Microsystem Technologies 1 - Interactive curriculae of TU Ilmenau

The interactive curriculae provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).

You can find all details on planned lectures and classes in the course catalogue.

Please note that this page is no longer updated. All modules and study plans from PO version 2021 onwards (Bachelor and Master study programs) are now available on the Campus Portal.

module properties module number 100478 - common information
module number	100478
department	Department of Mechanical Engineering
ID of group	2342 (Microsystems Technology)
module leader	Prof. Dr. Steffen Strehle
language	Deutsch/Englisch
term	Wintersemester
previous knowledge and experience	Gute Kenntnisse der Physik
learning outcome	Die Studierenden sind in der Lage die Mikrosystemtechnik in die Technologien der Mechatronik und des Maschinenbaus einzuordnen und können selbständig die Systemskalierung eines Mikrosystems ermitteln. Sie analysieren und bewerten Fertigungsprozesse und sind in der Lage, einfache Prozessabläufe selbst aufzustellen. Sie können gegebene Anwendungsbeispiele einordnen und neue Applikationen daraus gezielt ableiten.
content	Einsatzgebiete von Mikrosystemen Skalierung & Multi-Domänenansatz beim Übergang zum Mikrosystem sowie dominante Effekte in der Mikrotechnik Grundlagen zu Werkstoffen der Mikrosystemtechnik Typische Mikrotechnik-Fertigung am Beispiel eines Drucksensors Wichtige Technologien der Mikrotechnik: Beschichtungsverfahren, Lithografie, Strukturierungsverfahren Systemintegration am Beispiel von Projektionsspiegel-Arrays (DMD) und Drehratensensor Entwicklung der Mikrosystemtechnik, System-Skalierung und Auswirkungen auf Bauelemente-Design und Technologie, Werkstoffe, Planartechnik, Dünnschicht-Technik, Mikrolithografie, Aufbau- und Verbindungstechnik, Applikationsbeispiele
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation	Präsentation, Tafel, Skript bestehend aus den Folien der Präsentation
literature / references	M. Elwenspoek, H.V. Jansen "Silicon Micromachining", Cambridge Univ. Press 1998; G. Gerlach, W. Dötzel "Grundlagen der Mikrosystemtechnik", Hanser Verlag 1997; W.Menz, P.Bley "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH-Verlag Weinheim 1993
evaluation of teaching

Details reference subject
module name	Microsystem Technologies 1
examination number	2300340
credit points
SWS	4
on-campus program (h)
self-study (h)
obligation	obligatory module
exam	none
details of the certificate
link to Moodle course
teacher
signup details for alternative examinations
maximum number of participants

Details in degree program Bachelor Technische Physik 2013 ATTENTION: not offered anymore
module name	Microtechnology
examination number	2300432
credit points	4
on-campus program (h)	45
self-study (h)	75
obligation	obligatory module
exam	written examination performance, 90 minutes
details of the certificate
link to Moodle course
signup details for alternative examinations
maximum number of participants