VT01: Mess- und Antastsysteme
Integration der interferometrischen Längen- und Winkelmesssysteme sowie der Tastsysteme (1- bis 3-Strahlinterferometer, 3D-Taster, AFM- und Fokussensor) Interface für die Tastsysteme

VT02: Antriebssysteme
Aufbau und Einbindung der Antriebe Reduzierung des Wärmeeinflusses der Antriebe Leistungsverstärker für die x-y-Antriebe

VT03: NPMM-Operatorsystem
Spezialsoftware für großflächige, hochgenaue Oberflächenscans Kommunikationssoftware zwischen Bedien-PC und Realtime-PC Wartungs- und Diagnosealgorithmen

VT04: Multiachs-Interferometersysteme
Entwicklung und Lieferung der Multiachsinterferometersysteme (vakuumtauglich) Messstrahljustierung Synchronisation der Lasermesssysteme

VT05: Gewichtskompensations- und Sensorpositioniersysteme
Gewichtskraftkompensation Verstelleinrichtung für die Tastsysteme zur Objektanpassung