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Ansprechpartner

Univ.-Prof. Dr. Peter Schaaf

Fachgebietsleiter

Telefon +49 3677 69-3610

E-Mail senden

INHALTE

Prof. Dr.-Ing. habil. Lothar Spieß

Meitnerbau

Gustav-Kirchhoff-Str. 5
98693 Ilmenau

Raum 1.2.111

Telefon:   +49 3677 69-3134
Fax:        +49 3677 69-3171

lothar.spiess(at)tu-ilmenau.de

Lebenslauf

  • Geboren 1956 in Merseburg, aufgewachsen in Bad Dürrenberg
  • Polytechnische Oberschule, Erweiterte Oberschule, 1975 Abitur
  • 18 Monate Armee
  • Studium 1977-1982 TH Ilmenau, Sektion Physik und Technik Elektronischer Bauelemente
  • 1982 Diplomarbeit
     "Probleme bei der Metallisierung von integrierten Schaltkreisen mit Schwermetallen (Mo, W)"
  • 1982-1984 Forschungsstudent
  • 1985 Dissertation
    "Zur Silicidproblematik in Metallisierungssystem für integrierte Schaltkreise der VLSI-Technik"
      Doktorvater Prof. Dr.-Ing. habil. Karl Nitzsche
  • 1989-1990 Gastwissenschaftleraufenthalt "Slowakische Technische Universität Bratislava"
  • 1990 Habilitation
    "Rechnerunterstützte komplexe Festkörperanalytik für Mikroelektronikwerkstoffe, insbesondere von Siliciden zur Metallisierung von höchstintegrierten Schaltkreisen"
  • 1995 Privatdozent "Werkstoffe der Mikroelektronik"
  • seit 1985 Laborleiter "Strukturanalyselabor"
  • Oktober 2005 neues Lehrbuch "Moderne Röntgenbeugung", 2. Auflage 12. März 2009
  • seit Juni 2007 apl. Professor
  • 09/2007-06/2008 Prüfungsausschußvorsitzender Studiengänge Werkstoffwissenschaft
  • 10/2007 -03/2008 Fachgebietsleiter Werkstoffe der Elektrotechnik
  • seit November 2007 wissenschaftlicher Leiter/Qualitätsmanagementbeauftragter Prüfzentrum "Schicht- und Materialeigenschaften" der MFPA-Weimar, Außenstelle Ilmenau
  • seit April 2015 Arbeitskreisleiter Thüringen der DGzfP

Arbeitsgebiete

 

  • Analyse von Schichten und Werkstoffen mit der/den
    • Röntgendiffraktometrie
    • Rasterkraft- und Rastertunnelmikroskopie
    • elektrischen Verfahren
    • Elektronenmikroskopie, ab August 2001 neues Labor mit Transmissionselektronenmikroskop TECNAI S20, GATAN GIF Filter, Präparationstechnik und ESEM REM XL 30
    • Elektronenstrahlmikroanalyse, ebenfalls neu ab August 2001 mit EDAX Röntgenanalyse für beide Geräte und TSL EBSD
    • RHEED
    • mechanischen Verfahren
  • Mitglied Deutsche Gesellschaft für zerstörungsfreie Werkstoffprüfung (DGzfP), seit Nov. 2009 stellv. Arbeitskreisleiter Fachausschuß "Materialcharakterisierung"
  • Mitglied Fachverband Strahlenschutz, Arbeitskreis Ausbildunng
  • natürlich auch ein "bischen" Computeranwendung (Statistik, Bildverarbeitung, TEX, Mitglied bei Dante und WWW-Seitengestaltung)

Bücher

Spieß, L.; Teichert, G.; Schwarzer, R.; Behnken, H.; Genzel, Ch.: Moderne Röntgenbeugung – Röntgendiffraktometrie für Materialwissenschaftler, Physiker und Chemiker. 3. bearbeitete und erweiterte Aufl. Wiesbaden: Springer Spektrum, 2019 – 635 S. – ISBN 978-3-8348-1219-3


Spiess, L.; Schaaf, P.; Rädlein, E.: Thüringer Werkstofftag 2010 - Vorträge und Poster. 1. Aufl. Universitätsverlag Ilmenau 2010 – 214 S. – ISBN 978-3–939473-74-9


Spieß, L.; Teichert, G.; Schwarzer, R.; Behnken, H.; Genzel, Ch.: Moderne Röntgenbeugung – Röntgendiffraktometrie für Materialwissenschaftler, Physiker und Chemiker. 2. bearbeitete und erweiterte Aufl. Wiesbaden: B. G. Teubner, 2009 – 564 S. – ISBN 978-3-8351-0166-1


Spieß, L.; Schwarzer, R.; Behnken, H.; Teichert, G.: Moderne Röntgenbeugung – Röntgendiffraktometrie für Materialwissenschaftler, Physiker und Chemiker. 1. Aufl. Wiesbaden: B.G. Teubner, 2005 – 523 S. – ISBN 3–519–00522


 

Spiess, L.; Kern, H.; Knedlik, C.: Thüringer Werkstofftag 2004 - Vorträge und Poster. 1. Aufl. Berlin: Dr. Köster Verlag, 2004 – 230 S. – ISBN 3–89574–519–7


Moderne Röntgenbeigung

Die 3. verbesserte und erweiterte Auflage ist am; 02.05.2019 im Springer-Spektrum Verlag erschienen!

635 Seiten einschließlich Lösung von 28 Aufgaben, 392 Abbildungen davon 77 in Farbe, 99 Tabellen, 286 Literaturstellen, ISBN: 978-3-8348-1219-5; Preis: 37,99 €

Röntgenbeugung in Theorie und Praxis: Das Praxislehrbuch für Studium und Beruf

Das Buch bietet einen umfassenden Überblick über die Anwendungen der Röntgenbeugung in Gebieten wie Werkstofftechnik, Metallurgie, Elektrotechnik, Maschinenbau sowie Mikro- und Nanotechnik. Die nötigen Grundkenntnisse der Röntgenbeugung werden fundiert und anschaulich vermittelt. Dabei werden neue Techniken und Auswerteverfahren ebenso dargestellt wie altbekannte Methoden.

Aus dem Inhalt:

  • Erzeugung und Eigenschaften von Röntgenstrahlung
  • Beugung von Röntgenstrahlung
  • Hardware für die Röntgenbeugung
  • Methoden der Röntgenbeugung
  • Zellparameterbestimmung
  • Qualitative und quantitative Phasenanalyse
  • Röntgenprofilanalyse, Fundamentalparameteranalye
  • Kristallstrukturanalyse
  • Röntgenografische Spannungsanalyse
  • Röntgenografische Texturanalyse
  • Kristallorientierungsbestimmung
  • Besonderheiten bei dünnen Schichten
  • Spezielle Verfahren (Energiedispersive Analyse, Synchrotron, Kikuchi- und Kosseltechnik)
  • Komplexe Anwendung 

Zielgruppe:

Studierende der Materialwissenschaften, Physik und Chemie an Universitäten, Hochschulen und Fachschulen, Anwender in der Industrie

Flyer und erste Korrekturseiten 


Die Autoren:

 Prof. Dr. Lothar Spieß, TU Ilmenau; Dr. Gerd Teichert, MFPA Weimar; Prof. Dr. Robert Schwarzer, TU Claustahl; Dr. Herfried Behnken, Access e.V. Aachen; Prof. Dr. Christoph Genzel, Helmholtz-Zentrum Berlin


Springer Fachmedien GmbH, Abraham-Lincoln-Str. 46,65189 Wiesbaden;

 Buchlink bei Springer oder bei Amazon


 

 

 

Veröffentlichungslisten

2013

Spieß, L.  --> um Tabellen erweiterte Fassung gegenüber Originalabdruck

Strahlungsanwendung in der Technik;  und Vorschläge zur Neugliederung der Fachkunderichtlinie für Technik; StrahlenschutzPRAXIS; vol. 19/2013, Heft 1; S.34 - 37 und S. 85 - 87 


Hotovy, J; Hupkes, J.; Bottler, W.; Marins, E.; Spiess, L.; Kups, T.; Smirnov, V.; Hotovy, I.; Kovac, J.

Sputtered ITO for application in thin-film silicon solar cells: Relationship between structural and electrical properties; Applied Surface Science; 269(2013); p 81-87; http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2012.10.180 


 


 

2009 - 2012

2012


Spieß, L.; Wilke, M; Kais, A.; Teichert, G.

Materialcharakterisierung an Messing-Legierungen, Computertomographie zur Gefügebeurteilung; DGZFP-Jahrestagung 2012, Graz, Poster, Tagungsband


Spieß, L.; Weidauer, U.; Kais, A.; Teichert, G.

