Analyse, Optimierung und Synthese von nachgiebigen Koppelmechanismen für Ultrapräzisionsanwendungen (Fortsetzung)

Prof. L. Zentner
S. Henning, M. Sc.

Stand der Forschung

Festkörpergelenke werden als stoffschlüssige Drehgelenke in nachgiebigen Koppelmechanismen für Ultrapräzisionsanwendungen eingesetzt. Hier liegen die Anforderungen an die Präzision in der Größenordnung von Nanometern bzw. Winkelsekunden. Die Synthese nachgiebiger Mechanismen erfolgt vorwiegend durch die Ersetzung von Starrkörpermechanismen. Es besteht Forschungsbedarf, da der Zusammenhang zwischen der konkreten konstruktiven Gestaltung und dem kinematischen Verhalten in der erforderlichen Auflösung bisher in der Literatur nicht untersucht worden ist. Die vorwiegende Verwendung von elementaren Gelenkkonturen führt sowohl hinsichtlich der Abweichung zur vorgegebenen Bahnkurve als auch des maximalen Bewegungsbereiches zu starken Einschränkungen. Zur Überwindung dieser Limitierungen wird gegenwärtig die Gelenkanzahl im Mechanismus erhöht, während eine Konturoptimierung unter Beachtung der konstruktiven Umsetzung monolithischer Mechanismen nicht stattfindet. Die ungenügende Kenntnis des kinematischen Verhaltens verhindert bisher das Vordringen in zunehmend auftretende Applikationen der Ultrapräzisionstechnik mit kombinierten Forderungen an höchste Präzision und deutlich erweiterte Stellbereiche

Zielstellung

Ziel des Vorhabens ist die Erarbeitung von Grundlagen zur Synthese nachgiebiger Mechanismen mit optimierten Festkörpergelenken. Als Schwerpunkt der 1. Projektphase wurden die Auswirkungen der Gelenkkontur auf die Mechanismuseigenschaften im Vergleich zum Starrkörpervorbild untersucht. Die Untersuchungen zeigen, dass Gelenke mit direkt im Mechanismus optimierten Polynomkonturen einen Vorteil gegenüber herkömmlichen Konturen bieten, da sie eine gleichzeitige Erhöhung von Bewegungsbereich und Präzision ermöglichen. Eine weitere Verbesserung kann durch die Verwendung unterschiedlicher Konturen in einem Mechanismus sowie eine günstige Gestaltung der Gelenkorientierung und Koppelgeometrie erreicht werden. Ausgehend von der 1. Phase existiert zusätzlicher Forschungsbedarf bei der geometrischen Gestaltung von monolithischen Mikro- und Nanopositioniersystemen mit Makroabmessungen. Hierbei liegt der Schwerpunkt auf der Weiterentwicklung einer neuartigen, gegenüber dem idealisierten Starrkörpermodell verbesserten Synthesemethode basierend auf den Gelenkdrehwinkeln. Diese erlaubt die gezielte geometrische Gestaltung von nachgiebigen Mechanismen unter Berücksichtigung des Einflusses der Skalierung.

TU Ilmenau

Beitrag

Verglichen mit dem aktuellen Forschungsstand ist insbesondere das Ziel der gleichzeitigen Erhöhung von Präzision und Stellbereich ein neuer Ansatz. Damit leistet das Vorhaben einen Beitrag zur Entwicklung einer skalenübergreifenden Synthesemethode für räumliche Mechanismen, die den Freiheitsgrad des Mechanismus und die Antriebsintegration im Positioniersystem berücksichtigt. Die Ergebnisse sollen an zwei Prototypen mit unterschiedlicher Skalierung verifiziert und in Form von Konstruktionsrichtlinien für die weitere Anwendung in der Ultrapräzisionstechnik aufbereitet werden.

Veröffentlichungen (ab 2018)

