Redox-Shuttle Additive für die Prälithiierung von Silizium-Elektroden von Lithium-Ionen-Batterien. - Ilmenau. - 99 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2024
Um höhere Energiedichten in Lithium-Ionen-Batterien zu erreichen, wird die Verwendung von Konversions- und Legierungsanoden anstelle der derzeitig eingesetzten Interkalationsanoden aus Graphit angestrebt. Silizium-Legierungsanoden sind aufgrund ihrer hohen spezifischen Kapazität sowie der guten Verfügbarkeit von Silizium aussichtsreiche Kandidaten. Bei der Verwendung von Siliziumanoden verbraucht die Bildung einer Feststoff-Elektrolyt-Grenzfläche im ersten Ladezyklus jedoch viel aktives Lithium, was zu einer deutlich reduzierten Batteriekapazität führen kann. Diese Arbeit befasst sich mit einem elektrochemischen Prälithiierungsprozess für siliziumhaltige Anoden, bei dem durch eine initiale Lithium-Einbringung ins Anodenmaterial der Lithium-Verlust für die Bildung der Feststoff-Elektrolyt-Grenzfläche ausgeglichen und somit der anfängliche Ladungswirkungsgrad gesteigert wird. Für die konkrete technische Umsetzung werden Redox-Shuttles benötigt, deren Charakterisierung ein wesentlicher Aspekt dieser Arbeit ist. Voraussetzungen für einen solchen Shuttle sind seine reversible Oxidation und Reduktion und eine schnelle Reaktionskinetik, die Komptabilität mit ausgewählten Lösungsmitteln sowie ein Redoxpotential in der Nähe von Li/Li+. Das Identifizieren eines solchen Additivs und die Untersuchung seiner Eigenschaften in der Verwendung als Redox-Shuttle für die Prälithiierung sind die Ziele der angestellten Untersuchungen. Dabei wurden vielversprechende Kandidaten für Redox-Shuttles gefunden, welche ein Redoxpotential in der Nähe von Li/Li+ und ein reversibles Verhalten aufweisen. Als größte Einflussfaktoren in der Verwendung als Redox-Shuttle für die Prälithiierung wurden dabei Eigenschaften wie Viskosität, Struktur und Solvatationskraft der untersuchten Lösungsmittel identifiziert.
Rohstoffrückgewinnung zur Ressourcenschonung von hochwertigen Materialien aus Abfällen aus dem Gesundheitswesen zu chemischen Grundstoffen. - Ilmenau. - 157 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2024
Die vorliegende Studie fokussiert sich auf die Handhabung von medizinischem Abfall, insbesondere infektiösem Abfall, der einen Anteil von 15-25 % am Gesamtvolumen von medizinischem Abfall ausmacht. Es wurden unterschiedliche Quellen der Abfälle untersucht, darunter die beiden Krankenhäuser UKW und MSP, das pharmazeutische Unternehmen Lilly sowie die Entsorgungsfirma Buscha von Halberstadt. Die zentralen Ziele beinhalten die umfassende Erstellung von Energie- und Massenbilanzen für den Prozess der Umwandlung von gereinigten Polyolefinen aus Abfallmaterialien in den Depolymerisationsprozess. Die Behandlung infektiöser medizinischer Abfälle kann mittels verschiedener Verfahren erfolgen, darunter Verbrennung, Dampfsterilisation, Mikrowellen-Desinfektion und chemische Desinfektion. Es ist besonders hervorzuheben, dass die Verbrennung keine umweltfreundliche Methode ist. Die Sterilisation durch chemische Mittel ist lediglich für geringe Abfallmengen geeignet. Aufgrund des erheblichen Volumens an infektiösem Abfall und der vorhandenen Technologien erscheint die Mikrowellenmethode als geeignet für das chemische Recycling von Polyolefinen. Der Grund dafür liegt