Verbundprojekt
Struktur
Kennziffer | Titel | Beteiligte Firmen / Einrichtungen | Projektleiter |
---|---|---|---|
VT01 | Mess- und Antastsysteme | IPMS, TU Ilmenau | Prof. G. Jäger Dr. T. Hausotte |
VT02 | Antriebssysteme | IMMS Ilmenau | Dr. Ch. Schäffel |
VT03 | NPMM-Operatorsystem | IMMM, TU Ilmenau | Prof. M. Weiß |
VT04 | Multiachs-Interferometersysteme | SIOS Meßtechnik GmbH | Dr. W. Schott |
VT05 | Gewichtskompensations- und Sensorpositioniersysteme | Premetec Automation GmbH | Herr Stötzer Herr Wagner |
Aufgaben
VT01: Mess- und Antastsysteme
Integration der interferometrischen Längen- und Winkelmesssysteme sowie der Tastsysteme (1- bis 3-Strahlinterferometer, 3D-Taster, AFM- und Fokussensor) Interface für die Tastsysteme
VT02: Antriebssysteme
Aufbau und Einbindung der Antriebe Reduzierung des Wärmeeinflusses der Antriebe Leistungsverstärker für die x-y-Antriebe
VT03: NPMM-Operatorsystem
Spezialsoftware für großflächige, hochgenaue Oberflächenscans Kommunikationssoftware zwischen Bedien-PC und Realtime-PC Wartungs- und Diagnosealgorithmen
VT04: Multiachs-Interferometersysteme
Entwicklung und Lieferung der Multiachsinterferometersysteme (vakuumtauglich) Messstrahljustierung Synchronisation der Lasermesssysteme
VT05: Gewichtskompensations- und Sensorpositioniersysteme
Gewichtskraftkompensation Verstelleinrichtung für die Tastsysteme zur Objektanpassung