Studentische Arbeiten

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Schwemmlein, Martin;
Entwicklung eines oszillierenden einachsigen Mikrotastsystems auf Basis tangentialer elektrostatischer Wandler. - Ilmenau. - 124 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2017

Durch Fortschritte in der Mikrosystemtechnik werden in der Messtechnik zunehmend monolithisch konstruierte Systeme aus Silizium anstatt makroskopisch gestalteter Tastsysteme mit diskreten Teilkomponenten verwendet. Diese als MEMS (mikroelektromechanisches System) bezeichnete Bauweise ermöglicht u. a. Systeme mit höherer Dynamik, höherer Auflösung und geringeren Antastkräften, jedoch tritt beim Messvorgang Sticking der Tastspitze am Messobjekt auf. Um dies zu verhindern, werden dynamische Tastsysteme mit Aktoren und oszillierender Tastspitze verwendet, die im Nicht- oder Semi-Kontaktmodus arbeiten. Die bei MEMS üblicherweise verwendeten elektrostatischen Aktoren können dabei in Vertikal- oder Tangentialaktoren unterteilt werden. In der vorliegenden Arbeit wird auf Basis eines bereits vorhandenen Mikrotastsystems mit Vertikalaktoren vier Versionen mit Tangentialaktoren entworfen. Die Unterschiede beider Aktuierungssysteme und deren Auswirkungen auf das Design werden diskutiert, das neue System wird in einem iterativen Prozess modelliert und die wichtigsten Parameter in einer Simulation betrachtet. Es werden unterschiedliche Fälle der Luftdämpfung betrachtet und entsprechend modifizierte Versionen des Tastsystems entworfen. Schließlich werden die Fertigungsmasken für das System gestaltet und ein Konzept zur Auswerteelektronik erstellt, das die Unterschiede zur vorhandenen Ansteuerung aufzeigt und alternative Methoden zur Auswertung der Tastersensorik erörtert.



Zimmermann, Markus;
Experimentelle Charakterisierung und Vergleich zwischen Flexual-Plate-Wave Sensoren und piezobasierter mechanischer Erregung zur Biomassedetektion. - Ilmenau. - 78 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2017

Die Bioprozessanalytik und speziell die Automatisierung solcher Prozesse nehmen einen immergrößer werdenden Stellenwert in der Forschung ein. Dabei sind gerade zerstörungsfreie Biomassesensoren von Vorteil, da sie nicht-invasiv arbeiten. Biomassesensoren lassen sich je nach Transducer in verschiedene Kategorien unterteilen: elektrochemische, optische oder piezoelektrische Biosensoren. Die vorliegende Masterarbeit hat das Ziel einen Flexural-Plate-Wave (FPW) Sensor und einen auf piezoelektrisch-mechanischer Erregung basierenden Sensor auf ihre Anwendbarkeit hin als Biomassesensor zu untersuchen. Bei Flexural-Plate-Wave Sensoren erfolgt die Anregung piezoelektrisch. Die Wellen wandern entlang einer flexiblen Membran. Die Wellen werden hierbei nicht durch die Flüssigkeit gedämpft, wie es bei einem SAW-Sensor der Fall ist, und ermöglicht somit den Einsatz in flüssiger Umgebung. Der zweite untersuchte Sensor untersucht die Federsteifigkeit eines Scaffolds. Es wurde untersucht, ob Steifigkeitsunterschiede von Scaffolds (ein strukturelles Gerüst, welches den Zellen als Wachstumshilfe dient) unterschiedlicher Materialzusammensetzungen mit dem Sensorkonzept erfasst werden können und ermittelte Kennwerte reproduzierbar angewendet werden können. Für ein neues Sensorkonzept zur Steifigkeitsbestimmung wurde die Infrastruktur von zwei neuen Messsystemen (Basalt Must und ein piezobasierter Prototyp) genutzt. Mit deren Hilfe konnte das viskoelastische Verhalten der verschiedenen Scaffolds aufgezeigt sowie Steifigkeitsänderungen innerhalb der untersuchten Materialien ermittelt werden. Dabei zeigten sich gut detektierbare Unterschiede zwischen den einzelnen Materialkompositionen als auch in Flüssigkeit aufgequollenen Scaffolds. Mit den Erkenntnissen und Kennwerten wird ein Konzept für die Sensorminiaturisierung gezeigt, dass im finalen System der automatischen Zellkultivierung als Biomassesensor Anwendung finden kann. Eine Kombination aus FPW und dem piezobasierten System ermöglicht sowohl die Überwachung des gesamten Scaffolds, als auch die gezielte Überwachung kritischer Randbereiche.



