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Dr.-Ing. Katja Tonisch

Lehrgruppe Physik für Ingenieure

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Katja Tonisch

Dr.-Ing. Katja Tonisch

E-Mail: katja.tonisch(@)tu-ilmenau.de 

Telefon: +49 3677 69-3434

Postanschrift: PF 10 05 65, 98684 Ilmenau

Besucheranschrift: Gustav-Kirchhofstr. 7, 98693 Ilmenau

Büro: ZMN Raum 313

Lehre

Aktuelle Lehrtätigkeit:

Vorlesung und Übung in den Fächern Physik 1 und Physik 2,

Informationen unter

Lehrgruppe Physik für Ingenieure

Sonstige Lehrerfahrung

Vorlesungen (Vertretung einzelner Vorlesungen)

Mechanik und Thermodynamik 

Grundlagen der Elektronik

Halbleitertechnologie

Nanotechnologie

Seminare:

Grundlagen der Elektronik                                                  2005-2012

Nanotechnologie                                                                2008-2012

 

Betreute studentische Arbeiten

Sascha Kürth: Untersuchung von ScxAl1-xN-Schichten mit Hilfe der Spektralellipsometrie
(Abschlussarbeit zum B.sc. Technische Physik, 2019)

Tim Hofmann: Spektroskopische Charakterisierung von ScxAl1-xN -Schichten
(Abschlussarbeit zum B.sc. Technische Physik, 2018)

Max Heinemann: Untersuchung des Schwingverhaltens von AlN-Ni Resonatoren           (Abschlussarbeit zum B.sc. Technische Physik, 2018)

Theresa Scheler: Herstellung und Charakterisierung gesputterter TbFe2-Schichten für die Anwendung in der Magnetfeldsensorik, (Projektarbeit im Master WSW, verteidigt am 16.  Mai 2018)

Ouro-Salim Abdou-Moumouni: P-typ Kontaktierung von Gruppe III-Nitriden                              Abschlussarbeit zum Master Elektro- und Informnationstechnik, 2012

Weihong Zhao: Morphologische Charakterisierung von SiO2-basierten Antikorrosionsschichten Diplomarbeit, 2011

Christopher Maus: Titannitrid als metallfreie Kontaktierung eines zweidimensionalen Elektronengases in AlGaN/GaN-Heterostrukturen, Master of Science (M. Sc.) Technische Physik, 2011

Stephan Maroldt: Charakterisierung und Optimierung von AlGaN/GaN-Heterostrukturen für elektronische Bauelemente, Diplom 2006

Stephan Maroldt: Charakterisierung elektronischer Eigenschaften niedrigdimensionaler Elektronengase, Studienarbeit 2005/2006

 

 

 

Forschung

Ultrasensitive Magnetfeldsensorik mit resonanten magneto-elektrischen MEMS

Das Ziel der Forschergruppe MagSens ist die Entwicklung integrierter und resonanter Mikrostrukturen auf Basis magnetoelektrischer Komposite für die Messung schwächster (z.B. bio-) magnetischer Felder bei Raumtemperatur.  Das Forschungsvorhaben umfasst daher ein grundlegendes Verständnis der design-relevanten Eigenschaften und ihrer Abhängigkeiten, die Fähigkeit der Simulation und Voraussage der Performanz, die Bereitstellung der technologischen Basis inklusive Layout, technologischer Ablauf, Einstellung und Analyse der Schicht-charakteristika (insbesondere mit Bezug auf Deposition und Nachbehandlung), sowie messtechnische Aspekte in Bezug auf Validierung des Sensorsystems.

Laufzeit: 01.01.2018 - 31.12.2020

Die Forschergruppe MagSens wird gefördert vom Freistaat Thüringen aus den Mitteln des Europäischen Sozialfonds.

 

 

Silizium-Photovoltaik

Koordination der Forschergruppe OptiSolar 

Laufzeit: 01.01.2013 - 31.12.2014

Eine Übersicht über die im zweijährigen Bearbeitungszeitraum erzielten Ergebnisse  wurde im Rahmen des Abschlussworkshops am 22.01.2015 vorgestellt:

  • SiN-Passivierung und PID-Degradation von Si-Solarzellen, M. Bähr, CiS Erfurt
  • Optische und elektrische Eigenschaften von SiN/Si-Strukturen, Dr. S. Shokhovets, TU Ilmenau
  • Modellierung und Simulation von Diffusionsvorgängen, L. Winterfeld, TU Ilmenau
  • Post-Stress-Analytik an Dünnschichtmodulen, Dr.-Ing. K. Tonisch, TU Ilmenau
  •  a-Si/c-Si Heterokontakt-Solarzellen am HZB, S. Kirner, HZB Berlin
  • Laserkristallisierte Dünnschicht-Solarzellen, Dr. G. Andrä, IPHT Jena
  • Homogene TCO- und ARC-Schichten für 3D Zellkonzepte, A. Nägelein, TU Ilmenau

Epitaxie von Gruppe III-Nitriden

Epitaktisches Wachstum von AlGaN/GaN-Heterostrukturen auf Saphir, SiC und Silizium mit Hilfe der metallorganischen gasphasenabscheidung (MOCVD) für Anwendungen im Bereich der Hochfrequenztransistoren, Mikromechanische Resonatoren (MEMS) und im Bereich der Sensorik (pH-Wertmessung mit open gate-FETs). 