Zerstörungsfreie Materialuntersuchungen an einem Pferdemaulkorb aus dem Jahr 1597 aus dem Angermuseum Erfurt; DGZFP-Jahrestagung 2012, Graz, Plenarvortrag, Tagungsband


Morgenbrodt, Sören; Spieß, Lothar; Teichert, Gerd; Bamberger, Menachem; Schaaf, Peter
Vergleichende Untersuchungen zur Bestimmung des Austenitgehalts austenitisch-ferritischen Gusseisens mit Kugelgraphit (ADI). - In: HTM - journal of heat treatment and materials. - München : Hanser, ISSN 0341101x, Bd. 67 (2012), 6, S. 393-401


Predanocy, Martin; Hotovy, Ivan; Kosc, Ivan; Rehacek, Vlastimil; Kostic, Ivan; Spieß, Lothar
Simulation, development and characterization of platinum microheater on polyimide membrane. - In: 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop / Micromechanics and Microsystems Europe Workshop ; 23 (Ilmenau) : 2012.09.09-12. - Ilmenau : Verl. ISLE (2012), insges. 4 S.


Zimmermann, Stefan; Specht, U.; Spieß, Lothar; Romanus, Henry; Krischok, Stefan; Himmerlich, Marcel; Ihde, Jörg
Improved adhesion at titanium surfaces via laser-induced surface oxidation and roughening. - In: Materials science & engineering. - Amsterdam : Elsevier, Bd. 558 (2012), S. 755-760
http://dx.doi.org/10.1016/j.msea.2012.08.101


Rehacek, Vlastimil; Hotovy, Ivan; Vojs, Marian; Kups, Thomas; Spieß, Lothar
Nafion-coated bismuth film electrodes on pyrolyzed photoresist/alumina supports for analysis of trace heavy metals. - In: Electrochimica acta. - New York, NY [u.a.] : Elsevier, ISSN 00134686, Bd. 63 (2012), S. 192-196
http://dx.doi.org/10.1016/j.electacta.2011.12.075

2011


Kosc, Ivan; Hotovy, Ivan; Grieseler, Rolf; Rehacek, Vlastimil; Wilke, Markus; Spiess, Lothar
Thin compound oxide films based on NiO and TiO 2 for gas detection. - In: Proceedings of the 17th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter, APCOM 2011, June 22 - 24, 2011, Spa Nový Smokovec, High Tatras, Slovak Republic / APCOM 2011 ; 17 (Spa Nový Smokovec) : 2011.06.22-24. - Žilina : Univ. (2011), S. 268-271


Spieß, Lothar; Morgenbrodt, Sören; Teichert, Gerd; Schaaf, Peter
Restaustenitbestimmung-vergleichende Untersuchung mit zerstörungsfreien Messmethoden. - In: DGZfP-Jahrestagung 2011 Zerstörungsfreie Materialprüfung / Jahrestagung Zerstörungsfreie Materialprüfung ; 2011 (Bremen) : 2011.05.30-06.01. - Berlin : DGZfP (2011), insges. 7 S.


Spieß, Lothar; Grieseler, Rolf; Wilke, Markus; Teichert, Gerd; Schaaf, Peter
Bestimmung von Werkstoffkenngrößen mittels der instrumentierten Eindringhärteprüfung. - In: DGZfP-Jahrestagung 2011 Zerstörungsfreie Materialprüfung / Jahrestagung Zerstörungsfreie Materialprüfung ; 2011 (Bremen) : 2011.05.30-06.01. - Berlin : DGZfP (2011), insges. 5 S.


Reháček, Vlastimil; Hotový, Ivan; Vojs, Marian; Kotlár, Mário; Kups, Thomas; Spieß, Lothar
Pyrolyzed photoresist film electrodes for application in electroanalysis. - In: Journal of electrical engineering. - Bratislava, ISSN 0013578X, Bd. 62 (2011), 1, S. 49-53


Schaaf, Peter; Spieß, Lothar; Kups, Thomas; Romanus, Henry; Grieseler, Rolf; Hopfeld, Marcus; Wilke, Marcus; Stauden, Thomas; Lorenz, David; Fischer, Andreas
Schichten über Schichten : innovative Beschichtungen für komplexe Anwendungen. - In: Vakuum in Forschung und Praxis. - Weinheim : Wiley-VCH, ISSN 15222454, Bd. 23 (2011), 3, S. 24-32
http://dx.doi.org/10.1002/vipr.201100457


Teichert, Gerd; Wilke, Marcus; Spieß, Lothar; Schaaf, Peter
Komplexe Materialprüfung und Schadensanalyse - Praxisbeispiele aus dem Ofenbau-, Beschichtungs- und Automobilbereich. - In: Materials testing. - München : Hanser, ISSN 00255300, Bd. 53 (2011), 3, S. 150-158


2010


Tvaroézek, Vladimír; Novotny, I.; Sutta, P.; Netrvalova, M.; Flickyngerova, S.; Spieß , Lothar; Schaaf, Peter
Sputtering of ZnO:Ga thin films with the inclined crystalic texture. - In: 2010 27th International Conference on Microelectronics proceedings (MIEL) / International Conference on Microelectronics ; 27 (Nis) : 2010.05.16-19. - Piscataway, NJ : IEEE (2010), S. 177-180
http://dx.doi.org/10.1109/MIEL.2010.5490506


Hotovy, Ivan; Pezoldt, Jörg; Kadlecikova, M.; Kups, Thomas; Spieß, Lothar; Breza, Juraj; Sakalauskas, Egidius; Goldhahn, Rüdiger; Rehacek, Vlastimil: Structural characterization of sputtered indium oxide films deposited at room temperature. - In: Thin solid films. - Amsterdam [u.a.] : Elsevier, ISSN 00406090 (2010), 16, S. 4508-451,

http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2009.12.018


Spieß, Lothar; Kups, Thomas; Hotovy, Ivan; Rehacek, Vlastimil; Wilke, Marcus: Struktur und Oberflächenmorphologie von gesputterten TiO2-Schichten. - In: Thüringer Werkstofftag 2010 / Thüringer Werkstofftag ; (Ilmenau) : 2010.03.24. - Ilmenau : Univ.-Verl. Ilmenau (2010), S. 121-126

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197


Spieß, Lothar; Westphal, Hartmut; Tümmler, Michael; Schmidt, Denny; Wilke, Marcus; Kups, Thomas: Schichteigenschaftsbestimmung an Hartmetallen. - In: Thüringer Werkstofftag 2010 / Thüringer Werkstofftag ; (Ilmenau) : 2010.03.24. - Ilmenau : Univ.-Verl. Ilmenau (2010), S. 127-132,

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197


Hofmann, Martin; Teichert, Gerd; Spieß, Lothar:Darstellung der Eigenschaftsverteilung in einer einsatzgehärteten Randschicht mit verschiedenen Methoden. - In: Thüringer Werkstofftag 2010 / Thüringer Werkstofftag ; (Ilmenau) : 2010.03.24. - Ilmenau : Univ.-Verl. Ilmenau (2010), S. 133-138

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197


Grieseler, Rolf; Romanus, Henry; Schaaf, Peter; Remdt, Elvira; Spieß, Lothar:Untersuchung zur Phasenausbildung von Platinsiliziden mittels PVD und unterschiedlicher Temperprozesse. - In: Thüringer Werkstofftag 2010 / Thüringer Werkstofftag ; (Ilmenau) : 2010.03.24. - Ilmenau : Univ.-Verl. Ilmenau (2010), S. 149-154

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197


Kups, Thomas; Knote, Andreas; Kern, Heinrich; Remdt, Elvira; Spieß, Lothar: Structural characterization of metal-ceramic coatings by electron microscopy. - In: Thüringer Werkstofftag 2010 / Thüringer Werkstofftag ; (Ilmenau) : 2010.03.24. - Ilmenau : Univ.-Verl. Ilmenau (2010), S. 189-194

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197


Thüringer Werkstofftag 2010 : Technische Universität Ilmenau, 24. März 2010 ; wissenschaftliche Beiträge / hrsg. von Lothar Spieß; Edda Rädlein und Peter Schaaf. - Ilmenau : Univ.-Verl. Ilmenau, 2010. - IX, 214 S.. - (Werkstofftechnik aktuell ; 2). - ISBN 978-3-939473-74-9, Literaturangaben

http://www.gbv.de/dms/ilmenau/toc/622643762.PDF


Shokhovets, Sviatoslav; Spieß, Lothar; Gobsch, Gerhard: Spectroscopic ellipsometry of wurtzite ZnO and GaN: examination of a special case. - In: Journal of applied physics. - Melville, NY : American Institute of Physics, ISSN 10897550, Bd. 107 (2010), 2, S. 023509, insges. 10 S.

http://dx.doi.org/10.1063/1.3285485 


2009


Hotovy, Ivan; Tengeri, David; Rehacek, Vlastimil; Hascik, Stefan; Pullmannova, Andrea; Kosc, Ivan; Kups, Thomas; Spieß, Lothar: Gas sensing micromachined structure based on gallium arsenide. - In: Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future / Internationales Wissenschaftliches Kolloquium. Technische Universität Ilmenau, Faculty of Electrical Engineering and Information Technology ; 54 (Ilmenau) : 2009.09.07-10. - Ilmenau : Verl. ISLE (2009), insges. 8 S.