  • Henning, S.; Zentner, L.: Analysis of planar compliant mechanisms based on non-linear analytical modeling including shear and lateral contraction. In: Mechanism and Machine Theory 164, 104397, 2021 – DOI: 10.1016/j.mechmachtheory.2021.104397
  • Gräser, P.; Linß, S.; Harfensteller, F.; Torres, M.; Zentner, L.; Theska, R.: High-precision and large-stroke XY micropositioning stage based on serially arranged compliant mechanisms with flexure hinges, Precision Engineering, 2021. – DOI: 10.1016/j.precisioneng.2021.02.001
  • Henning, S.; Linß, S.; Zentner, L.: Synthesemethode zur Bestimmung geeigneter Geometrieparameter von Festkörpergelenken. In: Tagungsband Siebte IFToMM D-A-CH Konferenz 2021, 18.-19. Februar, 2021 – DOI: 10.17185/duepublico/74040
  • Henning, S.; Linß, S.; Gräser, P.; Schneider, J.D.; Theska, R.; Zentner, L.: Optimization of Compliant Path-Generating Mechanisms Based on Non-linear Analytical Modeling. In: Microactuators, Microsensors and Micromechanisms. MAMM 2020., Mechanisms and Machine Science, vol 96., Ilmenau; Zentner, L., Strehle, S., Eds.; Springer: Cham, 2021; pp 25–35. – DOI: 10.1007/978-3-030-61652-6_3
  • Darnieder, M.; Harfensteller, F.; Schorr, P.; Scharff, M.; Linß, S.; Theska, R.: Characterization of Thin Flexure Hinges for Precision Applications Based on First Eigenfrequency. In Microactuators, Microsensors and Micromechanisms. MAMM 2020., Mechanisms and Machine Science, vol 96., Ilmenau; Zentner, L., Strehle, S., Eds.; Springer: Cham, 2021; pp 15–24. – DOI: 10.1007/978-3-030-61652-6_2
  • Linß, S.; Gräser, P.; Torres, M.; Kaletsch, T.; Theska, R.; Zentner, L. A Novel Planar Two-Axis Leaf-Type Notch Flexure Hinge with Coincident Rotation Axes and Its Application to Micropositioning Stages. In: Microactuators, Microsensors and Micromechanisms. MAMM 2020., Mechanisms and Machine Science, vol 96., Ilmenau; Zentner, L., Strehle, S., Eds.; Springer: Cham, 2021; pp 1–14. – DOI: 10.1007/978-3-030-61652-6_1
  • Henning, S.; Linß, S.; Gräser, P.; Theska, R.; Zentner, L.: Non-linear analytical modeling of planar compliant mechanisms, Mechanism and Machine Theory, 155, 104067, 2021 – DOI: 10.1016/j.mechmachtheory.2020.104067
  • Henning. S.; Zentner, L.: Entwicklung eines PC-Programms zur Analyse von nachgiebigen Mechanismen für beliebige Bewegungsaufgaben. In: Tagungsband Sechste IFToMM D-A-CH Konferenz 2020, Lienz, Österreich, 27.-28. Februar, 2020 – DOI:10.17185/duepublico/71185
  • Henning. S.; Zentner, L.: Nichtlinear-analytische Modellbildung nachgiebiger Mechanismen unter Berücksichtigung des Querkraftschubs. In: Tagungsband 13. Kolloquium Getriebetechnik, Dortmund (Germany), Berlin: Logos Verlag, S. 31–40, 2019
  • Goncalves Junior, L.A.; Theska, R.; Lepsikon, H.A.; Ribeiro Junior, A.S.; Linß, S.; Gräser, P.: Theoretical and experimental investigation of performance characteristics and design aspects of cross-spring pivots. International Journal of Solids and Structures, In Press, Corrected Proof, 2019 – doi:10.1016/j.ijsolstr.2019.08.023
  • Linß, S.; Gräser, P.; Henning, S.; Harfensteller, F.; Theska, R.; Zentner, L.: Synthesis Method for Compliant Mechanisms of High-Precision and Large-Stroke by Use of Individually Shaped Power Function Flexure Hinges. In: Uhl, T. (Hg.): Mechanisms and Machine Science 73. Advances in Mechanism and Machine Science. Proceedings of the 15th IFToMM World Congress on Mechanism and Machine Science 2019, Cham: Springer International Publishing (Mechanisms and Machine Science, 73), S. 1569–1578, 2019 – doi:10.1007/978-3-030-20131-9_155
  • Henning, S.; Linß, S.; Vollrath, T.; Zentner, L.: Elasto-Kinematic Modeling of Planar Flexure Hinge-Based Compliant Mechanisms Incorporating Branched Links. In: Uhl, T. (Hg.): Mechanisms and Machine Science 73. Advances in Mechanism and Machine Science. Proceedings of the 15th IFToMM World Congress on Mechanism and Machine Science 2019, Cham: Springer International Publishing (Mechanisms and Machine Science, 73), S. 1599–1608, 2019 – doi:10.1007/978-3-030-20131-9_158