Abb.: Topographie einer AlGaN/GaN-Schicht auf SiC.

Mikro/-Nanomechanik

Entwicklung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatoren auf der Basis von epitaktischen AlGaN/GaN-Schichtsystemen (Promotion), Herstellung und Untersuchung der mechanischen Eigenschaften von Nanodrähten.

Abb.: MEMS auf der Basis von AlGaN/GaN-Schichten (in Zusammenarbeit mit Dr. Florentina Niebelschütz)

Bearbeitete Projekte:

PiNEMS - Piezoelektrisch gekoppelte integrierbare nanoelektromechanische Sensorschaltungen (DFG SPP 1157, 2003-2010)

Mech(n)ano - Nanomechanik mit Nanodrähten (DFG SPP 1165, 2006-2007)

USENEMS – Ultrasensitive Materialien für Nanoelektromechanische Systeme (TMBWK, 2011-2013)

Didaktik

Basic Engineering School

Das Projekt „BASIC- Basic Engineering School- Neue Lehr- und Lernformen in der Ingenieurausbildung – insbesondere in der Studieneingangsphase “ wird aus dem “Programm für bessere Studienbedingungen und mehr Qualität in der Lehre“ durch das BMBF gefördert und ist das erste große Projekt, das am ZIB angesiedelt ist. Im Projektzeitraum vom 1.1.2012 bis zum 31.12.2016 soll für die Studierenden der Einstieg in die Grundlagenfächer des Ingenieurstudiums an der TU Ilmenau passgenauer gestaltet werden.

BASIC 2 wird darauf aufbauend die Implementierung des Basic-Prinzips und von praxis- und projektorientierte Elementen im ingenieurwissenschaftlichen Grundstudium fördern und in den Regelstudienbetrieb überführen. Der Projektzeitraum beträgt 5 Jahre vom 01.01.2017 - 31.12.2020.

Weitere Informationen zur Basic Engineering School finden Sie hier.

Basic Plus

Das Projekt BASICplus umfasst die Konzeption und Realisierung eines berufsbegleitenden Aus- und Weiterbildungsprogramms in den Ingenieurfächern und ergänzt damit die berufsbegleitende Weiterbildungslandschaft für MINT Berufe signifikant.

Verschiedene Zielgruppen werden durch flexiblere Zugangsbedingungen einzelne Zertifikate sowie Studienabschlüsse absolvieren können. Basierend auf praxisnahen und fachübergreifenden Modulen mit forschungs- und entwicklungsfokussierten Inhalten kann eine individuelle und bedarfsgerechte Qualifizierung ermöglicht werden.

Förderdauer 1. Förderphase: August 2014 - Januar 2018

Weitere Informationen finden Sie hier.

Publikationen im Bereich Lehre

K. Tonisch: Mixed signal ... blended learning in der Physik; BASICplus Schriftenreihe, Technische Universität Ilmenau, www.tu-ilmenau.de/basicplus/publikationen, 2017

K. Tonisch, J. Nau, H. Heidtmann, S. Krischok: Digitalisierung  in der Studieneingangsphase:      Visualisierung von physikalischen Experimenten mit Applets, 12. Ingenieurpädagogische Regionaltagung 2017, 11.-13.05.17, Ilmenau, Vortrag + Beitrag im Tagungsband.

K. Tonisch: Mixed signal ... Blended learning in der Physik, Vortrag, DPG Frühjahrstagung, Fachverband Didaktik der Physik, 19.-24. März 2017, Dresden

K. Tonisch: Über Beobachtung und Experiment zur Theorie  – und zurück in die Praxis: Physik im Kontext der Ingenieurwissenschaften, Poster, Dortmund Spring School for Staff Developpers (DOSS 2014), 26.-28.05.2014, Dortmund

K. Tonisch: Physik als Nebenfach: Fachübergreifende Kontexteinbettung am Beispiel der Ingenieurwissenschaften, Vortrag, DPG Frühjahrstagung, Fachverband Didaktik der Physik, 17.-21. März 2014, Frankfurt/Main

Publikationen

2020

Automated Parameter Extraction of ScAlN MEMS Devices using an extended Euler-Bernoulli Beam Theory, Maximilian Krey, Bernd Haehnlein, Katja Tonisch, Stefan Krischok, and Hannes Toepfer, Sensors 2020, 20(4), 1001; https://doi.org/10.3390/s20041001.