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=14796


Hotovy, Ivan; Predanocy, Martin; Hotovy, Juraj; Pezoldt, Jörg; Wilke, Marcus; Kups, Thomas; Kosc, Ivan; Rehacek, Vlastimil; Spieß, Lothar: Nanostructured indium oxide thin films deposited at room temperature. - In: Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future / Internationales Wissenschaftliches Kolloquium. Technische Universität Ilmenau, Faculty of Electrical Engineering and Information Technology ; 54 (Ilmenau) : 2009.09.07-10. - Ilmenau : Verl. ISLE (2009), insges. 4 S.

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=14795


Rehacek, Vlastimil; Hotovy, Ivan; Vojs, Marian; Kups, Thomas; Spieß, Lothar: An effect of bismuth film electroplating variables on electrode performance in electroanalysis. - In: Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future / Internationales Wissenschaftliches Kolloquium. Technische Universität Ilmenau, Faculty of Electrical Engineering and Information Technology ; 54 (Ilmenau) : 2009.09.07-10. - Ilmenau : Verl. ISLE (2009), insges. 7 S.

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=14793


Kups, Thomas; Knote, Andreas; Krüger, Horst-Günter; Winkler, Heinz-Volker; Kern, Heinrich; Spieß, Lothar: Herstellung und komplexe Charakterisierung von Metall-Keramik-Verbundschichten. - In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. - Weinheim : Wiley-VCH, ISSN 15214052, Bd. 40 (2009), 12, S. 894-900

http://dx.doi.org/10.1002/mawe.200900535


Hotovy, Ivan; Pullmannová, Andrea; Predanocy, Martin; Hotový, Juraj; Rehacek, Vlastimil; Kups, Thomas; Spieß, Lothar: Structural and morphological investigations of TiO2 sputtered thin films. - In: Journal of electrical engineering. - Bratislava, ISSN 0013578X, Bd. 60 (2009), 6, S. 354-357


Liu, Yonghe; Gubisch, Maik; Spieß, Lothar; Schäfer, Jürgen A.: Sliding friction of nanocomposite WC1-x/C coatings: transfer film and its influence on tribology. - In: Journal of nanoscience and nanotechnology. - Stevenson Ranch, Calif. : American Scientific Publ., ISSN 15334880 (2009), 6, S. 3499-3505

http://dx.doi.org/10.1166/jnn.2009.NS23


Spieß, Lothar: Moderne Röntgenbeugung : Röntgendiffraktometrie für Materialwissenschaftler, Physiker und Chemiker. - 2., überarb. und erw. Aufl.. - Wiesbaden : Vieweg + Teubner, 2009. - XIV, 564 S.. - (Studium). - ISBN 978-3-8351-0166-1, Literaturverz. S. [543] - 554

http://www.gbv.de/dms/ilmenau/toc/570038170.PDF


 

2005 - 2008

2008

 


Kups, Thomas; Knote, Andreas; Spieß, Lothar: SEM and TEM investigations of electrophoretical deposited Si3N4 and SiC particles in siloxane of steel substrate. - In: Materials science / European Microscopy Congress ; 14 (Aachen) : 2008.09.01-05. - Berlin [u.a.] : Springer (2008), S. 695-696


Kups, Thomas; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin; Spieß, Lothar: Surface investigation of SU-8 by atomic force and scanning electron microscopy. - In: Materials science / European Microscopy Congress ; 14 (Aachen) : 2008.09.01-05. - Berlin [u.a.] : Springer (2008), S. 693-694


Hotovy, Juraj; Kups, Thomas; Kovac, Jaroslav; Spieß, Lothar; Novotny, Ivan; Kovac, Jaroslav: Growth and characterization of ZnO thin films using XRD and AFM. - In: Portrait - Faculty of Mechanical Engineering / Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, IWK. Technische Universität Ilmenau ; 53 (Ilmenau) : 2008.09.8-12. - Ilmenau : Techn. Univ. (2008), insges. 10 S.


Hotovy, Ivan; Predanocy, Martin; Hotovy, Juraj; Kups, Thomas; Spieß, Lothar; Wang, Chunyu; Rehacek, Vlastimil: Growth and characterization of indium oxide films for ozone detection. - In: Portrait - Faculty of Mechanical Engineering / Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, IWK. Technische Universität Ilmenau ; 53 (Ilmenau) : 2008.09.8-12. - Ilmenau : Techn. Univ. (2008), insges. 11 S.


 2007


Hotovy, I.; Liday, J.; Spiess, L.; Romanus, H.; Caploviova, M.; Buc, D.; Sitter, H.; Bonanni, A.; Vogrincic, P.: TEM investigations of Au-NiO nanocrystalline thin films as gas sensing materials.In: J. Elec. Eng. 58 (2007), Nr. 6, S. 347–350


Knote, A.; Krüger, H. G.; Selve, S.; Kups, T.; Kern, H.; Spiess, L.:Metal-ceramic composite layers on stainless steel through the combination of electrophoretic deposition and galvanic processes. In: J. Materials Sci. 42 (2007), Nr. 12, S. 4545–4551


Blank, C.; Krischok, S.; Gutt, R.; Engel, M.; Schäfer, J.; Schawohl, J.; Spieß, L.; u.a.: Ionenimplantierte Titanoberflächen für den Hartgewebeersatz. In: Biomaterialien 8 (2007), Nr. 4, S. 285–292


Kups, T.; Wang, C. Y.; Gubisch, M.; Spieß, L.; Ambacher, O.: TEM investigation of sputtered and epitaxial grown indium oxide layers for ozone sensors.In: Microscopy and Microanalysis 13 (2007), Nr. 3


Cimalla, V.; Machleidt, T.; Spieß, L.; Gubisch, M.; Hotovy, I.; Romanus, H.; Ambacher, O.: Analysis of nanocrystalline films on rough substrates.In: Ultramicroscopy 107 (2007), Nr. 10-11, S. 989 – 994


Romanus, H.; Schadewald, J.; Cimalla, V.; Niebelschütz, M.; Machleidt, T.; Franke, K.; Spiess, L.; Ambacher, O.: Markers prepared by focus ion beam technique for nanopositioning procedures.In: Microelectron. Eng. 84 (2007), Nr. 3, S. 524 – 527


Romanus, H.; Schadewald, J.; Cimalla, V.; Niebelschütz, M.; Machleidt, T.; Franke, K.; Spiess, L.; Ambacher, O.:Preparation of defined structures on very thin foils for characterization of AFM probes. In: Microelectron. Eng. 84 (2007), Nr. 3, S. 528 – 531


Krischok, S.; Blank, C.; Engel, M.; Gutt, R.; Ecke, G.; Schawohl, J.; Spieß, L.; Schrempel, F.; Liefeith, K.; Hildebrand, G.:Influence of ion implantation on titanium surfaces for medical applications.In: Surf. Sci. 601 (2007), Nr. 18, S. 3856 – 3860


Hotovy, I.; Huran, J.; Spiess, L.; Romanus, H.; Capone, S.; Rehacek, V.; Tourino, A. M.; Donoval, D.; Siciliano, P.: Au-NiO nanocrystalline thin films for sensor application. In: J. Phys.: Conf. Series 61 (2007), S. 435 – 439


2006


Selve, S.; Knote, A.; Kups, T.; Krüger, H.; Spieß, L.; Kern, H.: Solid state physical analysis of nanoscale fuctional ceramic composite layers. In: 51th international scientific colloquium Technical University Ilmenau (2006), S. 329–330


Hotovy, I.; Lalinsky, T.; Rehacek, V.; Spiess, L.; Gubisch, M.; Hascik, S.: Fabrication and characterisation of microheater on GaAs for a gas sensor. In: 51th international scientific colloquium Technical University Ilmenau (2006), S. 269–270