  • Gräser, P.; Linß, S.; Zentner, L.; Theska, R.: Investigations of different compliant manipulator concepts for a high-precise rotational motion. In: 19th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen), June 3rd – June 7th 2019. Bilbao, Spain, S. 64– 67, 2019 – ISBN 978-0-9957751-4-5
  • Gräser, P.; Linß, S.; Zentner, L.; Theska, R.: Optimization of Compliant Mechanisms by Use of Different Polynomial Flexure Hinge Contours. In: Kecskeméthy, A. et al. (Hg.): Interdisciplinary Applications of Kinematics. Proceedings of the Third International Conference (IAK) 2018, Cham: Springer Nature (Mechanisms and Machine Science, 71), S. 265–274, 2019 – doi:10.1007/978-3-030-16423-2_25
  • Theska, R.; Zentner, L.; Fröhlich, T.; Weber, C.; Manske, E.; Linß, S.; Gräser, P.; Harfensteller, F.; Darnieder, M.; Kühnel, M.: Compliant Mechanisms for Ultra-Precise Applications. In: Kecskeméthy, A. et al. (Hg.): Interdisciplinary Applications of Kinematics. Proceedings of the Third International Conference (IAK) 2018, Cham: Springer Nature (Mechanisms and Machine Science, 71), S. 249–256, 2019 – doi:10.1007/978-3-030-16423-2_23
  • Linß, S.; Henning, S.; Zentner, L.: Modeling and Design of Flexure Hinge-Based Compliant Mechanisms. In: Mizrahi, J. (Hg.): Kinematics. Rijeka, Croatia: IntechOpen, 2019 – doi:10.5772/intechopen.85224
  • Torres Melgarejo, M. A.; Darnieder, M.; Linß, S.; Zentner, L.; Fröhlich, T.; Theska, R.: On Modeling the Bending Stiffness of Thin Semi-Circular Flexure Hinges for Precision Applications. In: Actuators 7 (4), 2018, p. 86 – DOI:10.3390/act7040086
  • Henning, S., Linß, S., Zentner, L.: detasFLEX – A computational design tool for the analysis of various notch flexure hinges based on non-linear modeling. In: Mechanical Sciences 9., 2018, S. 389-404 – DOI: 10.5194/ms-9-389-2018
  • Gräser, P.; Linß, S.; Räder, T.; Zentner, L.; Theska, R.: Investigations of the geometrical scaling in the systematic synthesis of compliant mechanisms. In: 18th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen), June 4th – June 8th 2018. Venice, Italy, 2018, S. 67-68 – ISBN 978-0-9957751-2-1
  • Linß, S., Gräser, P., Räder, T., Henning, S., Theska, R., Zentner, L.: Influence of geometric scaling on the elasto-kinematic properties of flexure hinges and compliant mechanisms, Mechanism and Machine Theory, 125C, 220–239, 2018 – DOI: 10.1016/j.mechmachtheory.2018.03.008
  • Henning, S., Linß, S., Zentner, L.: Numerical Calculation of Compliant Four-bar Mechanisms with Flexure Hinges, In: Proceedings of the 4th International Conference Mechanical Engineering in XXI Century, Niš, Serbia, April 19-20, S. 267–279, 2018 – ISBN 978-86-6055-103-2
  • Theska, R., Zentner, L., Fröhlich, T., Weber, C., Manske, E., Linß, S., Gräser, P., Harfensteller, F., Darnieder, M., Kühnel, M.: State of the Art Precision Motion Systems Based on Compliant Mechanisms, In: Proceedings of the 4th International Conference Mechanical Engineering in XXI Century, Niš, Serbia, April 19-20, S. 3–8, 2018 – ISBN 978-86-6055-103-2
  • Henning, S.; Linß, S.; Schorr, P.; Zentner, L.: PC-Programm zur Analyse und Synthese von Festkörpergelenken mit unterschiedlichen Aussparungsgeometrien, In: Tagungsband Vierte IFToMM D-A-CH Konferenz 2018, Lausanne, Schweiz, 15.-16. Februar, 2018 – DOI: 10.17185/duepublico/45331
  • Schorr, P.; Linß, S.; Zentner, L.; Zimmermann, K.: Einfluss der Orientierung von Festkörpergelenken auf die elasto-kinematischen Eigenschaften, In: Tagungsband Vierte IFToMM D-A-CH Konferenz 2018, Lausanne, Schweiz, 15.-16. Februar, 2018 – DOI: 10.17185/duepublico/45330