Structure and dielectric function tensor of (Al,Sc)N thin films, Sascha Kürth, Rüdiger Schmidt-Grund, Katja Tonisch and Stefan Krischok, DPG Frühjahrstagung 2020, Dresden, submitted.

Simulation of Magnetoelectric Microbeams, Simeon Katzer, Bernd Hähnlein, Maximilian Krey, Katja Tonisch, Stefan Krischok and Hannes Töpfer, DPG Frühjahrstagung 2020, Dresden, submitted.


2019

Spectroscopic characterization of sputtered ScAlN thin films, Tim Hofmann, Katja Tonisch, Bernd Hähnlein, Jaroslav Kovic Jr, Jörg Pezoldt and Stefan Krischok, DPG Frühjahrstagung 2019, Regensburg.

Structural analysis of sputtered Sc(x)Al(1-x)N layers for sensor applications, Bernd Hähnlein, Tim Hofmann, Katja Tonisch, Jörg Pezoldt, Jaroslav Kovac Jr. , Stefan Krischok, Proceedings of the 6th International Conference on Materials Science & Smart Materials (MSSM) 2019; to be published in: Key Eng. Materials, accepted.

Investigation of ScAlN for piezoelectric and ferroelectric applications, R. Petrich, H. Bartsch, K. Tonisch, K. Jaekel, S. Barth, H. Bartzsch, D. Glöß, A. Delan, S. Krischok, S. Strehle, M. Hoffmann and J. Müller, Proc. 22nd Microelectronics and Packaging Conference (EMPC) 2019. DOI: 10.23919/EMPC44848.2019.8951824

Ebenso in: Untersuchung von ScAlN für piezoelektrische und ferroelektrische Anwendungen, Rebecca Petrich, Heike Bartsch, Katja Tonisch, Konrad Jaekel, Stephan Barth, Hagen Bartzsch, Daniel Glöß, Annekatrin Delan, Stefan Krischok, Steffen Strehle, Martin Hoffmann und Jens Müller, MikroSystemTechnik  Kongress 2019, Berlin.

 

2018

Bending modes in magnetoelectric effect for the two-layer structure ScAlN-Ni, O.V. Sokolov, R.V. Petrov, K. Tonisch, H. Töpfer, ВЕСТНИК НОВГОРОДСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО УНИВЕРСИТЕТА 107, 2018, p. 50-53.

 

2017

Magnetoelectric current sensor in the EMR range, Viktor Leontiev,  Oleg Sokolov,  Roman Petrov, Mirza Bichurin , Katja Tonisch , Stefan Krischok  and Hannes Töpfer, 13th International Conference on Applied Electromagnetics - ПЕС 2017, August 30 – September 01, 2017, Niš, Serbia

Mixed signal ... blended learning in der Physik, K. Tonisch, BASICplus Schriftenreihe, Technische Universität Ilmenau, www.tu-ilmenau.de/basicplus/publikationen, 2017

Digitalisierung  in der Studieneingangsphase:      Visualisierung von physikalischen Experimenten mit Applets, K. Tonisch, J. Nau, H. Heidtmann, S. Krischok, 12. Ingenieurpädagogische Regionaltagung 2017, 11.-13.05.17, Ilmenau, Vortrag + Beitrag im Tagungsband.

Mixed signal ... Blended learning in der Physik, K. Tonisch, DPG Frühjahrstagung, Fachverband Didaktik der Physik, 19.-24. März 2017, Dresden (Vortrag).

 

2016

Magnetoelectric effect in layered structures of Ni/AlN/Ni and Ni/GaN/Ni, O.V. Sokolov, R.V. Petrov, K. Tonisch, H. Töpfer, ВЕСТНИК НОВГОРОДСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО УНИВЕРСИТЕТА 98, 2016, p. 60-64.

 

2015

High-Frequency Performance of GaN High-Electron Mobility Transistors on 3C-SiC/Si Substrates With Au-Free Ohmic Contacts, W. Jatal, U. Baumann, K. Tonisch, Katja et al., IEEE Electron Device Letters  36 (2)  2015, p. 123-125.

 

2014

Über Beobachtung und Experiment zur Theorie  – und zurück in die Praxis: Physik im Kontext der Ingenieurwissenschaften, K. Tonisch, Dortmund Spring School for Staff Developpers (DOSS 2014), 26.-28.05.2014, Dortmund (Poster).

Physik als Nebenfach: Fachübergreifende Kontexteinbettung am Beispiel der Ingenieurwissenschaften, K. Tonisch, DPG Frühjahrstagung, Fachverband Didaktik der Physik, 17.-21. März 2014, Frankfurt/Main (Vortrag).

AlGaN based MEMS structures, B. Hähnlein, K. Tonisch, G.  Ecke, et al., Physica Status Solidi C  11 (2) 2014, p. 239-43.