Flickyngerova, S.; Novotny, I.; Tvarozek, V.; Nigrovicova, M.; Satka, A.; Kovac, J.; Sutta, P.; Breternitz, V.; Spiess, L.; Knedlik, C.: Zinc Oxide - Unique Material for Micro-/Nanotechnology. In: 51th international scientific colloquium Technical Universiy Ilmenau (2006), S. 309–310


Hotovy, I.; Lalinsky, T.; Rehacek, V.; Spiess, L.; Gubisch, M.; Hascik, S.; Rehakova, A.: Fabrication and characterisation of a microheater on GaAs for gas sensors. In: 51th international scientific colloquium Technical University Ilmenau (2006), S. 269–270


Rehacek, V.; Hotovy, I.; Spiess, L.; Gubisch, M.: Determination of Trace Heavy Metals by Anodic Stripping Voltametry at Mercury-plated Silicon Microelectrodes. In: 51th international scientific colloquium Technical (2006), S. 271–272


Hotovy, I.; Donoval, D.; Huran, J.; Hascik, S.; Spiess, L.; Gubisch, M.; Capone, S.:NiO nanostructured films with Pt coating prepared by magnetron sputtering. In: Czech. J. Phys. 56 (2006), Nr. supp. B, S. B1192–B1198


Liu, Y.; Gubisch, M.; Haensel, T.; Spies, L.; Schaefer, J. A.: Evaluation of the friction of WC/DLC solid lubricating films in vacuum. In: Tribology International 39 (2006), S. 1584–1590


Hotovy, I.; Huran, J.; Spiess, L.; Romanus, H.; Buc, D.; Kosiba, R.: NiO-based nanostructured thin films with Pt surface modification for gas detection. In: Thin Sol. Films 515 (2006), S. 658–661


2005

 


Gupta, V.; Scharff, P.; Carta-Abelmann, L.; Spiess, L.: C60 Intercalated Graphite: A new Form of Carbon. In: Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 13 (2005), S. 427 - 430


Gubisch, M.; Liu, Y.; Spiess, L.; Romanus, H.; Krischok, S.; Ecke, G.; Schaefer, J. A.; Knedlik, C.: Nanoscale multilayer WC/C coatings developed for nanopositioning: Part I. Microstructures and mechanical properties. In: Thin Solid Films 488 (2005); S. 140 - 148


Liu, Y.; Gubisch, M.; Hild, W.; Scherge, M.; Spiess, L.; Knedlik, C.; Schaefer, J. A.: Nanoscale multilayer WC/C coatings developed for nanopositioning: Part II. Friction and wear. In: Thin Solid Films 488 (2005), S. 140–148


Selve, S.; Knote, A.; Kups, T.; Krüger, H.; Kern, H.; Spiess, L.: SEM/TEM investigations of Nickel filled ceramic layers. In: Microscopy Conference 6. Dreiländertagung Davos (2005), S. 313


Gubisch, M.; Kups, T.; Romanus, H.; Spiess, L.: SEM/TEM investigations of Tungsten/Tungsten-Carbide/Carbon and MoS2 multilayers/nanocomposites. In: Microscopy Conference 6. Dreiländertagung Davos (2005), S. 271


Weih, P.; Romanus, H.; Stauden, T.; Spieß, L.; Ambacher, O.; Pezoldt, J.: Growth of 3C-(Si1−xC1−y)Gex+y Layers on 4H-SiC by Molecular Beam Epitaxy. In: Mater. Sci. Forum 483-485 (2005), S. 173–176


Gubisch, M.; Liu, Y.; Krischok, S.; Ecke, G.; Spieß, L.; Schaefer, J. A.; Knedlik, C.: Tribological characteristics of WC1−x, W2C and WC tungsten carbide films. In: Life cycle tribology, 31th Lyon-Leeds Symposium on tribology 48 (2005), S. 409–417


Gubisch, M.; Liu, Y.; Kups, T.; Romanus, H.; Spieß, L.; Schäfer, L.; Knedlik, C.: Entwicklung von nanoskaligen Wolframkarbid-Schichtsystemen für funktionelle Oberflächen einer NPM Maschines. In: 50th international scientific colloquium Technical University Ilmenau (2005), S. 35–36


Spieß, L.; Machleidt, T.; Cimalla, V.; Gubisch, M.; Ambacher, O.; Franke, K.: Development of a reference field for a NPM-machine. In: 50th internatonal scientific colloquium Technical University Ilmenau (2005), S. 45–46


Spiess, L.; Gubisch, M.; Schawohl, J.; Hotovy, I.; Huran, J.: Hydrogen microsensors based on NiO modified films. In: 50th international scientific colloquium Technical University Ilmenau (2005), S. 193–194


Spieß, L.; Teichert, G.; J. Westphal, H. S.: Röntgenografische Spannungsmessungen zur Beurteilung des Schneidverhaltens an beschichteten Hartmetallwerkzeugen. In: Thüringer Werkstofftag (2005), S. 112–118


Gubisch, M.; Romanus, H.; Spieß, L.; Knedlik, C.: Prozess, Mikrostruktur und Eigenschaften von dünnen Wolframkarbidschichten. In: Thüringer Werkstofftag (2005), S. 89–97


Hofmann, M.; Spiess, L.; Teichert, G.: Vergleichende Darstellung von Methoden zur Bewertung der Randentkohlung am Werkstoff 100Cr6. In: Thüringer Werkstofftag (2005), S. A1–A7


Romanus, H.; Frant, M.; Remdt, E.; Liefeith, K.; Spiess, L.: TEM investigations on biological samples / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’04. 2005. – Forschungsbericht – 106–107 S.


Spiess, L.; Romanus, H.; Schawohl, J.; Hotovy, I.; Rehacek, V.: Modified NiO-layers for gas sensing / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’04. 2005. – Forschungsbericht – 38–39 S.


Rehacek, V.; Gubisch, M.; Vitek, T.; Novotny, I.; Breternitz, V.; Spieß, L.; Tippmann, H.; Tvarozek, V.; Knedlik, C.: SEM and EDX Analysis of Thin-film ITO and Diamond Microelectrodes Modified by Mercury for Use in Electrochemical Microsensors / TU Ilmenau, ZMN Jahresbericht ’04. 2005. – Forschungsbericht – 32–33 S.


Gubisch, M.; Liu, Y.; Schwenke, B.; Spiess, L.; Krischock, S.; Ecke, G.; Schaefer, J.; Knedlik, C.: Tribological characteristics of tungsten carbide films / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’04. 2005. – Forschungsbericht – 40–41 S.


 


Kups, T.; Knote, A.; Selve, S.; Krüger, H.; Spieß, L.; Kern, H.: SEM/TEM Investigation of Ceramic Layers / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’04. 2005. – Forschungsbericht – 108–109 S.


Liu, Y.; Gubisch, M.; Himmerlich, M.; Krischok, S.; Spiess, L.; Scherge, M.; Schaefer, J.: Dry Sliding of Copper: The Influence of Adsorption / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’04. 2005. – Forschungsbericht – 110–111 S.


Schober, A.; Kittler, G.; Buchheim, C.; Ali, M.; Cimalla, V.; Fischer, M.; Yanev, V.; Himmerlich, M.; Krischok, S.; Schaefer, J. A.; Romanus, H.; Sändig, T.; Burgold, J.; Weise, F.; Wurmus, H.; Drüe, K. H.; Hintz, M.; Thust, H.; Kittler, M.; Manske, E.; Mastylo, R.; Jäger, G.; Knedlik, C.; Winkler, G.; Kern, H.; Hoffmann, R.; Spiess, L.; Ambacher, O.: Practise of new Sensors and Pipettors for Biotechnological Applications / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’04. 2005. – Forschungsbericht – 96–97 S.

