Monografien und Forschungsberichte

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Hülsenberg, Dagmar;
Glastechnologien für Recyclingaufgaben. - Stuttgart : Hirzel, 1998. - 46 S.. - (Abhandlungen der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig, Technikwissenschaftliche Klasse ; 1,1) ISBN 3-7776-0835-1
Literaturangaben

Heider, Thomas
Tagungsband. - Ilmenau : Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik/Informationstechnik, FG Plasma- und Oberflächentechnik, 1998. - 188 SBeitr. teilw. dt., teilw. engl. - Literaturangaben

Grzemba, Carsten;
Abschlußbericht zum ASIS-2S Verbundprojekt: Implementierung und Erprobung des Ätzsimulators. - Ilmenau : TU, FG Mikrosystemtechnik. - 41 BlLiteraturverz. - Förderkennzeichen BMBF 13 MV 0348. - Verbund-Nr. 52400090

https://edocs.tib.eu/files/e01fbdig05/499595815.pdf
Heider, Thomas
Tagungsband. - Ilmenau : Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik/Informationstechnik, FG Plasma- und Oberflächentechnik, 1997. - [110] SBeitr. teilw. dt., teilw. engl. - Literaturangaben

Nitzsche, Karl;
Schichtmeßtechnik
1. Aufl.. - Würzburg : Vogel, 1996. - 502 S.. - (Vogel-Fachbuch) ISBN 3-8023-1530-8
Literaturverz. S. 489 - 493

Kallenbach, Eberhard; Wurmus, Helmut; Wauro, Frank
1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995. - Ilmenau, 1995. - 213 S.Literaturangaben

Nutsch, Gabriele
ICEFA : proceedings of the fifth International Conference on Electric Fuses and Their Applications, 25th - 27th September 1995. - Berlin : VDE-Verl., 1995. - 278 S ISBN 3-8007-2139-2
Literaturangaben