Side gate AlGaN/GaN FET on silicon and sapphire, L. Hiller, K. Tonisch, J. Pezoldt, Physica Status Solidi C  11 (2) 2014, p. 280-3 .

GaN HEMTs on Si substrate with high cutoff frequency, W. Jatal, K.  Tonisch, U. Baumann, et al., 10th International Conference on Advanced Semiconductor Devices & Microsystems (ASDAM) in Smolenice, Slovakia, 20-22 Oct. 2014, Proceedings   4 pp.

 

2013

AlGaN/GaN based HEMTs on SiC/Si-substrates: influences on high frequency performance, W. Jatal, K. Tonisch, U. Baumann, et al., Materials Science Forum   740-742 (2013) 1115-18.

SiC/Si pseudosubstrates for AlGaN nanoelectronic devices, L. Hiller, K. Tonisch, J. Pezoldt, Materials Science Forum   740-742 (2013) 1119-22.

AlGaN solid solution grown on 3C-SiC(111)/Si(111) pseudosubstrates, K. Tonisch, R.  Benzig, G. Ecke, et al., Materials Science Forum   740-742 (2013) 103-6.

 

2012

Smooth ceramic titanium nitride contacts on AlGaN/GaN-heterostructures, C. Maus, S. Stauden, G. Ecke, K. Tonisch et al., Semiconductor Science and Technology  27 (11) 2012, p.  115007.

Residual stress measurements and mechanical properties of AlN thin films as ultra-sensitive materials for nanoelectromechanical systems, R. Grieseler, J.  Klaus, M. Stubenrauch, K. Tonisch S. Michael, J. Pezoldt, P. Schaaf, Philosphical Magazine  92   (25-27) 2012  p.  3392-3401   

 

2011

Vertical design of cubic GaN-based high electron mobility transistors
 
R. Granzner, E. Tschumak, M. Kittler, K. Tonisch, W. Jatal, J. Pezoldt, D.As, F. Schwierz, 
 J. Appl.
Phys. 110 (2011) 114501-1 - 114501-8 

Side gate graphene and AlGaN/GaN unipolar devices
R. Göckeritz, K. Tonisch, W. Jatal, L. Hiller, F. Schwierz, J. Pezoldt
Adv. Mater. Res. 324 (2011), 427-430

AlGaN/GaN-heterostructures on (111) 3C-SiC/Si pseudo substrates for high frequency applications
K. Tonisch, W. Jatal, F. Niebelschuetz, H. Romanus, U. Baumann, F. Schwierz, J. Pezoldt
Thin Solid Films 520 (2011)491-496

 

2010

Micro- and nano-electromechanical resonators based on SiC and group III-nitrides for sensor applications, K. Brueckner, F. Niebelschuetz, K. Tonisch, Ch. Foerster, V. Cimalla, R. Stephan, J. Pezoldt, T. Stauden, O. Ambacher, and M. A. Hein, Phys. Status Solidi A  (2010) 1–20

Optical properties of InN grown on Si(111) substrate
E. Sakalauskas, P. Schley, J. Räthel, T.A. Klar, R. Müller, J. Pezoldt, K.Tonisch, J. Grandal,  M.A. Sanchez-Garcia, E. Calleja, R. Viltalta-Clemente, P. Ruterana, R. Goldhahn
Phys.
Status Solidi A 207 (2010) 1066-1069

Elastic properties of nanowires
C.-C. Röhlig, M. Niebelschuetz, K. Brueckner, K.Tonisch, O. Ambacher, V. Cimalla
Phys. Status Solidi B 247 (2010) 2557–2570 

AlGaN/GaN based heterostructures for MEMS and NEMS applications
V. Cimalla, C.-C. Röhlig, V. Lebedev, O. Ambacher,  K. Tonisch, F. Niebelschütz, K. Brückner, M. Hein, Solid State Phenomena 159 (2010) 27-38

Piezoelelctric actuated epitaxially grown AlGaN/GaN-resonators
F. Niebelschütz, K. Brueckner, K. Tonisch, R. Stephan, V. Cimalla, O. Ambacher, M.A. Hein
Phys. Status Solidi C 7 (2010) 1829-1831

AlGaN/GaN based heterostructures for MEMS and NEMS applications
V. Cimalla, C.-C. Röhlig, V. Lebedev, O. Ambacher, K. Tonisch, F. Niebelschütz, K. Brückner, and M. Hein, Solid State Phenomena Vol. 159 (2010)  27-38

Nitrides based sensors
V. Cimalla, V. Lebedev, S. Linkohr, C.C. Röhlig, I. Cimalla, B. Lübbers, K. Tonisch, K. Brückner, F. Niebelschütz, M. Hein, and O. Ambacher, Proc. HETECH 2008, edited by Gaudenzio Meneghesso, pp. 33-40