2000 - 2004


2004


Hildebrand, G.; Liefeith, K.; Strietzel, R.; Spieß, L.: Vergleichende oberflächenanalytische und korrosionschemische Untersuchungen zum Einfluss eines keramischen Brennzyklus auf eine biozertifizierte PdCuGa-Aufbrennkeramiklegierung. In: Thüringer WerkstofftagHotovy, I.; Kremmer, J.; Huran, J.; Siciliano, P.; Capone, S.; Spiess, L.: Characterization and gas sensing properties og NiO thin films. In: Proc. of the 8th Italian Conference Sensors Procedings of the 8th Italian Conference Sensors and Microsystems (2003), S. 185–190



Romanus, H.; Spiess, L.; Knedlik, C.; Lindner, J. N.: Definierte Präparation von hexagonalem WSi2 und Wolframsilizidmetallisierungen mit einstellbarem Temperaturkoeffizient der elektrischen Leitfähigkeit. In: Thüringer Werkstofftag 18 (2004), S. 119–124


Gubisch, M.; Liu, Y.; Spiess, L.; Romanus, H.; Knedlik, C.: Nanoschichten für die Nanopositionierung. In: Thüringer Werkstofftag 18 (2004), S. 131–136


Wagner, R.; Cimalla, V.; Cimalla, I.; Ecke, G.; Ambacher, O.; Romanus, H.; Spieß, L.; Butcher, K. S.; Lu, H.; Schaff, W.: On the difference between polycrystalline and epitaxial InN. In: EMRS 2004, abstract, to be published (2004)


Cimalla, V.; Spiess, L.; Gubisch, M.; Hotovy, I.; Romanus, H.; Ambacher, O.: Analyse nanokristalliner Schichten auf rauen Substraten. In: Thüringer Werkstofftag 18 (2004), S. 177–183


Fröhlich, T.; Scharff, P.; Schliefke, W.; Romanus, H.; Gupta, V.; Siegmund, C.; Ambacher, O.; Spiess, L.: Insertion of C60 into multi-wall carbon nanotubes - a synthesis of C60@MWCNT. In: Carbon 42 (2004), Nr. 12-13, S. 2759–2762


Cimalla, V.; Spiess, L.; Romanus, H.; Ambacher, O.: Lateralkraftmikroskopie an elektrischen Kontakten. In: Thüringer Werkstofftag 18 (2004), S. 203–211


Weih, P.; Cimalla, V.; Stauden, T.; Kosiba, R.; Spieß, L.; Romanus, H.; Gubisch, M.; Bock, W.; Freitag, T.; Fricke, P.; Ambacher, O.; Pezoldt, J.: Structure and composition of 3C-SiC:Ge alloys grown on Si (111) substrates by SSMBE. In: Mater. Sci. Forum 457-460 (2004), Nr. 1-2, S. 293–296


Weih, P.; Cimalla, V.; Stauden, T.; Kosiba, R.; Ecke, G.; Spiess, L.; Romanus, H.; Gubisch, M.; Bock, W.; Freitag, T.; Fricke, P.; Ambacher, O.; Pezoldt, J.: 3C-SiC:Ge alloy grown on Si(111) substrates by SSMBE. In: Phys. Stat. Sol. C 1 (2004), S. 347–350


Cui, S.; Scharff, P.; Siegmund, C.; Schneider, D.; Risch, K.; Klötzer, S.; Spiess, L.; Romanus, H.; Schawohl, J.: Investigation on preparation of multiwalled carbon nanotubes by DC arc discharge under N2 atmosphere. In: Carbon 42 (2004), Nr. 5-6, S. 931–939


Hotovy, I.; Huran, J.; Spiess, L.; Romanus, H.: NiO-based thin films with Pt surface modification for gas sensors. In: 10th Joint Vacuum Conference, Portoroz, Proceedings (2004)


Cimalla, V.; Kaiser, U.; Cimalla, I.; Ecke, G.; Pezoldt, J.; Spiess, L.; Ambacher, O.; Lu, H.; Schaff, W.: Cubic InN on r-plane sapphire. In: Superlattices and Microstructures 36 (2004), S. 487–495


Hotovy, I.; Huran, J.; Siciliano, P.; Capone, S.; Spiess, L.; Rehacek, V.: Enhancement of H2 sensing properties of NiO-based thin films with Pt surface modification. In: Sensors and Actuators B 103 (2004), S. 300–311


Tvarozek, V.; Rehacek, V.; Shtereva, K.; Novotny, I.; Breternitz, V.; Knedlik, C.; Spiess, L.: Thin film voltammetric microsensor for heavy metal analysis. In: Proc. 24th Int. Conf. on Microelectronics (MIEL2004) Serbia and Montenegro (2004), S. 189–191


Hotovy, I.; Huran, J.; Spiess, L.; Gubisch, M.; Schawohl, J.: NiO modified thin films for gas monitoring. In: 5. International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems (2004), S. 303–306


Kosiba, R.; Ecke, G.; Cimalla, V.; Spieß, L.; Krischok, S.; Schaefer, J. A.; Ambacher, O.; Schaff, W. J.: Sputter depth profiling of InN layers. In: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 215 (2004), S. 486–494


Hotovy, I.; Huran, J.; Spiess, L.: Characterization of sputtered NiO films using XRD and AFM. In: J. Materials Sci. 39 (2004), S. 2609–2612


Gubisch, M.; Spieß, L.; Romanus, H.; Schawohl, J.; Knedlik, C.: Bias-magnetron sputtering of tungsten carbide coatings on steel. In: Mat.-wiss. und Werkstofftechnik 35 (2004), Nr. 10-11, S. 916–923


Cimalla, V.; Kaiser, U.; Pezoldt, J.; Spieß, L.; Teichert, G.; Ambacher, O.; Lu, H.; Schaff, W.: Structural investigations of cubic InN / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’03. 2004. – Forschungsbericht – 80–81 S.


Knedlik, C.; Tvarozek, V.; Novotny, I.; Rehacek, V.; Jakubec, A.; Vavrinsky, E.; Borovy, B.; Breternitz, V.; Spieß, L.; Tippmann, H.: Thin film materials and structures for microsensors / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’03. 2004. – Forschungsbericht – 30–31 S.


Gubisch,M.; Spieß, L.; Romanus, H.; Schawohl, J.; Knedlik, C.: Bias-magnetron sputtering of tungsten carbide coatings on steel / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’03. 2004. – Forschungsbericht – 28–29 S.


Gubisch, M.; Liu, Y.; Spieß, L.; Romanus, H.; Schäfer, J. A.; Knedlik, C.: Nanoscale multilayer WC/C coatings developed for nano positioning / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’03. 2004. – Forschungsbericht – 26–27 S.


Romanus, H.; Spiess, L.; Knedlik, C.; Lindner, J. N.: Preparation of hexagonal WSi2 and tungsten silicide metallization with adjustable thermal coefficient of the electric resistivity / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’03. 2004. – Forschungsbericht – 36–37 S.


Fachmann, C.; Doll, T.; Fischer, M.; Förster, C.; Friedl, K.; Romanus, H.; Marufke, O.; Pezoldt, J.; Sändig, T.; Schwierz, F.; Spiess, L.; Weih, P.: Design development, technology optimization, and electrical characterization of silicon carbide MESFETs / TU Ilmenau, ZMN Jahresbericht ’03. 2004. – Forschungsbericht – 60–61 S.


Schober, A.; Ambacher, O.; Buchheim, C.; Burgold, J.; Cimalla, V.; Doll, T.; Drüe, K. H.; Fischer, M.; Gessner, J.; Himmerlich, M.; Hintz, M.; Hoffmann, R.; Jäger, G.; Kern, H.; Kittler, G.; Knedlik, C.; Krischok, S.; Majdeddin, A.; Manske, E.; Mastylo, R.; Romanus, H.; Sändig, T.; Schaefer, J. A.; Schwierz, F.; Spiess, L.; Thust, H.; Weise, F.; Winkler, G.; Wurmus, H.; Yanev, V.: Experimental set-up and investigations for an integrated measuring station for the examination of biological material in the nano- and picovolume range / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’03. 2004. – Forschungsbericht – 74–75 S.