erstens darin, dass bei der Desinfektion die Schmelzpunkttemperatur nicht erreicht wird, und zweitens, dass ein getrocknetes Produkt entsteht. Im Gegensatz dazu ist die Dampfsterilisation besser geeignet, wenn keine chemische Wiederverwertung angestrebt wird, beispielsweise zur Nutzung als Wärmequelle für Krankenhäuser. In dieser Studie wurde die LOGMED-Anlage, die 150-200 kg/h medizinische Abfälle verarbeitet, für die Zerkleinerung der Abfälle eingesetzt, wobei die Dampfsterilisationsmethode zur Abfallbehandlung angewendet wurde. Gemäß den Angaben des Betreibers, der seit Jahrzehnten mit dieser Anlage arbeitet, beläuft sich der Flüssigkeitsanteil in Krankenhausabfällen auf etwa 15-20 Prozent. In dieser Studie wurden Abweichungen in den Anteilen der Abfälle festgestellt, wobei 19 % auf die UKW, 1 7% auf Buscha, 10 % auf MSP und 3 % auf Lilly entfielen. Die Unterschiede in den Ergebnissen für die MSP-Abfälle und die Lilly-Abfälle ergeben sich daraus, dass diese beiden Kategorien nicht die allgemeinen Abfälle einer Station oder eines Krankenhauses repräsentieren. Die MSP-Abfälle waren ausschließlich in Tüten verfügbar, während die Lilly-Abfälle lediglich Insulinpens ohne weitere Abfallkomponenten waren. Diese Flüssigkeitsanteile werden separat von anderen Abfallfraktionen als Abwasser behandelt. Es muss berücksichtigt werden, dass die Verwendung von Dampf zur Sterilisation zu einem feuchten Endprodukt führt. Hinsichtlich der Volumenreduzierung erfuhren leichtere Materialien aus dem Klinikum MSP und der Universitätsklinik Würzburg mit 66 % bzw. 57 % die größten Volumenreduzierungen. Im Gegensatz dazu wiesen schwerere Insulinpens und infektiöse Abfälle mit 25 % bzw. 44 % die geringsten Volumenreduzierungen auf. Im Falle der Verbrennung tragen die Volumenreduktion und Sterilisation dazu bei, dass infektiöse Abfälle mit einem verminderten Volumen in herkömmlichen Verbrennungsanlagen anstelle spezialisierter Einrichtungen verbrannt werden können. Dies führt zu erheblichen Kostenersparnissen sowohl bei den Verbrennungsanlagen als auch bei den Transportkosten. Nach der Bearbeitung der Abfälle durch die LOGMED-Anlage wurden die Abfälle in leichte und schwere Fraktionen mittels eines Schwimm-Sink-Verfahrens im Wasser separiert. Die leichten Fraktionen, die den größten Anteil der Abfälle ausmachen, sind solche mit einer Dichte, die geringer ist als die Dichte des Wassers. Nach Analysen der Firma DEKRA Automobil GmbH gelten diese als polyolefinreich. Die schweren Fraktionen beinhalten dagegen schwerere Kunststoffe wie PVC und PET sowie Glas und Metall. Bei den Abfällen der Firma Lilly machen die schweren Fraktionen etwa 42 % aus. Diese wurden im Labor der TU Ilmenau mit der RFA-Methode analysiert, wobei hohe Anteile von reinem Eisen und Legierungen (Fe 63 Cr 17 Ni 20) festgestellt wurden, was die Möglichkeit des Metallrecyclings bei diesen Abfällen fördert. Bei den anderen Abfällen würden die schweren Fraktionen in herkömmlichen Verbrennungsanlagen verbrannt werden. Die getrennten, nassen Leichtfraktionen stehen als polyolefinhaltige Ausgangsmaterialien zur Verfügung. Im besten Fall können sie zur Energiegewinnung durch chemisches Recycling genutzt werden. Unter den chemischen Recyclingmethoden könnten Pyrolyse und Vergasung geeignete Optionen sein, um flüssiges Öl, andere Ölprodukte oder Syngas zu produzieren.
