Wachstum und (in situ) Charakterisierung von Gruppe-III-Nitriden

Die Herstellung und die Charakterisierung von Nitriden wird in unserem Fachgebiet hauptsächlich durch die Anwendung von Molekular-Strahl-Epitaxie und Photoelektronenspektroskopie umgesetzt. Dabei ist das Ziel eines Unterprojekts die Entwicklung,Herstellung und Analyse der magnetoelektrischen Komposite, und insbesondere die Untersuchung der mikrostrukturellen, magnetischen und elektrischen Schichteigenschaften in Anhängigkeit von den Depositions- und Nachbehandlungsparametern. Eng damit verknüpft ist die Entwicklung integrierter und resonanter Mikrostrukturen auf Basis magnetoelektrischer Komposite für die Messung schwächster (z.B. bio-) magnetischer Felder bei Raumtemperatur.

Ansprechpartner: Dr. Katja Tonisch und Dr. Bernd Hähnlein

 

Abgeschlossene Projekte

Forschergruppe MagSens (2018 - 2020)

Ultrasensitive Magnetfeldsensorik mit resonanten magneto-elektrischen MEMS

Das Ziel der Forschergruppe MagSens war die Entwicklung integrierter und resonanter Mikrostrukturen auf Basis magnetoelektrischer Komposite für die Messung schwächster (z.B. bio-) magnetischer Felder bei Raumtemperatur.  Das Forschungsvorhaben umfasste daher ein grundlegendes Verständnis der design-relevanten Eigenschaften und ihrer Abhängigkeiten, die Fähigkeit der Simulation und Voraussage der Performanz, die Bereitstellung der technologischen Basis inklusive Layout, technologischer Ablauf, Einstellung und Analyse der Schicht-charakteristika (insbesondere mit Bezug auf Deposition und Nachbehandlung), sowie messtechnische Aspekte in Bezug auf Validierung des Sensorsystems.

Laufzeit: 01.01.2018 - 31.12.2020

Die Forschergruppe MagSens wurde gefördert vom Freistaat Thüringen aus den Mitteln des Europäischen Sozialfonds.

FGR MagSens | Technische Universität Ilmenau (tu-ilmenau.de)