2003

 

Weih, P.; Cimalla, V.; Förster, C.; Pezoldt, J.; Stauden, T.; Spiess, L.; Romanus, H.; Hermann, M.; Eickhoff, M.; Masri, P.; Ambacher, O.: High resolution XRD investigations of the strain reduction in 3C-SiC thin films grown on Si (111) substrates. In: Mater. Sci. Forum 433-436 (2003), S. 233–236


Hotovy, I.; Spiess, L.; Schawohl, J.; Rehacek, V.: NiO films with Pt surface modification for gas sensing. In: 48rd International Scientific Colloquium Technical University of Ilmenau, Proceedings (2003)


Rehacek, V.; Novotny, I.; Tvarozek, V.; Vavrinsky, E.; Breternitz, V.; Knedlik, C.; Spiess, L.: Thin-film gold, palladium and indium tin oxide microelectrodes modified by mercury. In: 48rd International Scientific Colloquium Technical University of Ilmenau, Proceedings (2003)


Huran, J.; Hotovy, I.; Siciliano, P.; Capone, S.; Spiess, L.: NiO-based thin films with Pt surface modification for H2 detection. In: Proc. of the 16th Int. Symposium on Plasma Chemistry, Taormina (2003), S. CD–ROM


Hotovy, I.; Liday, J.; Spiess, L.; Sitter, H.; Vogrincic, P.: Study of annealed NiO thin films sputtered on unheated substrate. In: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003), S. L1178–L1181


Spiess, L.; Gubisch, M.; Romanus, H.; Breiter, M.; Müller, C.; Cimalla, V.; Ecke, G.; Liu, Y.; Knedlik, C.: Tungsten Carbide layers for Nanomeasuring Systems. In: MICRO.tec 2003, 13.-15.10.2003 München, Proceedings (2003), S. 165–170


Cui, S.; Scharff, P.; Siegmund, C.; Spieß, L.; Romanus, H.; Schawohl, J.; Risch, K.; Schneider, D.; Klötzer, S.: Investigation of preparation of carbon nanotubes by DC arc discharge under nitrogen atmosphere. In: E-MRS Spring Meeting, Strasburg, France (2003)


Erler, F.; Jakob, C.; Romanus, H.; Spieß, L.; Wielage, B.; Lampke, T.; Steinhäuser, S.: Interface behaviour in nickel composite coatings with nano-particles of oxidic ceramic. In: Electrochimica Acta 48 (2003), Nr. 20-22, S. 3063–3070


Goldhahn, R.; Shokhovets, S.; Cimalla, V.; Spiess, L.; Ecke, G.; Ambacher, O.; Furthmüller, J.; Bechstedt, F.; Lu, H.; Schaff, W.: Dielectric Function of „narrow“ band gap InN. In: Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 743 (2003), S. L5.0.1–L.5.0.6


Spieß, L.; Knedlik, C.: Nutzung von Werkstoffstrukturgrößen als Messnormale. In: Mat.-wiss. u. Werkstofftechnik 34 (2003), S. 648–653


Cui, S.; Scharff, P.; Siegmund, C.; Spiess, L.; Romanus, H.; Schawohl, J.; Risch, K.; Schneider, D.; Klötzer, S.: Preparation of multiwalled carbon nanotubes by DC arc discharge under a nitrogen atmosphere. In: Carbon 41 (2003), Nr. 8, S. 1648–1651


Cui, S.; Scharff, P.; Siegmund, C.; Spieß, L.; Romanus, H.; Schawohl, J.; Risch, K.; Schneider, D.; Klötzer, S.: Investigation of preparation of carbon nanotubes by DC arc discharge under helium atmosphere. In: Carbon 2003, Oviedo, Spain (2003)


Hotovy, I.; Huran, J.; Spiess, L.; Liday, J.; Sitter, H.; Hascik, S.: The influence of the process parameters and anneealing temperature on the physical properties of sputerred NiO thin films. In: vaccum 69 (2003), S. 237–242


Cimalla, V.; Pezoldt, J.; Ecke, G.; Kosiba, R.; Ambacher, O.; Spieß, L.; Teichert, G.; Lu, H.; Schaff, W. J.: Growth of cubic InN on r-plane sapphire. In: Appl. Phys. Lett. 83 (2003), Nr. 17, S. 3468–3470


Gubisch, M.; Spieß, L.; Teichert, G.; Romanus, H.; Knedlik, C.: EBSD-Analyse an technischen Oberflächen / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’02. 2003. – Forschungsbericht – 72–73 S.


Erler, F.; Jakob, C.; Romanus, H.; Spieß, L.: Interface behaviour in nickel composite coatings with nano-particles / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’02. 2003. – Forschungsbericht – 70–71 S.


Romanus, H.; Cui, S.; Scharff, P.; Siegmund, C.; Schawohl, J.; Spiess, L.: Investigation of the effect of helium pressure on preparation of carbon nanotubes by DC arc discharge / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’02. 2003. – Forschungsbericht – 68–69 S.


Breiter, M.; Romanus, H.; Spieß, L.: Wolframkarbid-Schichten für die Metallisierung / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’02. 2003. – Forschungsbericht – 66–67 S.


Weih, P.; Stauden, T.; Kosiba, R.; Ecke, G.; Romanus, H.; Spieß, L.; Pezoldt, J.: SiC:Ge alloys grown on Si(111) / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’02. 2003. – Forschungsbericht – 58–59 S.


Fachmann, C.; Doll, T.; Ambacher, O.; Fischer, M.; Förster, C.; Friedel, K.; Romanus, H.; Knedlik, C.; Marufke, O.; Paris, R.; Pezoldt, J.; Sändig, T.; Schwierz, F.; Spieß, L.; Weih, P.: Design, technology and materials towards silicon carbide MESFETs / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’02. 2003. – Forschungsbericht – 20–21 S.


Doll, T.; Scheinert, M.; Haase, F.; Traute, R.; Drue, K.; Fischer, M.; Friedel, K.; Bauer, G.; Romanus, H.; Spiess, L.: Miniaturized „intelligent“ gas sensing systems / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’02. 2003. – Forschungsbericht – 18–19 S.


Cimalla, I.; Cimalla, V.; Förster, C.; Kosiba, R.; Ecke, G.; Spieß, L.; Schawohl, J.; Ambacher, O.: Structural and optical properties of InN based hetero- and nanostructures / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’02. 2003. – Forschungsbericht – 42–43 S.


Spieß, L.; Faulhaber, K.; Faulhaber, R.; Teichert, G.; Schawohl, J.; Knedlik, C.: Röntgenographische Eigenspannungsmessungen an Nitrierproben / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’02. 2003. – Forschungsbericht – 76–77 S.


2002

 


Kremmer, J.; Hotovy, I.; Rehacek, V.; Siroky, J.; Spiess, L.; Schawohl, J.: Physical and Structural Characterization of NiO Films for Gas Detection. In: ASDAM 2002 - Proceedings (2002), S. 107–110


Jakubec, A.; Rehacek, V.; Novotny, I.; Ivanic, R.; Tvarozek, V.; Knedlik, C.; Breternitz, V.; Spiess, L.: Thin Films for Electrochemical Sensoric Interfaces. In: ASDAM 2002 - Proceedings (2002), S. 321–324


Hotovy, I.; Huran, J.; Spiess, L.; Liday, J.; Sitter, H.; Hasiik, S.: The influences of process parameters and annealing temperature on the physical properties of sputtered NiO thin films. In: Vacuum 69 (2002), S. 237–242


Gubisch, M.; Spieß, L.; Teichert, G.; Knedlik, C.: EBSD-Analyse von technischen Werkstoffoberflächen. In: Thüringer Werkstofftag 10 (2002), S. 86–91


Hofmann, M.; Teichert, G.; Spiess, L.: Sprödbruchbildung an nitrierten hochfesten Warmarbeitsstählen. In: Thüringer Werkstofftag 10 (2002), S. 106–107


Hotovy, I.; Rehacek, V.; Siciliano, P.; Capone, S.; Spiess, L.: Sensing characteristics of NiO thin films as NO2 gas sensor. In: Thin Sol. Films 418 (2002), S. 9–15


Pezoldt, J.; Schröter, B.; Cimalla, V.; Stauden, T.; Goldhahn, R.; Romanus, H.; Spieß, L.: Carbonization induced change of polarity for MBE grown 3C-SiC/Si(111). In: Mater. Sci. Forum 353-356 (2001), S. 179–182


2001


Ivanic, R.; Rehacek, V.; Novotny, I.; Breternitz, V.; Spiess, L.; Knedlik, C.; Tvarozek, V.: Sputtered yttrium oxide thin films approppriate for electrochemical sensors. In: Vaccum 61 (2001), S. 229–234


Hotovy, I.; Huran, J.; Sicialiano, P.; Capone, S.; Spiess, L.; Rehacek, V.: The influence of praparation parameters on NiO thin film properties for gas-sensing application. In: Sensors & Actuators B 78 (2001), S. 126–132 2000


2000 


Romanus, H.; Cimalla, V.; Schäfer, J. A.; Spieß, L.; Ecke, G.; Pezoldt, J.: Preparation of single phase tungsten carbide by annealing of sputtered tungsten-carbon layers. In: Thin Sol. Films 359 (2000), Nr. 2, S. 146–149


Pezoldt, J.; Masri, P.; Laridjani, M. R.; Averous, M.;Wöhner, T.; Schaefer, J. A.; Staudten, T.; Ecke, G.; Pieterwas, R.; Spieß, L.: The influence of foreign atoms on the early stages of SiC growth on (111) Si. In: Mater. Sci. Forum 338-342 (2000), S. 289–292