Temperature facilated ECR-etching for isotropic SiC structuring
F. Niebelschütz, Th.
Stauden, K. Tonisch, J. Pezoldt
Mater. Sci. Forum, 645-648 (2010) 849-852

Property modification of 3C-SiC MEMS on Ge-modified Si(100) substrates
F. Niebelschütz, W. Zhao, K. Brueckner, K. Tonisch, M. Linß, M.A. Hein
J. Pezoldt, Mater. Sci. Forum, 645-648 (2010) 861-864

2H-AlGaN/GaN HEMTs on 3C-SIC(111)/Si(111) substrates
K. Tonisch, W. Jatal, R. Granzner, M. Kittler, U. Baumann, F. Schwierz, J. Pezoldt
Mater. Sci. Forum, 645-648 (2010) 1219-1222

2009

Resonant Piezoelectric AlGaN/GaN MEMS Sensors in Longitudinal Mode Operation
K. Brückner, F. Niebelschütz, K. Tonisch, R. Stephan, V. Cimalla, O. Ambacher und M. A. Hein, Proceeeding der IEEE MEMS Conference, Sorrento, Italien, 25.-29.01.2009.

Comparative study of 3C-GaN grwon on semi-insulating 3C-SiC/Si(100) substrates
E. Tschumak, K.Tonisch, J. Pezoldt, D.J.As, Material Sci. Forum, 615-617 (2009) 943-946

Structure and lattice location of Ge implanted 4H-SiC
Th. Kups, K. Tonisch, M. Voelskow, W. Skorupa, A.L. Konkin, J. Pezoldt
Material Sci. Forum  600-603 (2009) 623 - 626


Isotropic etching of SiC
Th. Stauden, F. Niebelschütz, K. Tonisch, V. Cimalla, G. Ecke, Ch. Haupt, and J. Pezoldt
Materials Science Forum 600-603 (2009) 651-654

2008

Nitrides based sensors, V. Cimalla, V. Lebedev, S. Linkohr, C.C. Röhlig, I. Cimalla, B. Lübbers, K. Tonisch, K. Brückner, F. Niebelschütz, M. Hein, and O. Ambacher, Proc. HETECH 2008, edited by Gaudenzio Meneghesso, pp. 33-40         

Sensing applications of micro- and nanoelectromechanical resonators
F. Niebelschütz, V. Cimalla, K.Brückner, R.Stephan, K.Tonisch, M.A. Hein und O. Ambacher
Proc. IMechE Vol. 221 Part N: J. Nanoengineering and Nanosystems (2008) 59-65.

Structural and photoconductive properties of MBE and MOCVD grown III-nitride double-heterostructures
S. Hauguth-Frank, V. Lebedev, K. Tonisch, H. Romanus, T. Kups, H.J. Buchner, G. Jaeger, O. Ambacher, A. Schober, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1076 (2008) 155-161

Two-dimensional electron gas based actuation of piezoelectric AlGaN/GaN microelectromechanical resonators
K. Brueckner, F. Niebelschuetz, K. Tonisch, S. Michael, A. Dadgar, A. Krost, V. Cimalla, O. Ambacher, R. Stephan, and M. A. Hein, Appl. Phys. Lett. 93 (2008) 173504.

Piezoelectric actuation of (GaN/)AlGaN/GaN heterostructures
K. Tonisch, C. Buchheim, F. Niebelschütz, A. Schober, G. Gobsch, V. Cimalla, O. Ambacher, and R. Goldhahn, J. Appl. Phys. 104 (2008) 084516.

Electronic structure of GaN(0001)-2x2 thin films grown by PAMPE
R. Gutt, P. Lorenz, K. Tonisch, M. Himmerlich, J.A. Schäfer and S. Krischok
phys. stat. sol. (RRL), 1-3 (2008) pssr.200802146


The Role of Ti/Al Ratio in Nanolayered Ohmic Contacts for GaN/AlGaN HEMTs
L. Kolaklieva, R. Kakanakov, V. Cimalla, St. Maroldt, F. Niebelschütz, K. Tonisch, O. Ambacher
Proc. 26th International Conference on Microelctronics (Miel 2008), Nis, Serbia 11-14th May 2008

AlGaN/GaN – based MEMS with two-dimensional electron gas for novel sensor applications
F. Niebelschütz, V. Cimalla, K. Tonisch, Ch. Haupt, K. Brückner, R. Stephan, M. Hein and O. Ambacher, phys. stat. sol. (c) 5, No. 6, (2008) 1914–1916

Piezoelectric actuation of all-nitride MEMS
K. Tonisch, C. Buchheim, F. Niebelschütz, M. Donahue, R. Goldhahn, V. Cimalla, O. Ambacher
phys. stat. sol. (c) 5, No. 6, (2008) 1910–1913

Electric field distribution in GaN/AlGaN/GaN heterostructures with 2DEG and 2DHG
C. Buchheim, R. Goldhahn, G. Gobsch, K. Tonisch, V. Cimalla, F. Niebelschütz, O. Ambacher
Appl. Phys. Lett. 92 (2008) 013510.

