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Hausotte, Tino; Jäger, Gerd; Manske, Eberhard; Sawodny, Oliver
Control system of a nanopositioning and nanomeasuring machine. - In: , (2004), S. 123-126

Mastylo, Rostyslav; Manske, Eberhard; Jäger, Gerd
Entwicklung eines Fokussensors und Integration in die Nanopositionier- und Nanomessmaschine. - In: Technisches Messen : tm : Sensoren, Geräte, Systeme : Organ des AMA Fachverbands für Sensorik e.V. und der NAMUR, Normenarbeitsgemeinschaft für Mess- und Regelungstechnik der Chemischen Industrie. - Berlin : De Gruyter, ISSN 21967113, Bd. 71 (2004), 11, S. 596-602
http://dx.doi.org/10.1524/teme.71.11.596.51377
Töpfer, Susanne; Mastylo, Rostyslav; Linß, Gerhard; Manske, Eberhard; Kühn, Olaf; Nehse, Uwe
Edge detection at height profiles with nano resolution. - In: : ., (2004), S. 410-412

Jäger, Gerd; Manske, Eberhard; Mastylo, Rostyslav
Großvolumige Rastersondenmikroskopie mit rückgeführten Messsystemen. - In: : ., (2004), S. 43-50

Pöschel, Wolfgang;
Interferenzoptische Präzisionsdrucksensoren mit keramischen Verformungskörpern. - VIII, 127 S.
Ilmenau : Techn. Univ., Diss., 2004

Lasergestützte Messverfahren bestimmen seit mehreren Jahren den Stand der Technik. Diese Dissertation beschreibt die Entwicklung eines neuartigen Verfahrens zur Präzisionsdruckmessung bis 6 MPa Überdruck. Aus der Kombination eines hoch auflösenden und metrologisch ausgereiften Kompaktinterferometers mit Verformungskörpern aus Aluminiumoxidkeramik in Form einer Bourdonfeder resultieren geringste Unsicherheiten der Druckmessung. Schwerpunkt der Arbeit ist die Entwicklung und Untersuchung geeigneter Verformungskörper, welche die Eingangsgröße Druck mit hoher Genauigkeit auf eine vom Interferometer gemessene Verschiebung abbilden. Es wird eine Herstellungstechnologie zur reproduzierbaren Fertigung der komplexen Verformungskörper aus Aluminiumoxidkeramik vorgestellt. Mit Hilfe der entwickelten Berechnungsverfahren und der präzisen Erfassung der geometrischen Größen erfolgt die Dimensionierung und Nachrechnung der Verformungskörper hinsichtlich ihrer Kennlinien und des Bruchdruckes. Vorraussetzung für die messtechnische Untersuchung der interferenzoptischen Drucksensoren sind Messplätze höchster Genauigkeit. In den realisierten Messplatzvarianten werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt in Braunschweig kalibrierte Kolbenmanometer für flüssige und gasförmige Druckmedien eingesetzt. Ein an die Besonderheiten der Präzisionsdruckmessung angepasstes Messregime erlaubt die effektive, einheitliche und problemorientierte Untersuchung der Drucksensoren. Untersuchungsschwerpunkte sind die Bestimmung der Wiederholpräzision, Langzeitstabilität, Linearität, Hysterese und Lageempfindlichkeit. Der Einfluss von Umgebungstemperaturänderungen ist ein weiterer entscheidender Aspekt. Aus den messtechnischen Untersuchungen geht hervor, dass hauptsächlich der Umgebungstemperatureinfluss, die nichtlineare Kennlinie und die Hysterese die erzielbare Messunsicherheit interferenzoptischer Drucksensoren begrenzen. Es wird gezeigt, dass die beobachtete Hysterese vordergründig auf thermodynamische Zustandsänderungen des Druckmediums zurückzuführen ist. An einem Drucksensor wird nachgewiesen, dass durch die rechentechnische Korrektion von Einfluss- und Störgrößen relative Messabweichungen von weniger als 5.10-5 erreicht werden.


http://www.gbv.de/dms/ilmenau/toc/480252513.PDF
Müller, Andreas;
Entwicklung eines Präzisionsgerätes zur Messung der Gestaltabweichung von Planspiegeln. - Ilmenau : ISLE. - XVI, 122 S
Zugl.: Ilmenau : Techn. Univ., Diss., 2004
ISBN 3932633903
http://www.gbv.de/dms/ilmenau/toc/389746711.PDF
Krause, Lutz;
Dynamische Wägetechnik
Ilmenau. - 195 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Habilitationsschrift, 2004

http://www.gbv.de/dms/ilmenau/toc/385052502.PDF
Fröhlich, Thomas; Fehling, Thomas; Heydenbluth, Detlef
Sartorius susceptometer for precise measurement of susceptibility and magnetization of weights. - In: South Yorkshire International Weighing Conference, 17th - 18th June 2003 : . - Sheffield : South Yorkshire Trading Standards Unit, 2003, S. 6-1-6-7

The Sartorius Susceptometer allows one to determine the magnetization and the magnetic susceptibility of weights as recommended in the Draft revision of International Recommendation OIML R 111. It is commercial available with a readability of the mass comparator of 1 [my]g and 10 [my]g. The technical details and the application range are given. A new method for specifying the necessary shape and size dependent geometric correction factors is discussed.


Boguhn, Dirk; Augustin, Silke; Bernhard, Frank; Mammen, Helge; Tischler, Moisés
Application of binary alloys in miniature fixed-point cells as secondary fixed points in the temperature range from 500 ˚C to 660 ˚C. - In: AIP conference proceedings. - Melville, NY : Inst, ISSN 15517616, Bd. 684 (2003), S. 249-254
http://dx.doi.org/10.1063/1.1627133