Thewes, Anna Christina;
Design und Optimierung eines Flexural-Plate-Wave-Sensors (FPW) für die Biomassedetektion in automatischen Zellkultivierungssystemen. - Ilmenau. - 64 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2017

Das Projekt SACCA (System for Automated Cell Cultivation and Analysis) umfasst ein System für automatisierte Zellkultivierung und Analyse. Biomassesensoren sollen dabei das Zellwachstum innerhalb der Zellkammern überwachen. Ein Flexural-Plate-Wave-Sensor (FPW-Sensor) arbeitet mit sogenannten Lambwellen, die auf einer piezoelektrischen Membran gesendet und empfangen werden. Er funktioniert in flüssiger Umgebung besonders gut und reagiert durch die hohe Eindringtiefe der Lambwellen empfindlich auf Veränderungen innerhalb der Zellkammer. In der vorliegenden Masterarbeit erfolgten Design und Optimierung eines solchen FPW-Sensors. Anhand der numerischen Simulationen konnte die Eindringtiefe der Lambwellen in die Flüssigkeit auf 65 [my]m optimiert werden, was im Vergleich zum ersten Entwurf eine Steigerung um 400 % ausmacht. Durch eine Membrandicke von insgesamt 19 [my]m wurde außerdem die Gefahr des Zerbrechens aufgrund äußerer Erschütterungen verringert. Eine neuartige Elektrodenstruktur zeigte in der Simulation deutlich messbare Spannungsunterschiede für unterschiedliche Belastungen. Es zeigte sich aber auch, dass ein einzelner Sensor nicht die gesamte Zellkammer überwachen kann. Es empfiehlt sich daher ein kombiniertes System aus zwei Piezoaktoren und drei FPW-Sensoren zu verwenden.



Schmitt, Philip;
Optimierung und Miniaturisierung eines mikrosystemtechnisch umgesetzten binären Zählmechanismus. - Ilmenau. - 126 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2016

Der Einsatz autonomer elektrischer Mikrosysteme, die über längere Zeiträume rauen Umweltbedingungen ausgesetzt sind, wird häufig durch degenerative Energiespeicher limitiert. Ein alternativer Einsatz besteht daher darin, Mikrosysteme die solchen Umweltbedingungen ausgesetzt sind, vollständig ohne die Verwendung von elektrischer Energie zu betreiben. Im Fokus dieser Arbeit steht die Optimierung und Miniaturisierung eines bereits bestehenden mikrosystemtechnisch umgesetzten binären Speichers bzw. Zählers. Dieser Zähler benötigt für seine Nutzung keine elektrische Energie. Stattdessen arbeitet er ähnlich wie ein makroskopischer Handzähler rein mechanisch. Mit dem Ziel das Konzept des bereits vorliegenden binären Zählmechanismus in Kombination mit weiteren autonomen Mikrosystemen zu betreiben, ist es Gegenstand dieser Arbeit, den Mechanismus diesbezüglich zu optimieren. So können beispielsweise Grenzwertereignisse energieautark erfasst und gezählt werden. Hierzu sollen die zum Schalten nötigen Kräfte und Auslenkungen reduziert werden. Ferner soll die Systemgröße des Speichers bei gleichzeitiger Erhöhung der Bittiefe minimiert werden. Der Ansatz für die Umsetzung dieser Ziele besteht in der Analyse des bestehenden Systems. Durch die Aufdeckung und Optimierung vieler sich gegenseitig bedingender Beziehungen und Geometrien, wird im Rahmen dieser Arbeit eine Verringerung der Systemgröße erreicht. Um die Möglichkeit zu schaffen, solch rein mechanische Speicher elektrisch auswerten zu können, besteht ein weiteres Ziel der Arbeit in der elektrischen Anbindung des mechanischen Systems. Mit Hilfe piezoresistiver Messbrücken wird über eine einfache elektrische Anbindung hinaus noch ein mechatronischer Digital-Analog Wandler realisiert, der mechanisch gespeicherte Binärzahlen in einen analogen Spannungswert transformiert.



Riehmer, Jonas;
Entwurf eines mikrooptischen Scanners. - 130 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2016

In dieser Arbeit wurde die Untersuchung und Entwicklung möglicher Konzepte, die eine mikrooptische Realisierung eines 3-D-Scanners zulassen, dokumentiert. Für die Erstellung der Konzepte erfolgte eine detaillierte Evaluation des Stands der Technik bezogen auf Time-of-Flight-Messysteme. Diese Erkenntnisse werden für eine differenzierte und kategorisierte Aufstellung der Anforderungen, die an eine mikrotechnische Umsetzung eines 3-D-Scanners gestellt sind, genutzt. Aus dieser Aufstellung wurden anschließend Festlegungen und Berechnungen für die Messtechnik, die Lasersicherheit, die Optik und die Aktuierung des Gesamtsystems durchgeführt. Im nächsten Schritt wurde aus dem favorisierten Systemkonzept ein Design entworfen, dass die zuvor aufgestellt Anforderungen berücksichtigt. Der rotatorische-Kammaktor auf SOI-Basis wurde anhand von numerischen und analytischen Modellen auf eine hohe Abtastrate und großer Winkelauslenkungen optimiert und erlaubt eine gezielte Regelbarkeit der Auslenkung. In Machbarkeitsstudien wurden erste Varianten der Mikroaktoren umgesetzt und an einem angepassten Versuchsstand ausgewertet. Ein Vergleich mit dem theoretischen Modell zeigt die Funktionsfähigkeit dieses Aktors für die Anwendung als Mikroscanner für Time-of-Flight-Messsysteme. Der Herstellungsprozess wurde weiterhin hinsichtlich der Rauheit der Ätzflanken optimiert, um diese als Spiegelfläche zu verwenden und somit den Grad der Integration zu erhöhen.



Wedrich, Karin;
Erarbeitung eines passiven Stoßsensors für Beschleunigungen bis 500 g. - 120 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2016

In dieser Arbeit wird ein Stoßbeschleunigungssensor vorgestellt, der Stoßbeschleunigun-gen mit Amplituden von 100 g bis 500 g mittels eines mechanischen Mikrogesperres detektieren und speichern kann. Dazu wird ein Modell zur Beschreibung des dynamischen Verhaltens des Bewegungssystems während des Rastvorgangs erarbeitet. Durch Anwendung des Modells wird ein Systemdesign umgesetzt, mit welchem externe Stoßbeschleunigungen in fünf Stufen detektiert werden können. Das Systemdesign wird mit einer Variation kritischer Systemparameter in Form eines Maskendesigns ausgestaltet und mit den Fertigungsmöglichkeiten des Zentrums für Mikro- Nanotechnologien realisiert. Der mechanische Zustand soll in Form einer elektrischen Zustandserfassung abrufbar sein, was durch eine differentielle kapazitive Messung nachgewiesen werden kann. Die eindeutige Zuordnung zwischen Raststufe und wirkender Beschleunigungsamplitude kann nachweislich durch einen Designparameter Masse eines beweglichen Teils des Sensors erfolgen. Somit kann ein wichtiges Element der Dimensionierung nachgewiesen werden. Dieser Designparameter führt jedoch zu Anfälligkeiten von Querbeschleunigungen. Durch Hafteffekte der bewegten Komponenten des Systems an Anschlägen kann kein zuverlässiges Speichern der gemessenen Beschleunigungen gesichert werden. Dieser Effekt führt ebenso dazu, dass bei mehreren Rastungen innerhalb eines Stoßes niedrigere Beschleunigungsschwellen erreicht werden, als beim direkten Modellvergleich. Durch einen Reibeffekt der bewegten Komponenten kommt es bei nur einer Weiterrastung dazu, dass die Beschleunigungsschwellen höher sind, als im Modell. Insgesamt sind die Beschleunigungsschwellen jedoch deutlich höher als die Entworfenen, da der angenommene sinusförmige Beschleunigungsverlauf mit fester Dauer zu einem höheren Energieeintrag in das System führt als in der Realität.



Perret, Solveig;
Prozessentwicklung und charakterisierung von optisch transparenten nanostrukturierten Oberflächen. - 123 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2016

Im Rahmen des Projekts SACCA (System for Automated Cell Cultivation and Analysis) soll einen Biosensor entwickelt werden, der im flüssigen Medium mit einer transparenten Oberflächen, wodurch optische Messverfahren ermöglicht werden und worauf die Zellen nicht anwachsen wollen sollen, die Anwesenheit der Zellen messen soll. Die vorliegende Masterarbeit greift das Konzept und die Technologie auf. Eine technologische Umsetzung wird erfolgreiche zur Erzeugung der Nanostrukturen durchgeführt. Auf Basis des Konzepts und Anwendung des SAW-Sensors wird ein neuer Sensortyp entwickelt. Bei diesem werden Lamb-Wellen durch Interdigital Strukturen auf einer piezoelektrischen Membran erzeugt. Diese Wellentypen ermöglichen die Messungen im flüssigen Medium und die Änderung der Eigenschaften des Fluids zu erkennen. Das Konzept wird für den Flexural-Plate-Wave-Sensor (FPW) in der Arbeit bearbeitet und einen Entwurf mit einem SAW-Sensor mit einer Membran technologische umgesetzt. Die Fähigkeit des Entwurfs wird durch einen Vergleichung mit einem SAW-Sensor und Messungen im flüssigen Medium verifiziert. Der Einfluss von Wasser, Isopropanol und der Unterschied zwischen beiden Flüssigkeiten wird durch die Messungen erfolgreich beachtet. Zum Schluss erfolgen die Auswertung der Ergebnisse und ein Ausblick auf möglichen Erweiterungen.



Tasnadi, William;
Entwurf eines elektrostatischen Membranschalters für SiCer-Substrate. - 60 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Masterarbeit 2016

Im Bereich der modernen Telekommunikation leitet uns der wachsende Trend der schnelleren, kleineren und effizienteren Radiofrequenz Front- und Backends für Smartphones, Kommunikationssatelliten und Applikationen für die Industrie 4.0 dazu innovative Impedanzanpassung Techniken und Schaltungen zu berücksichtigen. RF Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) in Kombination mit Niedertemperatur Co-fired Ceramics in einer Silizium-auf-Keramik-Technologie bieten eine hohe HF-Dielektrikum Leistung und verlustarme einstellbaren Kapazitäten (Varaktor). In dieser Arbeit konzentrieren wir uns auf die elektrischen und mechanische Simulation, Konstruktion und Fertigung von drei verschiedenen Varaktoren in drei verschiedenen Größen auf einem SiCer Substrat und ihre Integration in ein Impedanzanpassungsnetzwerk auf koplanare Wellenleiter. Die Verwendung von anti-pull-in Designs ermöglichen Hochkapazitätsquotient und analoge Justierung durch bias Spannungseinstellung über den gesamten Kapazitätsbereich resultierend in hohen Eingangsimpedanzanpassungsmöglichkeiten.



Belkner, Johannes;
Untersuchung von Dünnschicht-Strukturen zur Detektion von THz-Strahlung. - 70 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Bachelorarbeit 2016

Für die Detektion elektromagnetischer Strahlung im Terahertz-Frequenzbereich untersucht diese Arbeit theoretische Modelle zur Beschreibung des Absorptionsverhaltens von Mikrokreuzgittern. Ziel ist daher die Entwicklung von Mikrogittern mit einem ultrabreitbandigen konstant hohen Absorptionsgrad. Dafür werden ein analytisches Leitungsmodell nach Ulrich sowie zwei numerische FEM-Materialmodelle (Finite Elemente Methode) vorgestellt. Als Eingangsparameter der Modelle werden nur die Geometrie und der Flächenwiderstand benötigt. Zur Verifizierung der Modelle werden Proben in Form von einlagigen Mikrogittern aus Gold-Palladium (AuPd) auf einer Siliziumnitrid-Membran (Si3N4) hergestellt. Deren Absorptionsgrad wird mittels FTIRSpektroskopie (Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie) über ein Frequenzband von 0,25 THz bis 200 THz bei Raumtemperatur vermessen. Hinsichtlich der angedachten Arbeitsbedingungen werden Proben zusätzlich auch bei 7K untersucht, um die Modelle bezüglich der Änderung des Flächenwiderstandes zu überprüfen. Sowohl die Ergebnisse des analytischen Modells als auch die eines der numerischen Modelle, geben in funktionsrelevanten Frequenzbereichen die gemessenen Absorptionsgrade ausreichend genau wieder, um die Modelle für die Konstruktion von Absorbergittern zu verwenden. Für sicherere Abschätzungen ist es speziell mit dem analytischen Modell möglich, Toleranzfelder für die Gittergeometrie festzulegen. Die Herstellung und Voruntersuchung von verschiedenen Absorbertestgittern kann damit erheblich reduziert werden.



Behrens, Arne;
Konzeption und Auslegung einer mikroskopierbaren Messzelle. - 75 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Bachelorarbeit 2016

Im Rahmen der vorliegenden Bachelorarbeit wurde die Entwicklung und Konzeption einer mikroskopierbaren Messzelle mit dem dazugehörigen bildgebenden System durchgeführt. Die Bachelorarbeit war Teil eines Kooperationsprojekts der Fa. 3T Analytik mit dem Universitätsklinikum Tübingen. Ziel des Projekts ist die in-situ videomikroskopische Analyse der Schwingquarzoberfläche während einer Messung, die eine quantitative Beurteilung der Eigenschaften und des Ankopplungsprozesses von Analyten ermöglicht. Dazu wird zunächst die Notwendigkeit für die erfolgreiche Umsetzung der vorgestellten Entwicklung erörtert. Im Anschluss dazu werden die für die Entwicklung der Messzelle und Auswahl der optischen Komponenten essentiellen Eigenschaften von Schwingquarzsensoren diskutiert. Die entsprechenden optischen Komponenten wurden speziell für die Anwendung ausgewählt und zu einem bildgebenden System kombiniert. Die Entwicklung der Messzelle wurde passend zum vorher entworfenen bildgebenden System gestaltet, da das zu entwickelnde Produkt eigenständig betreibbar sein soll. Die Messzelle wurde kompatibel zur vorhanden Schwingquarzsensorplattform qCell T der Firma 3T Analytik konstruiert.Vor der Entwicklung der Messzelle wurde eine Werkstoffauswahl anhand von verschiedenen, vorher aufgestellten Anforderungen durchgeführt. Anschließend wurde ein Versuchsaufbau konzipiert, um die Leistungsfähigkeit des bildgebenden Systems nachzuweisen und erste Feldexperimente durch den Kooperationspartner zu ermöglichen. Dieser konzipierte Versuchsaufbau soll voll funktionsfähig sein und entscheidend in die Entwicklung des ersten Demonstrators des Produkts qCell T opto einfließen.