Veröffentlichungen (2014-2017)

  • Linß, S.; Schorr, P.; Henning, S.; Zentner, L.: Contour-independent design equations for the calculation of the rotational properties of commonly used and polynomial flexure hinges. In: Proceedings of the 59th IWK, September 11th – 15th, Ilmenau Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany, 2017URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2017iwk-001:5
  • Gräser, P.; Linß, S.; Zentner, L.; Theska, R.: On the influence of the flexure hinge orientation in planar compliant mechanisms for ultra-precision applications. In: Proceedings of the 59th IWK, September 11th – 15th, Ilmenau Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany, 2017URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2017iwk-090:9
  • Linß, S., Schorr, P., Zentner, L.: General design equations for the rotational stiffness, maximal angular deflection and rotational precision of various notch flexure hinges. Mechanical Sciences. 8, 2017, S. 29–49 – DOI: 10.5194/ms-8-29-2017
  • Gräser, P; Linß, S; Harfensteller, F.; Zentner, L; Theska, R: Large stroke ultra-precision planar stage based on compliant mechanisms with polynomial flexure hinge design. In: 17th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen), May 29th - June 2nd 2017. Hannover, Germany, 2017, S. 107-108 – ISBN 978-0-9957751-0-7
  • Gräser, P.; Linß, S.; Zentner, L.; Theska, R.: Design and Experimental Characterization of a Flexure Hinge-Based Parallel Four-Bar Mechanism for Precision Guides. In: Microactuators and Micromechanisms. Mechanisms and Machine Science 45, Springer International Publishing, Cham, 2017, S. 139-152 – DOI: 10.1007/978-3-319-45387-3_13
  • Gräser, P; Linß, S; Zentner, L; Theska, R: Increasing the stroke of an ultra-precise compliant mechanism with optimised flexure hinge contours. In: 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen), May 30th - June 3rd 2016. Nottingham, UK, 2016, S. 487-488 – ISBN 978-0-9566790-8-6
  • Gräser, P.; Linß, S.; Zentner, L.; Theska, R.: Synthese und Untersuchung eines nachgiebigen Koppelmechanismus für Präzisionsführungen. In: Tagungsband Zweite IFToMM D-A-CH Conference 2016, 25. - 26. Februar 2016, Innsbruck. Universität Innsbruck, 2016, insges. 8 S.
  • Linß, S.; Milojević, A.; Pavlović, N. D.; Zentner, L.: Synthesis of Compliant Mechanisms based on Goal-Oriented Design Guidelines for Prismatic Flexure Hinges with Polynomial Contours. In: The 14th IFToMM World Congress: Taipei, Taiwan, October 25-30, 2015, 6 S. – DOI: 10.6567/IFToMM.14TH.WC.PS10.008
  • Linß, S.; Zentner, L.: FEM-Based Analysis of the Influence of Notch Contour and Scale on Flexure Hinge Design Goals. In: The 3rd International Conference Mechanical Engineering in XXI Century: Proceedings: 17. - 18. September 2015. Niš, Serbia, 2015, S. 283-286 – ISBN 978-86-6055-072-1
  • Linß, S.: Ein Beitrag zur geometrischen Gestaltung und Optimierung prismatischer Festkörpergelenke in nachgiebigen Koppelmechanismen, Ilmenau : Univ.-Verl. Ilmenau, zugl. Diss., Ilmenau, Techn. Univ., 2015 – URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2015000283
  • Gräser, P.; Linß, S.; Zentner, L.; Theska, R.: Ultra-precise linear motion generated by means of compliant mechanisms. In: 15th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen), 1 - 5 June 2015. Leuven, Belgium, 2015, S. 241-242 – ISBN 978-0-9566790-7-9
  • Linß, S.; Opfermann, R.; Gräser, P.; Theska, R.; Zentner, L.: Nachgiebige Koppelmechanismen mit optimierten Festkörpergelenken für Präzisionsanwendungen. In: Tagungsband First IFToMM D-A-CH Conference 2015, 11. März 2015, Dortmund. Universität Duisburg-Essen, 2015, S. 79-85 – DOI: 10.17185/duepublico/37267
  • Linß, S.; Milojević, A.; Zentner, L.: Considering the Design of the Flexure Hinge Contour for the Synthesis of Compliant Linkage Mechanisms. In: Shaping the future by engineering: 58th IWK, 8 - 12 September 2014; Proceedings. Ilmenau: Univ.-Bibliothek, ilmedia, 2014 – URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014iwk-033:4

Projektlaufzeit

01/2018 - 03/2021

1. Projektphase (2014-2017)

  • Analyse, Optimierung und Synthese von nachgiebigen Koppelmechanismen für Ultrapräzisionsanwendungen

Förderung