Combined EQCM, AFM and EIS in-situ investigations of the solid electrolyte interphase formation on carbon model electrodes in lithium-ion battery electrolytes. - Ilmenau. - 51 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2024
Der carbonatbasierte Elektrolyt in Lithium-Ionen-Batterien wird während der Batteriezyklierung außerhalb seines thermodynamischen Stabilitätsfensters betrieben. Die dabei entstehenden Zersetzungsprodukte bilden eine filigrane und zum langzeitstabilen Betrieb der Batterie sehr wichtige Passivierungsschicht. Diese „solid electrolyte interphase“ (SEI) wurde in der vorliegenden Arbeit mittels drei simultan eingesetzten in-situ Verfahren hinsichtlich des Einflusses des SEI-Bildungsadditives Vinylencarbonat (VC) analysiert: Elektrochemische Quarzkristall-Mikrowaage (EQCM), Rasterkraftmikroskopie (AFM) und elektrochemische Impedanzspektroskopie (EIS). Die EQCM-Daten zeigen, dass die Abwesenheit von VC eine maximale Frequenzverschiebung (Δf) von -14 kHz verursacht und dass die Bildungsrate zunimmt, wenn das Arbeitselektrodenpotential (Ewe) abnimmt und im Bereich zwischen 0,4 und 0,2 V vs. Li/Li+ ein Maximum erreicht. Die Zugabe von VC reduziert das maximale Δf auf ca. -6 kHz und macht die Formationsrate weniger abhängig von Ewe. Die Sauerbrey-Masse der SEI, die mit VC gebildet wurde, ist weniger als die Hälfte (42 %) derjenigen, die ohne Elektrolytzusatz gebildet wurde. Dies wird als Beitrag von VC zur Bildung einer dünneren SEI mit besseren passivierenden Eigenschaften interpretiert. Die größere Δf in den Experimenten mit und ohne VC im Vergleich zur Literatur wird durch eine Kombination aus der schnellen SEI Bildung auf der amorphen Kohlenstoffelektrode und den viskoelastischen Effekten der SEI erklärt. Die EIS-Daten zeigen, dass der Interkalationswiderstand (RInt) initial höher ist, wenn VC vorhanden ist. Erst ab 0,2 V ist der RInt der Zelle mit VC niedriger als bei der additivfreien Variante. AFM zeigt eine klare morphologische Veränderung der SEI bei Abwesenheit von VC bei 1,5 V. Eine Störung bei der Bildaufnahme bei 0,4 V stimmt mit einer starken Bildungsrate gemäß EQCM überein. Die Zugabe von VC führt zu einer stabilen Morphologie bis 0,8 V, obwohl EQCM auf eine kontinuierliche Abscheidung unter 2 V hinweist. Dies könnte bedeuten, dass die SEI-Bildung an der Grenzfläche zwischen Elektrode und SEI kurz nach Beginn der VC-Reduktion erfolgt.
A method for evaluating plastic powders regarding their suitability for selective laser sintering. - Ilmenau. - 120 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2024
Der Fokus dieser Masterarbeit liegt darauf, eine Methodik zur Bewertung der Druckbarkeit von Kunststoffpulvern im selektiven Lasersintern (SLS) zu untersuchen. Die Studie vertieft sich in die komplexe Beziehung zwischen den Eigenschaften des Pulvers und den in der SLS-Drucktechnologie verwendeten Parametern. Die Bewertung der Druckqualität während des eigentlichen Druckprozesses ist ein entscheidender Aspekt für die Erreichung der in dem Experiment festgelegten Ziele. Bei der Charakterisierung der Pulvereigenschaften wurden Messungen unter Verwendung von Techniken wie der Differentiellen Scanningkalorimetrie (DSC), der Partikelgrößenverteilung (PSD), der Rasterelektronenmikroskopie (REM) und anderer durchgeführt. Eine Synthese dieser Pulvereigenschaften leitete eine Reihe von Parameteranpassungen an, die es ermöglichten, Probleme während des Druckens zu identifizieren und zusammenzufassen, verbunden mit einer Erforschung möglicher zugrunde liegender Ursachen. Im Bereich des eigentlichen Druckens erwies sich der Einsatz der isothermen DSC als effektiver Ansatz zur präzisen Konfiguration der Betriebstemperaturen, wobei ihre Bedeutung für die Erreichung optimaler Druckbarkeit anerkannt wurde. Die Studie unterstreicht die Bedeutung der Pulverfließfähigkeit bei erhöhten Temperaturen als Voraussetzung für optimale Druckbarkeit. Darüber hinaus hebt die Forschung die Bedeutung von Pulvereigenschaften wie der Partikelmorphologie und der Partikelgrößenverteilung hervor. Wenn sie in Verbindung mit der Schichtdicke betrachtet werden, spielen diese Faktoren eine entscheidende Rolle bei der Beeinflussung der Pulverfließfähigkeit und haben folglich Auswirkungen auf die Gesamtleistung des Druckens.
