Technische Universität Ilmenau

Nanomess- und Positioniertechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Modulnummer 200222 - allgemeine Informationen
Modulnummer200222
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer2371 (Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Eberhard Manske
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
Vorkenntnisse

Kenntnisse aus den Lehrveranstaltungen "Einführung in die Mess- und Sensortechnik" bzw. "Prozessmess- und Sensortechnik" sowie "Fertigungs- und Lasermesstechnik".

Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Nach dem Besuch der Lehrveranstaltungen sind die Studierenden in der Lage, das Gebiet der dimensionellen Messungen im Nanometerbereich hinsichtlich Aufbau, Funktion und Eigenschaften der Geräte und Verfahren sowie der aktuellen Messmöglichkeiten und der Sicherung einheitlicher Messungen in diesem Bereich der Messtechnik auf nationaler und internationaler Ebene zu analysieren und zu beschreiben. Sie kennen das Gebiet der optoelektronischen Mess- und Sensortechnik von den metrologischen Grundlagen über Eigenschaften und Anwendungsbereiche der Messverfahren und -prinzipien bis zum Kostenfaktor.  Sie können die Vor- und Nachteile der vorgestelten Messverfahren diskutieren.
Die Studierenden können in bestehenden Messanordnungen optoelektronische Komponenten erkennen und bewerten. Die Studierenden sind fähig, zur Lösung einer Messaufgabe geeignete optoelektronische Messverfahren, -geräte oder Komponenten auszuwählen und entsprechende Messunsicherheitsbudgets vorzulegen.

Inhalt

Grundlagen der Optoelektronik für die Anwendung in der Messtechnik, Laserlichtquellen und Lichtwellenleiter, Faseroptische Sensoren, Optoelektronische Messverfahren für Geschwindigkeit, Oberfläche, Form, Ebenheit u.a.

gegenwärtige und zukünftige Entwicklungen der Nanotechnologie / Nanomesstechnik: 

Wissenschaftlicher Hintergrund und ausgewählte Beispiele zur Nanotechnologie
Techniken für dimensionelle und andere Messungen im Nanometerbereich, Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
Rastertunnelmikroskopie und aus ihr abgeleitete Rastersondenmikroskopie / Konsistenz von Ergebnissen aus aktuellen Maßvergleichen / gegenwärtige Erschließung von 3D-Messungen an Objekten der Mikrotechnik / Mikro-Tomographie.
Rasterelektronenmikroskopie / ausgewählte Anwendungen für dimensionelle Messungen / metrologische Rasterelektronenmikroskope
Röntgenreflektometrie /Anwendungen auf Schichten im Nanometerbereich

Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form

Zugang zum Moodle mit allen Informationen und Materialien:

https://moodle2.tu-ilmenau.de/course/view.php?id=3131

 

Nutzung Beamer/Laptop/Präsentationssoftware; Lehrmaterialien mit Skizzen der Messprinzipien und -geräte, die auf der Homepage des Instituts zur verfügung gestellt werden. 

 

Literatur

Literatur wird während der Vorlesung genannt / die Präsentation enthält Quellennachweise

Lehrevaluation
Spezifik Referenzmodul
ModulnameNanomess- und Positioniertechnik
Prüfungsnummer2300640
Leistungspunkte5
SWS4 (4 V, 0 Ü, 0 P)
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Diplom Maschinenbau 2017, Master Maschinenbau 2017, Master Optische Systemtechnik/Optronik 2017, Diplom Maschinenbau 2021
ModulnameNanomess- und Positioniertechnik
Prüfungsnummer2300640
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl