Mikrotechnologie - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau

Die Studierenden sind in der Lage die Mikrosystemtechnik in die Technologien der Mechatronik und des Maschinenbaus einzuordnen. Sie analysieren und bewerten Fertigungsprozesse und sind in der Lage, einfache Prozessabläufe selbst aufzustellen.

Sie können selbständig die Systemskalierung eines technischen Systems ermitteln. Sie können gegebene Anwendungsbeispiele einordnen und neue Applikationen daraus gezielt synthetisieren.

Das Prinzip der Skalierung

Skalierung physikalischer Gesetze

- Anwendung des Skalierungsfaktors

Skalierung von Materialeigenschaften

- Mikro- und Nanokristallinität

- Rand- und Oberflächeneffekte

Systemeinflüsse

- systemische Betrachtungen an ausgewählten Beispielen

Materialien der Dünnschichttechnik und ihre Eigenschaften

- Silicium als mechanisches Material

- Leitende, isolierende und halbleitende Dünnschichten

Grundlagen der Dünnschichttechnik

- Reinraumtechnik

- Vakuum & Freie Weglänge

- nicht-thermisches Plasma

Umwandelnde Verfahren

- thermische Oxidation

Beschichtende Verfahren

- Physikalische Gasphasenabscheidung

- Chemische Gasphasenabscheidung

Fotolithografie

Ätzverfahren

- Trockenätzverfahren

- Ionenstrahl-Verfahren

Präsentation & Tafel

Foliensatz der Präsentation (kein vollständiges Skript!)

Moodle

G. Gerlach, W. Dötzel: Einführung in die Mikrosystemtechnik - Ein Kursbuch für Studierende, Hanser-Verlag 2006 (auch in Englisch verfügbar als "Introduction to Miicrosystem Technology", Wiley 2008)

M. Elwenspoek, H.V. Jansen "Silicon Micromachining", Cambridge Univ. Press 1998;

W.Menz, P.Bley "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH-Verlag Weinheim 1993