Anode-free lithium metal batteries based on locally high concentrated sulfolane electrolyte. - Ilmenau. - 87 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2024
Anodenfreie Lithiummetallbatterien profitieren von der hohen spezifischen Energie von metallischem Lithium, der höchsten unter allen Anodenmaterialien. Die geringe Stabilität der Grenzfläche zwischen Lithiummetall und dem Elektrolyt sowohl hinsichtlich der Morphologie des Lithiums als auch der SEI, verhindert die praktische Nutzung durch Probleme wie Dendritenbildung und geringe Lebensdauer. Lokal hoch konzentrierte Elektrolyte sind ein vielversprechender Ansatz, die Grenzfläche durch Optimierung der Eigenschaften der SEI zu stabilisieren. Die Effekte verschiedener Zyklierungsparameter auf die Lebensdauer und Coulombeffizeinzen anodenfreier Lithiummetallbatterien mit lokal hoch konzentriertem Sulfolan-Elektrolyt wurden charakterisiert und durch ihre Wirkung auf die Morphologie der Anode erklärt. Der Sulfolan-Elektrolyt bildet eine dünne SEI auf Lithium, die während der Zyklierung in einzelne, individuell bewegliche Stücke zerbricht. Dadurch kann sich die SEI an Veränderungen der Morphologie anpassen. Dadurch können deutlich höhere Lebensdauern und Coulombeffizienzen als mit konventionellen Carbonat oder Ether basierten Elektrolyten erreicht werden. Die wichtigsten Zyklierungsparameter sind die Stromdichte und die zyklierte Ladung pro Fläche. Beide verringern die Größe der Bruchstücke und damit Lebensdauer und Coulombeffizienz.
Proximity effect correction in electron beam lithography for high density pattern and device fabrication. - Ilmenau. - 60 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2024
Die Elektronenstrahllithografie zeichnet sich durch ihre hohe Auflösung aus und gilt in vielen Forschungseinrichtungen als bevorzugt Methode zur Herstellung von Bauelementen im Sub-Mikrometerbereich. Ein wesentlicher Limitierungsaspekt in der Auflösung ist der Proximity-Effekt, der durch Elektronenstreuung im Substrat und im elektronenstahlsensitiven Resist verursacht wird. Um den Proximity-Effekt präzise zu kompensieren, insbesondere bei kleinen Strukturen, ist ein vertieftes Verständnis der Faktoren, die diesen Effekt beeinflussen, von entscheidender Bedeutung. Diese Arbeit widmet sich der Untersuchung des Einflusses von Dotierstoffen, Dotierkonzentrationen und Orientierungen auf den Proximity-Effekt. Zur Bestimmung der Proximity-Effekt-Parameter wurde die Energieverteilung in PMMA-beschichteten Si-Substraten mit unterschiedlichen Konzentrationen verschiedener Dotierstoffe analysiert. Die durch Bildanalyse von REM-Aufnahmen und numerischen Kurvenanpassung an eine mehrfache Gauß'sche Fit-Funktion gewonnenen Parameter, werden in ein, von der Firma Raith vertriebenes, softwarebasiertes Korrekturschema integriert. Die Analyse der Energieverteilungsvariation im Resist aufgrund unterschiedlicher Substrateigenschaften zeigt, dass Dotierstoffe, Dotierkonzentrationen und Orientierungen den Proximity-Effekt beeinflussen. Dieses Ergebnis wird durch statistische Analysen der experimentellen Daten unterstützt. Die Parameter des Proximity-Effekts, welche