Autofokusmesssysteme,
  • Hochpräzise Oberflächen- und Formmesstechnik

Lichtwellenleitergekoppelte Miniaturinterferometer

Laserinterferometerische Messverfahren bieten einzigartige Eigenschaften, die durch eine Verbindung eines großen Längenmessbereiches mit einer ausserordentlichen Auflösung im Pikometerbereich gekennzeichnet werden. Die laserinterferometrischen Messsysteme können zur Messung der Verschiebung von Sub-Nanometern bis einigen Metern eingesetzt werden, ohne dass eine Änderung weder der optischen noch elektronischen Gerätekonfiguration notwendig wird.
Die Lichtwellenleiterkopplung macht die Systeme flexibler und ermöglicht die Trennung des Sensorkopfes von der Laser- und Elektronikeinheit.

Hochstabilisierte Laserlichtquellen

Für Präzisionslängenmessungen im Bereich von Nanometern bis zu einigen Metern werden interferometrische Methoden benutzt, bei denen die zu messende Länge mit einer oder mehreren bekannten Lichtwellenlängen verglichen wird. Für diesen Zweck werden neue Laserlichtquellen und Stabilisierungsverfahren entwickelt.
Durch das Vordringen der Nanopsitionier- und Nanomesstechnik in den Pikometerbereich ist es notwendig, die Stabilität der He-Ne-Laser weiter zu untersuchen und zu verbessern.