Glasses and Ceramics in Micro- and Nanotechnologies - Interactive curriculae of TU Ilmenau

The interactive curriculae provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).

You can find all details on planned lectures and classes in the course catalogue.

Please note that this page is no longer updated. All modules and study plans from PO version 2021 onwards (Bachelor and Master study programs) are now available on the Campus Portal.

module properties module number 6692 - common information
module number	6692
department	Department of Mechanical Engineering
ID of group	2351 (Inorganic-Nonmetallic Materials)
module leader	Prof. Dr. Edda Rädlein
language	Deutsch
term	Wintersemester
previous knowledge and experience	Grundlagen der WSW, Physik, Chemie, Fertigungstechnik
learning outcome	Ziel der Lehrveranstaltung ist das Erwerben von Kenntnissen zur Bewertung: von Gläsern und Keramiken hinsichtlich Mikro- und Nanostrukturierbarkeit sowie die technischen Prozessen der MNT wichtiger Eigenschaften von Gläsern und Keramiken für Mikro- und Nanosysteme der Unterschied zwischen Oberflächen- und Volumeneigenschaften Grundlegender Mikro- und Nanostrukturierungstechniken für Gläser und Keramiken spezieller Eigenschaften mikro-und nanostrukturierten Bauteilen auf Basis ausgewählter Applikationsbeispielen
content	Aufbau und Verbindungstechnik Technische und stoffliche Voraussetzungen (Struktur-Eigenschaftsbeziehungen in Gläsern und Keramiken, Übersicht über Strukturierungstechniken, Methoden zur Beeinflussung von Eigenschaftsprofilen) Substratmaterialien (Dünnglas, HTCC, LTCC: Werkstoffe, Eigenschaften und Herstellung) Kieselglas für thermische und optische Anwendungen (Struktur, Herstellung über Schmelzprozess, Gasphasenabscheidung, SolGel-Technik) Lithographiebasierte Strukturierungstechniken für Glas (Beschichtungen, Fotolithographie, nasschemische und Trockenätzprozesse) Fotostrukturierbare Gläser (Werkstoffe, Eigenschaften, Herstellung und Prozessierung, Anwendungen) Mechanische Verfahren zur geordneten Mikrostrukturierung von Glas (Schleifen, Polieren, US-Bohren, Sandstrahlen) Ausgewählte Techniken der Laserbearbeitung von Glas (Wechselwirkung Material-Strahlung, Techniken zur Markierung, zum Materialabtrag)
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation	https://moodle2.tu-ilmenau.de/enrol/index.php?id=3163 Tafelbild, Anschauungsmuster, PowerPoint, Versuchsstände Labor
literature / references	Gerlach; G., Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Carl Hanser-Verlag 1997 Menz, W.; Bley, P.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure. VHC 1993 Petzold, A.: Anorganisch nichtmetallische Werkstoffe. Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, Leipzig, 1986 Scholze, H.: Glas. 3. neu bearb. Auflage, Springer-Verlag 1988 Mitschke, F.: Glasfasern, Elsevier, 2005 Hülsenberg, D. e.a: Microstructuring of Glasses. Springer 2008
evaluation of teaching

Details reference subject
module name	Glasses and Ceramics in Micro- and Nanotechnologies
examination number	2300493
credit points	5
SWS	4
on-campus program (h)	45
self-study (h)	105
obligation	elective module
exam	oral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
link to Moodle course
teacher	Dr. Brokmann
signup details for alternative examinations
maximum number of participants

Details in degree program Master Regenerative Energietechnik 2016 ATTENTION: not offered anymore
module name	Glasses and Ceramics in Micro- and Nanotechnologies
examination number	2300316
credit points	5
on-campus program (h)	45
self-study (h)	105
obligation	elective module
exam	oral pass-fail certificate, 30 minutes
details of the certificate
link to Moodle course
signup details for alternative examinations
maximum number of participants