Seminconductor processing technology - Interactive curriculae of TU Ilmenau
The interactive curriculae provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.
Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).
You can find all details on planned lectures and classes in the course catalogue.
Please note that this page is no longer updated. All modules and study plans from PO version 2021 onwards (Bachelor and Master study programs) are now available on the Campus Portal.
| module properties module number 7354 - common information | |
|---|---|
| module number | 7354 |
| department | Department of Electrical Engineering and Information Technology |
| ID of group | 2142 (Nanotechnology) |
| module leader | Dr. Jörg Pezoldt |
| language | Deutsch |
| term | Sommersemester |
| previous knowledge and experience | Grundkenntnisse in Physik, Chemie, den Wirkprinzipien von elektronischen Bauelementen und integrierten Schaltkreisen |
| learning outcome | Die Studenten sind fähig die einzelnen Prozessschritte der Herstellung von Halbleiterbauelementen und Schaltkreisen, sowie der physikalischen und chemischen Wechselwirkungen in den Herstellungsprozessen zu verstehen und zu analysieren. Sie werden in die Lage versetzt diese auf die Prozesssynthese für die Herstellung einfacher elektronischer Bauelemente anzuwenden. |
| content | Die Vorlesung gibt eine Einführung und Vertiefung in die physikalischen, chemischen und technischen Grundlagen, die bei der Herstellung von Sensoren, Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltkreisen Verwendung finden. Aufbauend auf den vermittelten Kenntnisse werden vertiefende Kenntnisse in die physikalischen und chemischen Wechselwirkungen der Grundprozesses vermittelt. Die technologischen Verfahren und Abläufe, sowie die Anlagentechnik zur Fertigung von Halbleiterbauelementen und deren Integration in Systeme werden am Beispiel der Siliziumtechnologie vermittelt. In dem dazu gehörigen Seminar werden praktische Übungen durchgeführt, die eine Vertiefung der in der Vorlesung vermittelten Kenntnisse am Beispiel einfacher Modellrechnungen an gezielt ausgewählten Prozessen und elementarer Bauelementestrukturen zum Ziel haben. 1.Einführung in die Halbleitertechnologie: Die Welt der kontrollierten Defekte 2.Einkristallzucht und Scheibenherstellung 3.Waferreinigung 4.Epitaxie 5.Dotierung: Diffusion und Ionenimplantation 6.Thermische Oxidation 7.Methoden der Schichtabscheidung 8.Ätzprozesse 9.Metallisierung und Kontakte 10.Verfahren der lateralen Strukturierung 11.Prozessintegration: Einzelbauelemente, Bauelementeisolierung, Planarisierung 12.Prozessintegration: Technologieblöcke der Fertigung von bipolaren und unipolaren Schaltkreisen 13.Prozessintegration: Spefische Fragestellungen in der Ultrahochintegrationstechniken 14.Prozessintegration: Integrierte Sensorik und Optoelektronik |
| media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation | 3 h Präsenzstudium 2-4 h Eigenstudium zur Nachbereitung von Vorlesung und Übung. |
| literature / references | [1] J.D. Plummer, M.D. Deal, P.B. Griffin, Silicon Technology: Fundamentals, Practice and Modelling, Prentice Hall, 2000. [2] U. Hilleringmann, Silizium - Halbleitertechnologie, B.G. Teubner, 1999. [3] D. Widmann, H. Mader, H. Friedrich, Technology of Integrated Circuits, Springer, 2000. [4] VLSI Technology, Ed. S.M. Sze, McGraw-Hill, 1988. [5] ULSI Technology, Ed. C.Y. Chang, S.M. Sze, McGraw-Hill, 1996. [6] I. Ruge, H. Mader, Halbleiter-Technologie, Springer, 1991. [7] U. Hilleringmann, Mikrosystemtechnik auf Silizium, B.G. Teubner, 1995. |
| evaluation of teaching | |
| Details reference subject | |
|---|---|
| module name | Seminconductor processing technology |
| examination number | 2100139 |
| credit points | |
| SWS | 2 |
| on-campus program (h) | |
| self-study (h) | |
| obligation | obligatory module |
| exam | none |
| details of the certificate | |
| link to Moodle course | |
| teacher | |
| signup details for alternative examinations | |
| maximum number of participants | |
| Details in degree program Master Technische Physik 2013 | |
|---|---|
| module name | Seminconductor processing technology |
| examination number | 2100139 |
| credit points | 3 |
| on-campus program (h) | 22 |
| self-study (h) | 68 |
| obligation | obligatory module |
| exam | none |
| details of the certificate | |
| link to Moodle course | |
| signup details for alternative examinations | |
| maximum number of participants | |