sowohl experimentell als auch durch Monte-Carlo-Simulation ermittelt wurden, werden anhand der Auswertung von REM-Aufnahmen bewertet. Hierbei werden Proximity-Effekt-korrigierte und unkorrigierte strukturierte Resists auf Si/SiO2-Chips betrachtet. Beide Methoden zeigen nach der Korrektur eine verbesserte Strukturtreue, wobei die experimentell ermittelten Parameter eine Abweichung von weniger als 5,6 % zwischen der beabsichtigten und der realisierten Struktur aufweisen
Entwicklung eines qualitativen und quantitativen Messverfahrens zum sicheren Detektieren und Unterscheiden verschiedener Werkstoffe im Umfeld der Leergutrücknahme. - Ilmenau. - 133 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2023
Im Umfeld der Leergutrücknahme werden anhand von vier spezifischen Merkmalen die Einweg- und Mehrwegpfandgebinde unterschieden, der entsprechende Pfandwert bestimmt und die Getränkeabfüller zugeordnet. Demzufolge ist diese Erkennungstechnologie auf die richtige Unterscheidung, Verrechnung und Zuordnung der Gebinde ausgerichtet. Der Werkstoff des Pfandgebindes ist in diesem Zusammenhang nur von sekundärer Bedeutung und kann über die Erkennungsmerkmale nicht direkt ausgelesen werden. Aus Sichtweise der Wieder- und Weiterverwendung von pfandpflichtigen Gebinden in der Kreislaufwirtschaft ist zukünftig eine sortenreine Trennung der entsprechenden Werkstoffe wünschenswert. Das Ziel der vorliegenden Masterarbeit ist es, einen qualitativen und quantitativen Lösungsansatz eines Sensor-Messverfahren zu entwickeln, mit dem die jeweiligen Werkstoffe der Pfandgebinde sicher und eindeutig erkannt werden. Die Pfandgebinde bestehen zum Bearbeitungszeitpunkt dieser Arbeit aus Polyethylenterephthalat (PET), Glas, Aluminium und Weißblech. Aus diesem Grund ist es eine wesentliche Anforderung, mit dem entwickelten Prototyp die vier Werkstoffe zuverlässig zuzuordnen. Die Umsetzung der Zielvorgabe erfordert eine objektive und äquivalente Bewertung potenzieller Verfahren zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung (ZfP). Durch die Ergebnisse der Vergleichs- und Bewertungsmatrizen kann die Anzahl der Werkstoff-Erkennungsverfahren reduziert werden, für die eine praktische Realisierung sinnvoll erscheint. Aus der Bewertung ergeben sich vier Lösungsansätze. Für diese Ansätze erfolgt die Entwicklung theoretischer Entwürfe. Weiterhin lassen sich Annahmen zur messtechnischen Umsetzung ableiten. Schließlich lässt sich in Messversuchen die Praxistauglichkeit der erfolgversprechenden Verfahren zur Anwendung in einem Leergutautomaten untersuchen. Die Messergebnisse zeigen, dass aufgrund der physikalischen Funktionsprinzipien mit keinem einzelnen Sensor die vier geforderten Werkstoffarten identifizierbar sind. Letztendlich kann ein praktikabler Prototyp entwickelt werden, der mehrere, kombinierte Sensoren enthält. Mit diesem können die nichtmetallischen Werkstoffe (PET und Glas) sowie die Metalle (Aluminium und Weißblech) zugeordnet werden. Die Masterarbeit schließt mit der Auflistung einiger Hinweise für weiterführende Arbeiten ab und verweist auf den perspektivischen Einsatz des Verfahrens zur Werkstofferkennung.
