Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanosystemtechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Modulnummer 1456 - allgemeine Informationen
Modulnummer1456
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
Spracheenglisch
TurnusWintersemester
Vorkenntnisse

Participation in the course "Micro and nano sensor technology"

Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Students acquire an overview on basic and background of micro- and nanosystem technology, devices and fabrication technology. They acquire knowledge to understand original literature, to design and use micro devices.

Inhalt
  • Requirements of micro- and nanotechnology;
  • material properties and choice of materials;
  • physical and engineering backgrounds of microsystem technology;
  • fabrication and functionality of miniature sensors or actuators based on selected examples
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form

Overhead projector, beamer, blackboard

Literatur

B. Heimann, W. Gerth, K. Popp: Mechatronik; Hanser Verlag München, 1998;

S. E. Lyschevski: Nano- and micromechanical systems, CRC Press, 2005;

Gerald Gerlach, Wolfram Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser, München-Wien 2006

G. Gerlach, W. Dötzel, Introduction to Microsystem Technology, Wiley & Sons, 2008

W. Menz, J. Mohr, O. Paul, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Weinheim, Wiley-VCH, 3. Auflage (2005)

U. Mescheder, Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner, 2. Auflage (2004)

M. Glück, MEMS in der Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner (2005)

Friedemann Völklein, Praxiswissen Mikrosystemtechnik : Grundlagen, Technologien, Anwendungen. Wiesbaden, Vieweg (2006)

Friedemann Völklein, Einführung in die Mikrosystemtechnik : Grundlagen und Praxisbeispiele. Braunschweig, Vieweg (2000)

Werner Karl Schomburg, Introduction to Microsystem Design, Springer, Berlin-Heidelberg 2015

Nam-Trung Nguyen, Mikrofluidik, Teubner, Wiesbaden 2004

Nguyen/Wereley, Fundamentals and Applications of Microfluidics, Artech House, Boston-London 2002

Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

SS 2012 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

 

Spezifik Referenzmodul
ModulnameMikro- und Nanosystemtechnik
Prüfungsnummer2100057
Leistungspunkte4
SWS4
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)75
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Miniaturisierte Biotechnologie 2009, Master Biotechnische Chemie 2016
ModulnameMikro- und Nanosystemtechnik
Prüfungsnummer2100057
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013
ModulnameMikro- und Nanosystemtechnik
Prüfungsnummer95030
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
Verpflichtungunbekannt
Abschlussmehrere Teilleistungen
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013
ModulnameMikro- und Nanosystemtechnik
Prüfungsnummer2100057
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2008
ModulnameMikro- und Nanosystemtechnik
Prüfungsnummer2100057
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)75
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl