Technische Universität Ilmenau

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 5984 - allgemeine Informationen
Fachnummer5984
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer2342 (Mikrosystemtechnik)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
VorkenntnisseGrundlagen-Kenntnisse in Mikrotechnik, Mikrosensorik und / oder Mikroaktorik
LernergebnisseEs werden die systemspezifischen Randbedingungen für den Einsatz von MEMS diskutiert. Hierzu gehören insbesondere Zuverlässigkeitsanforderungen, Schnittstellen zur Makrowelt und Aufbau- und Verbindungstechniken. Dies geschieht an Beispielen von in unterschiedlichen Bereichen bereits kommerziell eingesetzten MEMS- Applikationen wie z.B. Drucksensoren oder Drehratensensoren.
Die Studenten sollen in die Lage versetzt werden, neue Mikrosysteme anhand von Anforderungsprofilen zu planen und dabei ungeeignete Ansätze bereits frühzeitig auszusortieren.
Inhalt- Applikationsfelder von MEMS
- Randbedingungen für MEMS
- Zuverlässigkeitsanforderungen
- System-Konzepte:
- mikromechansicher Sensor & Auswerteelektronik
- Gehäuse als Systembestandteil
- Kalibrierkonzepte:
- Abgleich über die Auswerteelektronik
- Beispiele
- Zusammenfassung: Systemaspekte von MEMS
MedienformenPräsentation, Skript der Präsentationsfolien, Tafelarbeit
Seminar: Präsentation / schriftliche Zusammenfassung durch Teilnehmende
LiteraturG. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser-Verlag 2006
F. Völklein, T. Zetterer, Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage, Vieweg 2006
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

SS 2015 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Master Mechatronik 2008, Master Micro- and Nanotechnologies 2008, Master Maschinenbau 2009, Master Maschinenbau 2011, Master Mechatronik 2014, Master Mechatronik 2017
FachnameMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)
Prüfungsnummer2300216
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflicht
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL

Pflichtevaluation:


SS 2015 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:

max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Maschinenbau 2014, Master Micro- and Nanotechnologies 2016, Master Maschinenbau 2017
FachnameMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)
Prüfungsnummer2300216
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL

Pflichtevaluation:


SS 2015 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:

max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.