2007

Sensing applications of micro- and nanoelectromechanical resonators
F. Niebelschütz, V. Cimalla, K.Brückner, R.Stephan, K.Tonisch, M.A. Hein und O. Ambacher
Proc. IMechE, Part N: J.Nanoengineering and Nanosystems, 2007, 221(N2), 59-65


AlN as a piezoelectric material for integrated micro and nano sensors on silicon
T. Polster, M. Hoffmann, A. Albrecht, K. Tonisch, O. Ambacher, T. Stauden, M. Donahue, S. Michael, Smart Systems Integration 2007, Paris, VDE Verlag, S. 161-166
ISBN 978-3-8007-3009-4


Analysis of nanostructures by means of Auger electron spectroscopy
G. Ecke, V. Cimalla, K. Tonisch, V. Lebedev, H. Romanus, O. Ambacher, and J. Liday
J. Electrical Eng. 58 (2007) 301-306

Nanomechanics with nanowires and nano-electro-mechanical systems
V. Cimalla, K. Brückner, A.W. Hassel, S. Milenkovic, M.A. Hein, F. Niebelschütz, M. Niebelschütz, J. Pezoldt, H. Romanus, C.-C. Röhlig, K. Tonisch, J. Weber, and O. Ambacher
Proc. Intern Workshop Nanostruct. Thin Films (NANOHARD 2007) May 13-16 2007, Velingrad, Bulgaria (Eds. R. Kakanakov and L. Kolaklieva), 2007, p. 27-48.

Strain- and pressure-dependent RF response of microelectromechanical resonators for sensing applications
K. Brueckner, V. Cimalla, F. Niebelschütz, R. Stephan, K. Tonisch, O. Ambacher, and M.A. Hein, J. Micromech. Microeng. 17 (2007) 2016-2023

Fabrication of one-dimensional "trenched" GaN nanowires and their interconnections
V. Lebedev, D. Cengher, M. Fischer, K. Tonisch, V. Cimalla, M. Niebelschütz, and O. Ambacher, phys. stat. sol. (a) 204 (2007) 3387-3391

Nanoelectromechanical devices for sensing applications
V. Cimalla, F. Niebelschütz, K. Tonisch, Ch. Foerster, K. Brueckner, I. Cimalla, T. Friedrich, J. Pezoldt, R. Stephan, M. Hein, O. Ambacher, Sens. Actuat. B 126 (2007) 24-34

Fully unstrained GaN on sacrificial AlN layers by nano-heteroepitaxy
K. Tonisch, V. Cimalla, F. Niebelschütz, H. Romanus, M. Eickhoff, O. Ambacher
phys. stat. sol. (c) 4 (2007) 2248-2251

Structural studies of single crystalline bixbyte In2O3 films epitaxially grown on InN(0001)
Ch.Y. Wang, V. Lebedev, V. Cimalla, Th. Kups, K. Tonisch, O. Ambacher
Appl. Phys. Lett. 90 (2007) 221902 (also: Virtual Journal of Nanoscale Science & Technology 15 (2007) Issue 23)

Resonant Sensors for Microfluidic Applications
F. Niebelschütz, K. Tonisch, V. Cimalla, K. Brückner, R. Stephan, M. Hein, A. Schober, and O. Ambacher, MRS Symp. Proc. 951 (2007) E05-07

AlGaN/GaN biosensor-effect of device processing steps on the surface properties and biocompatibility
I. Cimalla, F. Will, K. Tonisch, M. Niebelschütz, V. Cimalla, V. Lebedev, G. Kittler, M. Himmerlich, S. Krischok, J.A. Schaefer, M. Gebinoga, A. Schober, T. Friedrich, and O. Ambacher, Sens. Actuat. B 123 (2007) 740–748

Fully Unstrained GaN on Thick AlN Layers for MEMS Application
K. Tonisch, F. Niebelschuetz, V. Cimalla, H. Romanus, and O. Ambacher
MRS Symp. Proc. 955 (2007) I16-03.

Growth of silicon nanowires on UV-structurable glass using self-organized nucleation centres
K. Tonisch, F. Weise, M. Stubenrauch, V. Cimalla, G. Ecke, F. Will, H. Romanus, S. Mrotzek, H. Hofmeister, M. Hoffmann, D. Hülsenberg and O. Ambacher
Physica E 38 (2007) 40-43

Nanowire-based electromechanical biomimetic sensor
K. Tonisch, V. Cimalla, F. Will, F. Weise, M. Stubenrauch, A. Albrecht, M. Hoffmann and O. Ambacher, Physica E 37 (2007) 208-211

Suspended nanowire web
V. Cimalla, M. Stubenrauch, F. Weise, M. Fischer, K. Tonisch, M. Hoffmann, and O. Ambacher
Appl. Phys. Lett. 90 (2007) 101504 (also: Virtual Journal of Nanoscale Science & Technology 15 (2007) Issue 11) and Virtual Journal of Biological Physics Research 13 (2007) Issue 5).