Light-induced deposition of Rh on III/V semiconductors and investigation of its photoelectrochemical properties for water splitting. - Ilmenau. - 92 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2023
In dieser Arbeit wird die lichtinduzierte Abscheidung von Rhodium auf der AlInP-Oberfläche und deren anschließende Auswirkung auf die photoelektrochemischen Eigenschaften der Wasserspaltung untersucht. Die Rhodiumabscheidung wurde durch eine einfache und kontrollierbare lichtinduzierte elektrochemische Methode nach der Oberflächenbehandlung erreicht. Die Rhodium-deponierten Proben wurden mit einer Reihe von analytischen Techniken charakterisiert, darunter Röntgen-Photoelektronenspektroskopie, Rasterkraftmikroskopie und Rasterelektronenmikroskopie. Die Analysen bestätigten die erfolgreiche Abscheidung von Rhodium auf der Oberfläche. Anschließend wurden die photoelektrochemischen Eigenschaften der Rhodium-deponierten Proben unter simulierter Sonnenbestrahlung bewertet. Die Wasserspaltungsleistung wurde durch Chronoamperometrie-Messungen bewertet. Die erhaltenen Ergebnisse zeigten eine verbesserte photoelektrochemische Aktivität und Stabilität in Anwesenheit von Rhodium. Unter AM 1.5G-Beleuchtung wurde eine Solar-zu-Wasserstoff-Umwandlungseffizienz von bis zu 15 % erreicht.
Untersuchung der Wirkung von nanoskaligen Hilfsstoffen auf die extrinsischen Eigenschaften von Kunststoffpulvern. - Ilmenau. - 95 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2023
Ziel dieser Arbeit ist es, die Modifizierungen der extrinsischen Eigenschaften von Kunststoffpulvern nach Zugabe verschiedener nanoskaliger Fließhilfen systematisch zu untersuchen. Besonders relevante extrinsische Eigenschaften sind die Schüttdichte und die Fließfähigkeit. Letztere kann vereinfacht durch den Hausner-Faktor beschrieben werden. Neben pyrogener Kieselsäure sollten auch Ruße und pyrogenes Aluminiumoxid als nanoskalige Fließhilfen in Betracht gezogen werden. Die Hydrophobie ist ein wichtiges Auswahlkriterium. Die Methode zum Einmischen der Hilfsstoffe in das Pulver muss festgelegt werden. Es werden verschiedene Dosierungen von Hilfsstoffen analysiert. Die Korrelation zwischen den Materialeigenschaften und der Anzahl der PBF-Produktionszyklen sollte bestimmt werden.
Implementation of an atomic force microscopy setup based on quartz tuning forks and evaluation of scanning probe configurations. - Ilmenau. - 56 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2023
Quarz-Stimmgabeln (QTF) wurden ursprünglich als Quarzkristall-Oszillatoren in elektronischen Uhren entwickelt, sind aber inzwischen in einer Vielzahl von Anwendungen als Sensorelemente eingesetzt worden. Sie wurden als Kraftsensor in der Raster-Sonden-Mikroskopie eingesetzt, um die Wechselwirkungskräfte zwischen der Sonde und der Probenoberfläche zu messen, in der Gas Sensorik wie der quarzverstärkten photoakustischen Spektroskopie als akustischer Resonanzwandler zum Nachweis verschiedener Gasspezies und in der Flüssigkeitssensorik zur Messung der dynamischen Eigenschaften von Flüssigkeiten. Ihre signifikanten Eigenschaften machen sie zu vielversprechenden Kandidaten als Kraftsensorelement, wie z.B. hohe Empfindlichkeit, hoher Q-Faktor und Resonanzfrequenz, Selbstabtastung und Betätigung aufgrund ihrer Piezoelektrizität, Stabilität und Vielseitigkeit. Aufgrund ihrer hohen Steifigkeit (k=103-104 Nm-1) können sie beispielsweise