Knedlik, C.; Breternitz, V.; Spieß, L.; Pavlov, J.; Dubravcova, V.; Kromka, A.; Vanek, O.: Diamond thin film growth by HF-CVD method at different growth modes. In: ASDAM 2000 : 3rd Int. EuroConf. on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. Piscateway IEEE (2000), S. 5


Hotovy, I.; Capkovic, R.; Huran, J.; Siciliano, P.; Rella, R.; Spiess, L.: Characterization of NiO thin films for gas sensor. In: Proc. of the 5th Italian Conf. Extended to Mediterranean Countries. Singapore: World Scientific (2000), S. 180–185


Hotovy, I.; Huran, J.; Siciliano, P.; Capone, S.; Spiess, L.; Rehacek, V.: Nickel oxide thin films as gas sensors. In: Proc. of the 14 th European Conf. on Solid-State Transducers. Copenhagen (2000), S. 163–166


Huran, J.; Hotovy, I.; Kobzev, A.; Balalykin, N.; Stano, J.; Spiess, L.: RBS study of amorphous silicon carbide films annealed by pulse electron beam. In: ASDAM 2000 : 3rd Int. EuroConf. on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. Piscataway IEEE (2000), S. 311–314


Hotovy, I.; Huran, J.; Spiess, L.; Siciliano, P.; Rella, R.; Rehacek, V.: Physical and structural characterization of NiO thin films for gas detection. In: ASDAM 2000 : 3rd Int. EuroConf. on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. Piscataway IEEE (2000), S. 331–334



Spieß, L.; Knedlik, C.: Nutzung von Werkstoffstrukturgrößen als Messnormale / TU Ilmenau, ZMN-Jahresbericht ’02. 2003. – Forschungsbericht – 78–79 S. 2002

1999 - 1990

1999


Hotovy, I.; Huran, J.; Spieß, L.; Hascik, S.; Retacek, V.: Preparation of nickel oxide thin films for gas sensors applications. In: Sensors and Actuators B 57 (1999), S. 147–152


Romanus, H.; Cimalla, V.; Ahmed, S.; Schaefer, J. A.; Ecke, G.; Avci, R.; Spieß, L.: Preparation of conductive tungsten carbide layers for SiC for high temperature applications. In: MRS Symp. Proc. 572 (1999), S. 99–104


Erler, F.; Romanus, H.; Lindner, J. N.; Spieß, L.: High temperature stable WSi2-contacts on p-6H-silicon carbide. In: MRS Symp. Proc. 572 (1999), S. 111–116

Romanus, H.; Cimalla, V.; Schäfer, J. A.; Ecke, G.; Spieß, L.: Herstellung elektrisch leitfähiger Wolframkarbidschichten durch PVD. In: DPG Frühjahrstagung, Münster (1999)


1998


Spieß, L.; Romanus, H.; Teichert, G.; Pezoldt, J.: Werkstoffanalytische Probleme bei der Charakterisierung von Siliziumkarbid für Mikrotechnikanwendungen. In: Int. Wiss. Kolloq. – TU Ilmenau, 43rd 2 (1998), S. 546–551


Hotovy, I.; Huran, J.; Breternitz, V.; Spieß, L.; Teichert, G.; Schawohl, J.: Effect of oxygen concentration in the sputtering mixture on the properties of dc magnetron sputtered NiO films. In: Int. Wiss. Kolloq. - TU Ilmenau, 43rd 2 (1998), S. 509–514


Knedlik, C.; Spieß, L.: Werkstoffe und Analytik für die Mikroelektronik aus der Sicht der Metallisierung und Kontaktierung. In: Int. Wiss. Kolloq. - TU Ilmenau, 43rd 2 (1998), S. 464–469


Romanus, H.; Teichert, G.; Spieß, L.: Investigation of polymorphism and estimation of lattice constants of SiC epilayers by four circle X-Ray diffraction. In: Mater. Sci. Forum 264-268 (1998), Nr. pt.1, S. 437–440


Fabricius, A.; Nennewitz, O.; Erler, F.; Spieß, L.: Meßtechnik-Software steuert Versuche. In: Elektronik 9 (1998), S. 80–83


Hotovy, I.; Janík, J.; Huran, J.; Spiess, L.: Preparation and structural characterisation of nickel oxide films for gas sensor devices. In: Proc. 2nd Int. Conf. on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems - ASDAM 98. Ed. J.Breza. Piscataway IEEE (1998), S. 175


Teichert, G.; Schleicher, L.; Spieß, L.; Knedlik, C.; Yankov, R. A.; Pezoldt, J.: Thermowellenanalyse an implantiertem SiC. In: Int. Wiss. Kolloq. - TU Ilmenau, 43rd 2 (1998), S. 558–565


Romanus, H.; Teichert, G.; Schawohl, J.; Spieß, L.: Röntgenografische Textur- und Einkristalluntersuchungen an SiC. In: Int. Wiss. Kolloq. - TU Ilmenau, 43rd 2 (1998), S. 654–658


1997


Spieß, L.; Nennewitz, O.; Weishart, H.; Lindner, J.; Skorupa,W.; Romanus, H.; Erler, F.; Pezoldt, J.: Aluminium implantation of p-SiC for ohmic contacts. In: Diam. Relat. Mater. 6 (1997), Nr. 10, S. 1414–1419


Romanus, H.; Cimalla, V.; Kromka, A.; Scheiner, J.; Spieß, L.; Pezoldt, J.: AFM investigations of rapid thermal carbonized silicon. In: Mater. Sci. Eng. B 47 (1997), Nr. 3, S. 274–278


1996


Spieß, L.; Nennewitz, O.; Pezoldt, J.: Improved ohmic contacts to p-type 6H-SiC. In: Inst. Phys. Conf. Ser. 142 (1996), S. 585–588


Fabricius, A.; Nennewitz, O.; Spieß, L.; Cimalla, V.; Pezoldt, J.: Rapid thermal annealing of tungsten silicide films. In: MRS Symp. Proc. 402 (1996), S. 625–630


1995


Spieß, L.: Röntgenstrahlen in der Technik. In: Festschrift “100 Jahre Röntgenstrahlen Thüringer Beiträge“ (1995), S. 86–96


Nennewitz, O.; Erler, F.; Spieß, L.: I-U-Kennlinien und Kontaktwiderstandsmessungen mit Testpoint. In: Elektronik Industrie 1 (1995), S. 80–83


Fabricius, A.; Nennewitz, O.; Spieß, L.; Cimalla, V.; Pezoldt, J.: Preparation of WSi2 and TiSi2 by co-sputtering and rapid thermal annealing processing (RTA). In: Int. Wiss. Kolloq. – TU Ilmenau, 40th 3 (1995), S. 724–729

Nennewitz, O.; Spieß, L.; Breternitz, V.: Ohmic contacts on p-type 6H-silicon carbide. In: Int. Wiss. Kolloq. - TU Ilmenau, 40th 3 (1995), S. 730–735


Hotovy, I.; Vanek, O.; Spieß, L.; Nennewitz, O.: NiO thin films applicable in gas sensors. In: Int. Wiss. Kolloq. - TU Ilmenau, 40th (1995), S. 713–718


Teichert, G.; Pezoldt, J.; Cimalla, V.; Nennewitz, O.; Spieß, L.: Analysis of reflection high energy electron diffraction pattern in Silicon Carbide grown on Silicon. In: MRS Symp. Proc. 399 (1995), S. 17–22


Nennewitz, O.; Spieß, L.; Breternitz, V.: Ohmic contacts to p-type 6H-silicon carbide. In: Appl. Surf. Sci. 91 (1995), S. 347–351


1994


Nennewitz, O.; Schmidt, H.; Pezoldt, J.; Stauden, T.; Spieß, L.: X-ray diffraction analysis of RTP annealed thin ZnO films. In: Proc. of 4th. Int. Symp. on Trends and New Applications in Thin Films (1994), S. 666–669


Mann, D.; Eicke, A.; Bilger, G.; Hummel, W. J.; Spieß, L.: Complex solid state physical investigations of metal layers on plastics. In: Fresenius’ J. Anal. Chem. 349 (1994), Nr. 1-3, S. 237


Fabricius, A.; Nennewitz, O.; Spieß, L.: Elektrische Flächenwiderstandsbestimmung. In: Kontrolle 12 (1994), S. 56–59


Novotny, I.; Spieß, L.; Nennewitz, O.; Tvarozek, V.: ZnO thin films applicable in lowfrequency microactuators. In: Proc. Electronic Devices and Systems (1994), S. 51–55


Nennewitz, O.; Schmidt, H.; Pezoldt, J.; Stauden, T.; Schawohl, J.; Spieß, L.: Rapid thermal annealing of thin ZnO films. In: Phys. Stat. Sol. A 145 (1994), Nr. 2, S. 283–288