Coalescence aspects of III-nitride epitaxy
V. Lebedev, K. Tonisch, F. Niebelschütz, V. Cimalla, D. Cengher, I. Cimalla, Ch. Mauder, S. Hauguth, and O. Ambacher, F. M. Morales, J. G. Lozano, and D. González J. Appl. Phys. 101 (2007) 054906

2006

Piezoelectric properties of polycristalline AlN thin films for MEMS application
K. Tonisch, V. Cimalla, Ch. Förster, H. Romanus, O. Ambacher, D. Dontsov
Sensors Actuat. A 132 (2006) 658-663

Impact of Device Technolgy Processes on the Surface Properties and Biocompatibility of Group III Nitride Based Sensors
I. Cimalla, F. Will, K. Tonisch, M. Niebelschütz, V. Cimalla, V. Lebedev, G. Kittler, M. Himmerlich, S. Krischok, J.A. Schäfer, M. Gebinoga, A. Schober, T. Friedrich, O. Ambacher
Mat. iss. Werkst. techn. 37 (2006) 919

Austrittsarbeitsanalyse von GaN basierten Lateral Polarity Strukturen durch Auger-Elektronen-Energie-Messungen
M. Niebelschütz, G. Ecke, V. Cimalla, K. Tonisch, O. Ambacher
Mat. wiss. Werkst. techn. 37 (2006) 937

Work Function Analysis of GaN-based Lateral Polarity Structures by Auger Electron Energy Measurements

M. Niebelschütz, G. Ecke, V. Cimalla, K. Tonisch, and O. Ambacher
J. Appl. Phys. 100 (2006) 074909

Impact of device processing on the surface properties and the biocompatibility of AlGaN/GaN HEMT sensors
I. Cimalla, F. Will, K. Tonisch, V. Lebedev, M. Niebelschütz, M. Himmerlich, S. Krischok, V. Cimalla, G. Kittler, C. Kremin, T. Friedrich and O. Ambacher
51st Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Technische Universität Ilmenau, September 11 – 15, (2006) 299


Work Function Analysis of GaN-based Lateral Polarity Structures by Auger Electron Energy Measurements
M. Niebelschütz, G. Ecke, V. Cimalla, K. Tonisch and O. Ambacher
51st Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Technische Universität Ilmenau, September 11 – 15, (2006) 297

First steps towards a nanowire-based electromechanical biomimetic sensor
K. Tonisch, V. Cimalla, F. Will, C. Haupt, D. Cengher, F. Weise, M. Stubenrauch, A. Albrecht, M. Hoffmann, O. Ambacher
51st Internationales Wissenschaftliches Kolloquium Technische Universität Ilmenau, September 11 – 15, (2006) 243


Micro- and nanomechanical resonators for sensing Applications
F. Will, K. Tonisch, V. Cimalla, D. Cengher, C. Haupt, K. Brückner, R. Stephan, M. Hein and O. Ambacher
51st Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Technische Universität Ilmenau, September 11 – 15, (2006) 241


Pulsed mode operation of strained microelectromechanical resonators in air
V. Cimalla, Ch. Förster, F. Will, K. Tonisch, K. Brückner, R. Stephan, M. E. Hein, O. Ambacher, and E. Aperathitis
Appl. Phys. Lett. 88 (2006) 253501

Pulsed mode operation of strained microelectromechanical resonators in air
V. Cimalla, Ch. Förster, F. Will, K. Tonisch, K. Brückner, R. Stephan, M. E. Hein, O. Ambacher, and E. Aperathitis
Virtual Journal of Nanoscale Science & Technology 14 (2006) Issue 1

Piezoelectronic properties of thin AlN layers for MEMS application determined by piezoresponse force microscopy
K. Tonisch, V. Cimalla, Ch. Förster, D. Dontsov, and O. Ambacher
phys. stat. sol. (c) 3 (2006) 2274-2277

Growth of AlN nanowires by metal organic chemical vapour deposition
V. Cimalla, Ch. Förster, D. Cengher, K. Tonisch, and O. Ambacher
phys. stat. sol. (b) 243 (2006) 1476-1480

2005

Estimation of the piezoelectric properties of thin AlN layers for MEMS applications
K. Tonisch, V. Cimalla, Ch. Förster, D. Dontsov, O. Ambacher
Proc. 50. IWK 2005, TU Ilmenau, 207-208

Electromechanical Resonances of SiC and AlN Beams under Ambient Conditions
K. Brueckner, Ch. Förster, K. Tonisch, V. Cimalla, O. Ambacher, R. Stephan, K. Blau, M. Hein
Proc. 50. IWK 2005, TU Ilmenau, 209-210