kleine Schwingungsamplituden und kleine Entfernungen abtasten, ohne dass die Spitze in Kontakt springt, oder aufgrund ihres hohen Q-Faktors (>10.000) können sie kleine Frequenzverschiebungen erkennen. Diese bedeutenden Eigenschaften ergeben sich aus ihrer symmetrischen und ausgewogenen Geometrie. Um als Kraftsensor verwendet zu werden, muss eine scharfe Spitze an der Spitze eines der Zinken des QTF angebracht werden. Das Spitzenmaterial muss mit leitfähigem Epoxidharz befestigt werden, um den elektrischen Kontakt zwischen der Spitze und der Elektrodenstruktur auf dem QTF herzustellen. Das zusätzliche Gewicht des Klebers und des Spitzenmaterials, das durch das Verfahren zur Befestigung der Spitze verursacht wird, stört die ausgewogene Geometrie des QTF. Dies beeinträchtigt die Leistung des QTF, indem es den Q-Faktor und die Resonanzfrequenz senkt. Es ist von entscheidender Bedeutung, sein dynamisches Verhalten zu verstehen und die verschiedenen Spitzenkonfigurationen zu charakterisieren, um die ideale Spitzenkonfiguration für die beabsichtigte Anwendung zu entwickeln und auszuwählen. Ziel dieser Studie ist es, verschiedene QTF-Spitzendesigns herzustellen und sie mit Hilfe verschiedener Techniken zu charakterisieren, darunter elektrische Anregung, Laser-Doppler-Vibrometer und numerische Simulationen. Quarz-Stimmgabel-Sonden wurden durch Anbringen verschiedener Spitzenmaterialien hergestellt, um verschiedene Spitzenkonfigurationen zu charakterisieren. Als Spitzenmaterialien wurden Wolframdraht, Platin-Iridium-Draht und Diamantpartikel verwendet, und die Befestigung erfolgte mit Silberepoxid oder Silberlackkleber. Nach der Befestigung der Spitzen wurden diese mittels REM-Bildgebung charakterisiert und die Resonanzfrequenzen gemessen. Für eine genaue Charakterisierung sind die Position und die Menge des Spitzenmaterials und des Klebstoffs entscheidend, und der Prozess der Spitzenbefestigung muss optimiert werden. Die Ergebnisse zeigen, dass die Resonanzfrequenz und der Qualitätsfaktor von QTF mit der Entfernung der evakuierten Metallkappe sinken. Auf die gleiche Weise wird die Resonanzfrequenz durch das Hinzufügen von Spitzenmaterial und Epoxidkleber gesenkt. Dies lässt sich durch die unausgewogene Geometrie des QTF erklären, die durch die zusätzliche Masse des Spitzenmaterials entsteht. Das dynamische Verhalten verschiedener Spitzenkonfigurationen wurde ebenfalls entwickelt und mit Hilfe von Finite-Elemente-Simulationen untersucht. Die Eigenfrequenzanalyse und die Frequenzbereichsanalyse wurden verwendet, um die Schwingungsmoden und das Frequenzverhalten von QTFs zu simulieren. Während der Simulationen wurden verschiedene Parameter untersucht, darunter die Menge und Position des Epoxidklebers, das Spitzenmaterial (Wolfram und Platin-Iridium), die Geometrie des Spitzenmaterials (z.B. die Länge) und ihre Auswirkungen auf die dynamischen Eigenschaften der QTF. Wie die Simulationen zeigen, nimmt die Resonanzfrequenz mit der Zugabe von Klebstoff und Spitzenmaterial ab, was mit experimentellen Beobachtungen übereinstimmt. Es wurde festgestellt, dass auch die Position des Klebstoffs und die Länge des Materials die QTF-Dynamik beeinflussen. Auf der Grundlage dieser Charakterisierungsergebnisse sollen geeignete QTF-Sonden für den Einsatz in der Feldemissionslithographie hergestellt und eingesetzt werden. Stichworte: Quarz-Stimmgabel, Rasterkraftmikroskopie, Rastersonde