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INHALTE

Transferprojekt

Struktur

KennzifferTitelFachgebietLeiter        Kooperationspartner
T01Metrologische VerifikationMesstechnik im MaschinenbauProf. R. Grünwald, Dr. R. Füßl; IPMS, TU IlmenauCarl Zeiss AG;
Vistec Semiconductor GmbH
T02Konstruktion, Aufbau und Erprobung der MaschineFeinwerktechnik

Prozessmesstechnik

Prof. R. Theska; IPtA, TU Ilmenau;
Prof. G. Jäger, Dr. E. Manske; IPMS, TU Ilmenau
Mahr GmbH;
Jenoptik GmbH
T03Signalverarbeitung und SystemsteuerungTechnische Informatik und Ingenieurinformatik

Simulation, Optimale Prozesse

Praktische Informatik und Medieninformatik
Prof. W. Fengler, Dr. B. Däne; ITII, TU Ilmenau;
Prof. C. Ament, Prof. P. Li; IASt, TU Ilmenau;
PD Dr. K.-H. Franke; IPIMI, TU Ilmenau

Mahr GmbH;
Messtechnik Wetzlar GmbH

Aufgaben

T01: Metrologische Verifikation
Sicherung der metrologischen Spezifikation (Messunsicherheitsanalysen, Kalibrierstrategien) Inbetriebnahme des Labormusters

T02: Konstruktion, Aufbau und Erprobung der Maschine
Konstruktion spezieller Baugruppen sowie des Gesamtsystems bei Einbeziehung der messtechnischen, antriebstechnischen sowie der Führungskomponenten Vakuumkammer

T03: Signalverarbeitung und Systemsteuerung
Soft- und Hardwareplattform für die Informations- und Signalverarbeitung Regelung der Positioniertische der Tastsysteme unter Einbeziehung des Nullsensors Ablaufsteuerung und sensornahe Messdatenverarbeitung (z.B. 3D-Nanotastsysteme, Weißlichtinterferometer)

Aufgaben der Kooperationspartner

Carl Zeiss AG; Dr. Günther
Beratung und Unterstützung bei der Herstellung der Zerodurteile, der optischen Komponenten und der Raumspiegelecke, Messtechnische Beratung (T01)

Vistec Semiconductor GmbH; Dieter Adam
Beratung und Unterstützung bei dem Entwurfsprozess und dem Design der Maschine (T01)

Mahr GmbH; Dr. Beutler,
Unterstützung bei der Entwicklung, Erprobung, Signalverarbeitung und Steuerung der Maschine (T02, T03)

Jenoptik GmbH; Roland Schreiner
Unterstützung bei der Herstellung optischer Teile und des metrologischen Rahmens (T02)

Messtechnik Wetzlar GmbH; Fred Buschina
Bereitstellung der Software QUINDOS7, Unterstützung bei der Implementierung der I++DME Schnittstelle(T03)