Group III-nitrides and 3C-SiC for micro- and nanoelectromechanical resonators
Ch. Förster, V. Cimalla, F. Will, O. Ambacher, K. Brückner, R. Stephan, M. Hein, E. Aperathitis
Proc. 50. IWK 2005, TU Ilmenau, 187-188


SiC and AlN-based micro- and nanomechanical resonators for sensing applications
K. Tonisch, F. Will, Ch. Förster, V. Cimalla , K. Brueckner, M. Hein, O. Ambacher
Proc. 7. Dresdener Sensorsymposium, 12.-14.12.2005

Electromechanical Resonances of SiC and AlN Beams under Ambient Conditions
K. Brueckner, Ch. Förster, K. Tonisch, V. Cimalla, O. Ambacher, R. Stephan, K. Blau and M. A. Hein
Proc. 35th European Microwave Conference, Paris, October 2005

Technology of SiC and AlN based Micro and Nanomechanical Resonators for Sensor Applications
V. Cimalla, Ch. Förster, K. Tonisch, O. Ambacher, K. Brückner, R Stephan, M. Hein, and E. Aparathitis
Workshop on Integrated Electroceramic Functional Structures, Berchtesgaden, June 7th-8th 2005

RF Characterisation of SiC- and AlN-MEMS Resonators for sensor applications
K. Brückner, K. Blau, M. Happ, C. Kutscher, R. Stephan, M. Hein, V. Cimalla, C. Förster, K. Tonisch, F. Will, and O. Ambacher
Workshop on Integrated Electroceramic Functional Structures, Berchtesgaden, June 7th-8th 2005

Gremien

Gleichstellungsbeauftragte der Fakultät füt Mathematik und Naturwissenschaften (seit Mai 2014)

Strahlenschutzbeauftragte des Fachgebietes Technische Physik 1 (seit Nov. 2017)

Mitglied im

Institutsrat des Instituts für Physik (seit Januar 2014)

Gleichstellungsrat (seit Mai 2014)

Fakultätsrat (seit September 2014)

- in der Studienkomission und Prüfungsausschuss im Studiengang Technische Physik (seit 2015)

- in den Studiengangkommissionen Optronik und Lehramt Maschinenbau (seit September 2016)

Mentorin während der Sommerakademie für technisch-naturwiss. interessierte Schülerinnen in Zusammenarbeit mit dem Netzwerk Nano4Women im Juli 2015

Qualifikation

Studium und Promotion:


2000 - 2005:                        Studium der Elektrotechnik

                                             (Fachrichtung Mikroelektronik und Sensorik, TU Ilmenau)

Okt. 2005 bis Nov. 2009      Promotion im Fachgebiet Nanotechnologie, TU Ilmenau,

                                             Prädikat magna cum laude, Datum der Verteidigung 20.11.2009

                                             Titel der Dissertation: AlGaN/GaN-Schichtsysteme für

                                             piezoelektrisch angeregte Resonatoren

 

 

Hochschuldidaktische Weiterbildung

2013/2014: Erwerb des Hochschuldidaktischen Zertifikats der Thüringer Hochschulinitiative HIT

 

Folgende Workshops waren Bestandteil des Zertifikaterwerbs:

Lehre gestalten-Beteiligung fördern (März 2013, B. Kiehne, 32 UE)

Kompetenzorientiert prüfen (April 2013, Dr. S. Walzik, 16 UE)

Gut bei Stimme? (Sept. 2013, D. Horstmann, 16 UE)

Vorlesung als Ereignis: inhaltlich – individuell – sozial (Okt. 2013, Dr. J. Spielmann, 16 UE)

Wofür das Ganze – Ermöglichungsdidaktik (Nov. 2013, Dr. B. Ritter-Mamczek, 16 UE)

Beratung und Kommunikation (Jan. 2014, Dr. E. Bohnacker, 16 UE)

Motivation von Studierenden (Feb. 2014, F. Marks, 16 UE)

Erfolgreich lehren in math. & techn. Fächern (April 2014, C. Kautz/ P. Riegler, 16 UE)

Präsenzveranstaltung „Kollegiale Beratung“(Juni 2014, Frau N. Bode, 3 UE)

Lehrhospitation in Zusammenarbeit mit Dr.-Ing. Karin Bieske, TU Ilmenau  (Okt. 2014)

 

Weiterbildung an der TU Ilmenau:

Interkulturelle Kommunikation (März 2014, S. Vana-Ströhla, 8 UE)

Umgang mit psychisch belasteten Studierenden (Nov. 2015, Dr. Held, 8 UE)

 

Sonstige Weiterbildung

Erwerb der Fachkunde im Strahlenschutz (Fachkundegruppe R3) im Sept. 2017