1993


Mann, D.; Eicke, A.; Bilger, G.; Hummel, W. J.; Spieß, L.: Komplexe festkörperphysikalische Untersuchungen von Metallschichten auf Kunststoffen. In: 7. Tagung Festkörperanalytik Chemnitz (1993), S. 322


1992


Spieß, L.; Schawohl, J.; Straßburger, T.; Rode, A.: Röntgendiffraktometrische Sonderverfahren an dünnen Schichten. In: Int. Wiss. Kolloq. - TU Ilmenau, 37th B2 (1992), S. 198–203


1991


Knedlik, C.; Breternitz, V.; Spieß, L.: Werkstoffwissenschaftliche Methoden zur Analyse von Kontakt-und Leitbahnsystemen. In: VDI Berichte (1991), Nr. 852, S. 787–796


1990


Weinmeister, A.; Müller, W.; Täglich, A.; Müller, K.; Spieß, L.: Verfahren zur Erzeugung von senkrecht-anisotropen Magnetschichten. In: DD Patent: 280412 A1 vom 4.07.1990 (1990), S. 1–4


Spieß, L.: Führt die steigende Integrationdichte zu einer Analytikkrise. In: Int. Wiss. Kolloq. - TU Ilmenau, 35th B7-B12 (1990), S. 133–136


Spieß, L.; Tvarozek, V.; Novotny, I.; u.a.: Titansilicidschichten auf Poly-Si und SiO2. In: Int. Wiss. Kolloq. - TU Ilmenau, 35th B7-B12 (1990), S. 47–50


Spieß, L.; Schawohl, J.; Hoebbel, H.: Röntgendiffraktometrie an dünnen Titansilicidschichten. In: Int. Wiss. Kolloq. - TU Ilmenau, 35th B8-B10 (1990), S. 32–33


 

1989 - 1984

1989


Knedlik, C.; Spieß, L.; Tippmann, H.; u.a.: Modernste Metallisierungskonzepte für höchstintegrierte Schaltkreise-Probleme und Lösungen. In: Wiss. Zeitschrift TH Ilmenau 35 (1989), Nr. 1, S. 41–50


Spieß, L.; Klein, S.; Schawohl, J.: Komplexe Strukturanalytik von Metallisierungsschichten. In: Wiss. Zeitschrift TH Ilmenau 35 (1989), Nr. 1, S. 51–60

Knedlik, C.; Spieß, L.; Tippmann, H.: Modern trends in metallization of microelectronics circuits. In: 5. Celostatna Konferencia Mikroelektronika (1989), S. 9


1988


Spieß, L.; Lippert, G.; Börner, F.; u.a.: Schichtdickenabhängigkeit von Mo-Si-Schichten? In: Kontakt und Leitbahnsysteme der Halbleitertechnik, Ahrenshoop (1988), S. A17


Tippmann, H.; Knedlik, C.; Spieß, L.: Wolfram-Silicide für die VLSI-Mikroelektronik. In: Wiss. Zeitschrift TH Ilmenau 34 (1988), Nr. 4, S. 199–205


Spieß, L.; Tippmann, H.; Nitzsche, K.; u.a.: Herstellung und Charakterisierung von Wolfram Silizium Mischschichten unterschiedlicher Stöchiometrie. In: 9. Tagung Hochvakuum-Grenzflächen-Dünne Schichten (1988), S. 339–342


Spieß, L.; Schawohl, J.: Ein Rechenprogramm für die Auswertung von Röntgenprofilen zur Bestimmung von Korngröße und inneren mechanischen Spannungen. In: Compana 88, Jena (1988), S. 53


1987


Spieß, L.; Lippert, G.: Eigenschaften von MoSi2-Schichten-hergestellt mit dem Mosaiktarget. In: Int. Wiss. Kolloq. - TH Ilmenau, 32nd B3 (1987), S. 83–85


Spieß, L.; Schawohl, J.; Tippmann, H.; u.a.: Röntgenprofilanalyse an Schwermetallsilicidschichten. In: 5. Tagung Festkörperanalytik Karl-Marx-Stadt (1987), S. 56–57


Spieß, L.; Tippmann, H.; Nitzsche, K.; u.a.: Herstellung und Charakterisierung von Wolfram- Silizium Mischschichten unterschiedlicher Stöchiometrie.  In: Int. Wiss. Kolloq. - TH Ilmenau, 32nd B3 (1987), S. 87–89


Tippmann, H.; Spieß, L.; Nitzsche, K.; u. a.: Komplexer Analysezyklus (elektrische Messungen, Röntgenfeinstruktur, AES, RBS) zur Charakterisierung von W/Si Sandwichschichten. In: Int.Wiss. Kolloq. - TH Ilmenau, 32nd B3 (1987), S. 91–94


Hummel, W. J.; Meister, T.; Spieß, L.; u.a.: Charakterisierung von Plasmatron-zerstäubten Ta/Si Mischschichten. In: Int. Wiss. Kolloq. - TH Ilmenau, 32nd BP1-BP4 (1987), S. 108


Lippert, G.; Procop, M.; Spieß, L.; u.a.: Sputtering of Mo-Si layers from composite targets.
In: Thin Sol. Films 149 (1987), S. 211–218


1986


Spieß, L.; Tippmann, H.; Hegewald, G.; u.a.: Wolframsilicidbildung durch Temperung von Wolframschichten auf einkristallinem Silizium. In: Wiss. Zeitschrift TH Ilmenau 32 (1986), Nr. 6, S. 167–174


Tippmann, H.; Spieß, L.; Linß, M.; u.a.: Eigenschaften von Tantal-Silizium Mischschichten.  In: Wiss. Zeitschrift TH Ilmenau 32 (1986), Nr. 6, S. 175–182


Tippmann, H.; Spieß, L.; Linß, M.; u.a.: Triotron Zerstäubungsanordnung zur Herstellung von Ta-Si Mischschichten. In: Wiss. Zeitschrift TH Ilmenau 32 (1986), S. 161–166


1985


Spieß, L.; Tippmann, H.; Knedlik, C.; u.a.: Einige Aspekte bei der Wolframsilicidbildung auf einkristallinem Silizium. In: Silicide in der Mikroelektronik, Ahrenshop (1985), S. A5


Spieß, L.; Tippmann, H.; Hummel, W. J.; u.a.: Ta-Si Mischschichten, Herstellung und Charakterisierung. In: 9. Tagung Physik und Elektronik Berlin (1985), S. 89–90


1984


Spieß, L.: Homogenitätsuntersuchungen an un- und getemperten Mo-Si Schichten. In: III. Symp. PGBM Frankfurt/Oder (1984), S. 668–671


Tippmann, H.; Spieß, L.; Knedlik, C.: Elektrische Charakterisierung von Schichten und Strukturen der Metallisierung für die VLSI-Technik. In: Wiss. Zeitschrift TH Ilmenau 30 (1984), S. 143–152


Nitzsche, K.; Knedlik, C.; Spieß, L.; u.a.: Herstellung und Charakterisierung von getemperten W-Schichten auf Si-Substraten. In: Wiss. Zeitschrift TH Ilmenau 30 (1984), S. 131–140

Procop, M.; Lippert, G.; Spieß, L.; u. a.: Eigenschaften gesputterter MoSi-Schichten. In: III. Symp. PGBM Frankfurt/Oder (1984), S. 417–424


 

Graduierungsarbeiten

Spieß, L.: Rechnerunterstützte komplexe Festkörperanalytik für Mikroelektronikwerkstoffe, insbesondere von Siliciden zur Metallisierung von höchstintegrierten Schaltkreisen. Promotion zum Dr. sc. techn., TH Ilmenau, Sektion PHYTEB, 1990, 143 S.


Spieß, L.: Zur Silizidproblematik in Metallisierungssystemen für integrierte Schaltkreise der VLSITechnik. Promotion zum Dr.-Ing., TH Ilmenau, Sektion PHYTEB, 1985, 118 S.

Spieß, L.: Probleme bei der Metallisierung von integrierten Schaltkreisen (IC’s) mit Schwermetallen (Mo, W) Diplomarbeit, TH Ilmenau, Sektion PHYTEB, 1982

Literaturempfehlungsliste

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TU Ilmenau
Institut für Werkstofftechnik
Institut für Mikro- und Nanotechnologien
Applikationszentrum Zi. 1.2.111
Kirchhofstr. 5
98693 Ilmenau
Tel.: 49-3677-69 3134/3448
mail: lothar.spiess(at)tu-ilmenau.de

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