Jun.-Prof. Dr. Thomas Kissinger
Leiter des Fachgebiets Nanofabrikations- und Nanomesstechnik
69 5055
Projektlaufzeit: 01.10.2025 -30.09.2028
Projektleiter: Jun.-Prof. Dr. Thomas Kissinger
Förderprogramm: FTI-Thüringen TECHNOLOGIE: Thüringen Verbund
Förderkennzeichen: 2025 VFE 0048
Interferometrischen Messverfahren kommt eine große Bedeutung in der dimensionellen Messtechnik zu. Gestiegene Genauigkeitsanforderungen, die zunehmende Komplexität der meist mehrachsigen Interferometersysteme sowie gegenwärtige mit der Redefinifion des SI-Einheitensystems und den Innovationen im Bereich der Laserstabilisierung verbundenen metrologischen Entwicklungen stellen neue Ansprüche an die Flexibilität, die Ausgangsleistung sowie die Stabilität und Rückführbarkeit der diesen Messsystemen zugrundeliegenden Laserquellen. Die Realisierung modularer Lasersysteme auf Basis der Kopplung unabhängiger Laser vergleichbarer Wellenlänge mittels einer Phasenregelschleife (PLL) stellt einen geeigneten Ansatz dar diesen Herausforderungen begegnen zu können. Das Ziel des Projektvorhabens besteht somit in der Entwicklung von PLL-gekoppelten Laserquellen auf Basis eines neuartigen, modularen, FPGA-basierten Regelkonzeptes, welches die Vorteile variabler Trägerfrequenzen mit dem Potential externer Referenziermöglichkeiten zur Absolutstabilisierung der Laserfrequenz verbindet. Mit diesem Ansatz soll zum einen der Markt für die in der Längenmesstechnik bewährte 633 nm-Technologie gestärkt sowie die vielen Vorteile der 1,5 um-Technologie weiter vorangetrieben werden, um insbesondere zukünftige Entwicklungen, wie die Anbindung interferometrischer Messysteme an über Fasernetzwerke verteilte Frequenzstandards adressieren zu können.

