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INHALTE

Verbundprojekt

Struktur

KennzifferTitelBeteiligte Firmen / EinrichtungenProjektleiter
VT01Mess- und Antastsysteme

IPMS, TU Ilmenau

Prof. G. Jäger
Dr. T. Hausotte
VT02Antriebssysteme

IMMS Ilmenau

Dr. Ch. Schäffel
VT03NPMM-Operatorsystem

IMMM, TU Ilmenau

Prof. M. Weiß
VT04Multiachs-Interferometersysteme

SIOS Meßtechnik GmbH

Dr. W. Schott
VT05Gewichtskompensations- und Sensorpositioniersysteme

Premetec Automation GmbH

Herr Stötzer
Herr Wagner

Aufgaben

VT01: Mess- und Antastsysteme
Integration der interferometrischen Längen- und Winkelmesssysteme sowie der Tastsysteme (1- bis 3-Strahlinterferometer, 3D-Taster, AFM- und Fokussensor) Interface für die Tastsysteme

VT02: Antriebssysteme
Aufbau und Einbindung der Antriebe Reduzierung des Wärmeeinflusses der Antriebe Leistungsverstärker für die x-y-Antriebe

VT03: NPMM-Operatorsystem
Spezialsoftware für großflächige, hochgenaue Oberflächenscans Kommunikationssoftware zwischen Bedien-PC und Realtime-PC Wartungs- und Diagnosealgorithmen

VT04: Multiachs-Interferometersysteme
Entwicklung und Lieferung der Multiachsinterferometersysteme (vakuumtauglich) Messstrahljustierung Synchronisation der Lasermesssysteme

VT05: Gewichtskompensations- und Sensorpositioniersysteme
Gewichtskraftkompensation Verstelleinrichtung für die Tastsysteme zur Objektanpassung